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本实用新型公开了一种等离子喷涂旋转靶材的背管工装夹具，包括第一芯轴、第二芯轴和背管锁紧装置，第一芯轴的内端部活动插接于第二芯轴的内端部，以实现调节第一芯轴和第二芯轴的总长度；第一芯轴的内端部或第二芯轴的内端部设置有芯轴锁紧装置，用于将第一芯...
该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。

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