【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶靶材分节绑定装置
本技术涉及靶材成型加工领域，特别是一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的一种旋转靶靶材分节绑定装置。
技术介绍
磁控溅射广泛应用，推动了靶材产品的丰富发展，很多靶材的性质决定了不能直接使用，需要背管与靶材绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求。因此，靶材与背管的绑定技术就成为了关键技术，直接影响靶材的正常使用。旋转靶与背管之间的绑定是整个环形面的接触焊合，很容易产生气泡、疏松，使得背管效能降低甚至脱落。旋转靶长度越长，越难绑定，绑定焊合率越低。有些靶材绑定过长时还会发生变形。旋转靶与背管之间的接触面为曲面，与平面靶不同，旋转靶的绑定，一般以旋转靶和背管为模具，将绑定材料溶化后进行浇铸。绑定原理与铸造管材类似，管壁越薄，长度越长，浇铸的均匀性越难控制。对于一些靶材，绑定的温度也收到限制。为了解决绑定长度过长造成的绑定不均匀、焊合率低，本技术提出了分节绑定的方案。本方案可根据靶材材质灵活调整，适用于任意长度的旋转靶，通用性好。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的旋转靶分节绑...
【技术保护点】
1.一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：包括用于定位及竖直安装背管(1)的移动定位器(7)、外加热装置(3)、移动导杆(6)和内加热装置(5)，背管(1)的下部插设于移动定位器(7)中，且背管(1)的下部定位固定于移动定位器(7)；内加热装置(5)固定在移动导杆(6)的上部，内加热装置(5)及移动导杆(6)的上部活动插设于背管(1)的内腔中，以实现通过移动导杆(6)及内加热装置(5)相对背管(1)移动而改变内加热装置(5)相对背管(1)的位置；背管(1)的外缘活动套设有外加热装置(3)，外加热装置(3)的上端部开设有浇口(2)，在背管(1)和外加热装置(3)之间形成一用...
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：包括用于定位及竖直安装背管(1)的移动定位器(7)、外加热装置(3)、移动导杆(6)和内加热装置(5)，背管(1)的下部插设于移动定位器(7)中，且背管(1)的下部定位固定于移动定位器(7)；内加热装置(5)固定在移动导杆(6)的上部，内加热装置(5)及移动导杆(6)的上部活动插设于背管(1)的内腔中，以实现通过移动导杆(6)及内加热装置(5)相对背管(1)移动而改变内加热装置(5)相对背管(1)的位置；背管(1)的外缘活动套设有外加热装置(3)，外加热装置(3)的上端部开设有浇口(2)，在背管(1)和外加热装置(3)之间形成一用于浇铸并形成金属层(8)的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层(8)固定在该背管(1)的外表面；在外加热装置(3)和内加热装置(5)每次相对背管(1)向上移动设定距离的过程中，外加热装置(3)和内加热装置(5)的相对位置保持不变，以实现在背管(1)的外缘形成一连结下一节金属层(8)的浇铸空间，以实现使依次成型在背管(1)的表面的相邻两节金属层(8)连结成一体。2.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：所述移动定位器(7)设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈明恒，文锋，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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