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本实用新型公开了一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括用于定位及安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，背管的下部插设于移动定位器中，移动导杆插入在背管中，内加热装置固定在移动导杆的上部，且背管的下部定位固定于移动定位器；外加热装...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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