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本发明属于硬脆材料超精密加工领域，提供一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法。该方法包含以下步骤：1)室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡配制化学机械抛光液；2)采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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