【技术实现步骤摘要】
一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具
本技术涉及旋转靶材的工装夹具的
，尤其是涉及一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具。
技术介绍
目前，旋转靶材常用不锈钢管作为基材背管，使用等离子喷涂机制备靶材，喷涂作业的过程中需要对背管进行冷却，背管还需要保持旋转，一般采用的办法是，在背管内套装一根钢管，两端用螺母固定，然后在钢管中通入冷却水，通过钢管管壁的热传导对背管进行冷却，此办法存在冷却效果不理想、靶材涂层容易开裂和容易损伤背管内壁的密封面的问题，影响了产品的成品率和质量，而在加工不同长度的靶材背管时，由于工装夹具的装夹长度是固定的，每一个工装夹具只能装夹一种长度规格的背管，对于不同长度规格的背管不能通用，因此，对于每一种不同长度规格的旋转靶材的背管都需要定制一套专用工装夹具，生产车间需准备的工装夹具的数量非常多，十分浪费，因此有必要予以改进。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的第一目的是提供一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其中的芯轴具有伸缩结构，能够适用于不同长度的基材背管，结构简单，具有较强的通用性。针对现有技术存在的不足，本技术的第二目的是提供一种...
【技术保护点】
1.一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴(1)、第二芯轴(2)和背管锁紧装置，其特征在于：第一芯轴(1)的内端部活动插接于第二芯轴(2)的内端部，以实现调节第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的总长度；第一芯轴(1)的内端部或第二芯轴(2)的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴(1)锁紧于第二芯轴(2)；第一芯轴(1)的外端部和第二芯轴(2)的外端部分别安装有一背管锁紧装置。
【技术特征摘要】
1.一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴(1)、第二芯轴(2)和背管锁紧装置，其特征在于：第一芯轴(1)的内端部活动插接于第二芯轴(2)的内端部，以实现调节第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的总长度；第一芯轴(1)的内端部或第二芯轴(2)的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯轴(1)锁紧于第二芯轴(2)；第一芯轴(1)的外端部和第二芯轴(2)的外端部分别安装有一背管锁紧装置。2.根据权利要求1所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述芯轴锁紧装置包括成型于所述第一芯轴(1)内端部的凹部、成型于所述第二芯轴(2)内端部的凸部和定位螺丝杆(21)，凸部活动插设于凹部；在凹部的开口端开设有定位螺孔，定位螺孔贯穿凹部的内壁和外壁，定位孔中螺接有一定位螺丝杆(21)，定位螺丝杆(21)的前端活动抵顶于凸部，用于将第一芯轴(1)锁紧于第二芯轴(2)。3.根据权利要求2所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述背管锁紧装置包括紧固螺母(13)和用于夹紧靶材背管(3)的压紧环(14)，所述第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部分别成型有肩位，位于第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的两个肩位分别活动套设有一压紧环(14)，压紧环(14)的前端朝第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的内端部方向延伸设定长度，紧固螺母(13)螺栓连接于第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部并且抵顶于压紧环(14)的后端。4.根据权利要求3所述的一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，其特征在于：所述背管锁紧装置的内端部设置有密封机构，包括挡水环(17)、小密封圈(15)和大密封圈(16)，所述第一芯轴(1)和第二芯轴(2)的外端部分别开设有安装肩位，安装肩位分别活动套设有一挡水环(17)，小密封圈(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：李升贵，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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