一种研磨盘固定架制造技术

本发明专利技术公开一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括研磨臂，其中包括：一研磨盘支架，研磨盘支架由永磁铁制成，研磨盘支架固定于研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，研磨盘吸附于研磨盘支架上；一定位件，设置于研磨盘支架的周向，用以固定研磨盘。本发明专利技术的技术方案有益效果在于：实现研磨盘的快速安装，减少了因固定螺栓在固定的过程中产生的铁屑，进而降低了报废风险，提高了运行时间和生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种研磨盘固定架
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种研磨盘固定架。
技术介绍
在大规模集成电路的制造领域中，化学机械研磨工艺是一个复杂的工艺过程，它是将晶圆表面与研磨垫的研磨表面接触，然后，通过晶圆表面与研磨垫的摩擦使原来凹凸不平的晶圆表面变得平坦。目前，研磨盘支架和研磨盘是通过三颗不锈钢螺栓进行固定，安装方式为首先将研磨盘紧贴于研磨盘支架，然后分别将每颗螺栓均匀锁几圈，再依次锁紧每颗螺栓，如图1a、1b所示，包括研磨盘支架1A、研磨盘1B、螺栓1C，这样会产生以下问题：(1)研磨盘安装不方便，耗时较长，造成机台运行时间低；(2)在安装过程中，锁螺栓的过程中，会产生铁屑，增加了报废风险，降低了生产效率。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，现提供一种研磨盘固定架。具体技术方案如下：一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置包括研磨臂，其中包括：一研磨盘支架，所述研磨盘支架由永磁铁制成，所述研磨盘支架固定于所述研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，所述研磨盘吸附于所述研磨盘支架上；一定位件，设置于所述研磨盘支架的周向，用以固定所述研磨盘。优选的，所述定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置包括研磨臂，其特征在于，包括：一研磨盘支架，所述研磨盘支架由永磁铁制成，所述研磨盘支架固定于所述研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，所述研磨盘吸附于所述研磨盘支架上；一定位件，设置于所述研磨盘支架的周向，用以固定所述研磨盘。

【技术特征摘要】
1.一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，所述化学机械研磨装置包括研磨臂，其特征在于，包括：一研磨盘支架，所述研磨盘支架由永磁铁制成，所述研磨盘支架固定于所述研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，所述研磨盘吸附于所述研磨盘支架上；一定位件，设置于所述研磨盘支架的周向，用以固定所述研磨盘。2.根据权利要求1所述的研磨盘固定架，其特征在于，所述定位件为固定销，所述固定销垂直固定于所述研磨盘支架的周向。3.根据权利要求1所述的研磨盘固定架，其特征在于，所述定位件至少设置为两个。4.根据权利要求3所述的研磨盘固定架...

【专利技术属性】
技术研发人员：高志强，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42