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本发明公开一种研磨盘固定架，适用于化学机械研磨装置，化学机械研磨装置包括研磨臂，其中包括：一研磨盘支架，研磨盘支架由永磁铁制成，研磨盘支架固定于研磨臂的一端；一具有铁磁性的研磨盘，研磨盘吸附于研磨盘支架上；一定位件，设置于研磨盘支架的周向，...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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