膜状工件吸附装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种膜状工件吸附装置，其在利用负压吸附了膜状的工件的情况下，能够在工件上不产生挠曲、褶皱、变形等。一种膜状工件吸附装置(10)，将具备朝下的开口(21)的吸引箱(20)的内侧分割成多个部分而构成各自形成分割吸附空间的多个分割吸附部(24)和其下端的分割吸附面(25)，设置以较弱的吸引力将膜状工件(13)吸引于各分割吸附部(24)的吸气风扇(26)和分别独立地控制这些吸气风扇(26)的控制装置(30)，在吸气风扇(26)接通时，通过在各分割吸附面(25)的吸附区域(12)内同时均匀地吸附膜状工件(13)，在所吸附的膜状工件(13)不引起挠曲、褶皱、变形等。

【技术实现步骤摘要】
膜状工件吸附装置
本专利技术涉及膜状有机EL等的膜状工件吸附装置。
技术介绍
在专利文献1中公开了一种在陶瓷生片的层叠工序等中利用吸附板真空吸附生片并进行层叠的片材吸附板。另外，在专利文献2中公开了一种膜状零部件用吸附头。专利文献1所记载的技术方案提供一种片材吸附板，该片材吸附板具有许多直径较小的吸引孔，并且，吸引孔的大小较为均匀，可获得均匀的吸附。该片材吸附板的特征在于，具备：第1板，在该第1板，以预定节距分散形成有从表面贯通到背面的许多吸引孔；以及第2板，其在表面的周围具有框部，在框部的内侧形成有与吸引孔连通的格子状的通气槽，且在通气槽的底部形成有通向背面的多个通气孔，通气孔与真空源连接。这样的片材吸附板存在如下的问题：为了应对各种工件形状、工件的配置，必须准备多个种类的片材吸附板。另外，在是非常薄的膜状的工件、且该工件较大的情况下，难以均匀地进行吸附，其结果，存在如下问题：在吸附之后，膜状工件会产生挠曲、褶皱、变形等。另外，在较小的膜状工件排列在托盘上、对该膜状工件进行吸附的情况下，也存在如下问题：在无法进行均匀的吸附时，若在膜状工件与相邻的膜状工件之间产生吸附的时间差、吸附力之差，则会导致膜状工件的姿势产生紊乱，由此膜状工件也会产生挠曲、褶皱、变形等。专利文献2所记载的吸附头在通过吸附膜状的零部件来进行处理之际使用，吸附头在所吸附的工件在进行吸附之际所接触的部分具有开口，该开口由多个大致相同尺寸、大致相同形状的孔构成。因而，在一个吸附头配置有用于吸附工件的多个开口，且这多个开口与一个负压源连接。而且，在这多个开口之间存在未设置吸引孔的部分。因此，存在如下问题：在吸附非常薄的膜状工件之际，产生被开口吸附的部分和位于这些开口之间的未被吸附的部分，这使得易于引起挠曲、褶皱、变形。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-267986号公报专利文献2：日本特开平6-40596号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术的课题在于提供一种在利用负压吸附了膜状的工件的情况下、能够在工件上不产生挠曲、褶皱、变形等的膜状工件吸附装置。用于解决问题的方案本专利技术利用如下的膜状工件吸附装置来解决上述课题，该膜状工件吸附装置的特征在于，具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；1台吸气风扇，其通过在所述分割吸附部的背后的所述上底部吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；控制装置，其用于控制所述吸气风扇；以及连通孔，其设置于对所述吸引箱的内侧空间和所述开口进行分隔的所述分隔板，将沿着所述长度方向相邻的所述分割吸附部之间连通。另外，本专利技术利用如下的膜状工件吸附装置同样地解决上述课题，该膜状工件吸附装置的特征在于，具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；n台吸气风扇，其在这些分割吸附部的各自的背后的所述上底部各设置有1台，通过吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；以及控制装置，其用于分别独立地控制所述多个吸气风扇，所述吸气风扇设为利用1台吸引源吸附所述膜状工件的情况下的吸引源的吸附力的1/n的吸附力。此外，在沿着长度方向分隔成n个的情况下，以分割吸附面成为相同的面积、形状、例如成为正方形、正六边形、正三角形的方式沿着短边方向分割成1个～m个(m是2以上的整数)。此外，分割吸附面和遮盖片材都由导电性材料形成。另外，膜状工件的厚度设为0.01mm～0.2mm。专利技术的效果本专利技术的膜状工件吸附装置利用分隔板将朝下开口的吸引箱中的工件的吸附面分割而构成各自形成分割吸附空间和分割吸附面的多个分割吸附部，设置通过吸引这些分割吸附部的空气来吸引膜状工件的吸气风扇和控制该吸气风扇的控制装置，各分割吸附部将该分割吸附面的范围内的膜状工件同时吸附，因此，起到如下的优异效果：能够使所吸附的膜状工件不引起挠曲、褶皱、变形等。附图说明图1是表示本专利技术的实施例1的膜状工件吸附装置和膜状工件的分解立体图。图2是表示从下侧观察该膜状工件吸附装置的状态的分解立体图。图3是沿着图1的III-III线的放大剖视图。图4是表示该膜状工件吸附装置中的控制装置与吸气风扇之间的关系的框图。图5是表示本专利技术的实施例2的膜状工件吸附装置的与图2同样的分解立体图。图6是示意性地表示该实施例2的膜状工件吸附装置中的吸附面与膜状工件及遮盖片材之间的关系的放大剖视图。图7是示意性地表示利用该实施例2的膜状工件吸附装置吸附膜状工件的过程的剖视图。图8是表示本专利技术的实施例3的膜状工件吸附装置的与图3同样的剖视图。图9是表示该实施例3的膜状工件吸附装置的立体图。图10是示意性地放大地表示高速吸附分离膜状工件的高速吸附分离装置的剖视图。附图标记说明10、40、60、膜状工件吸附装置；12、蚀刻板；12-1～12-6、分割吸附区域；13、13A、膜状工件；14、遮盖片材；14A、框；14B、贯通孔；15、托盘；16、间隙；20、41、61、吸引箱；20A、60A、分隔板；21、开口；22、上底部；24(24-1～24-6)、43(43-1～43-6)、64(64-1～64-6)、分割吸附部；25(25-1～25-6)、44(44-1～44-6)、65(65-1～65-6)、分割吸附面；26(26-1～26-6)、66、吸气风扇；27(27-1～27-6)、风扇马达；30、70、控制装置；30A、风扇马达控制部；30B、隔离阀控制部；42、弯曲面；50、高速吸附分离装置；52、吸引管；52A、主隔离阀；54、空气引入开口；54A、引入开口隔离阀；56、压力导入开口；56A、导入开口隔离阀；68、连通孔。具体实施方式以下，参照附图详细说明本专利技术的实施例。【实施例1】如图1所示，本专利技术的实施例1的膜状工件吸附装置10包括吸引箱20、分割吸附部24-1～24-6、吸气风扇26-1～26-6、蚀刻板12、遮盖片材14以及控制装置30(参照图4)。图1中的附图标记13表示利用膜状工件吸附装置10进行吸附的膜状工件。在该实施例1中，24张膜状工件13在托盘15上排列成4×6，各2×2＝4张分别吸附于1个分割吸附部24，将24张膜状工件13同时全部吸附或每次吸附4张。吸引箱20由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口21，该开口21的下侧的大小和形状与蚀刻板12的大小和形状相同；以及上底部22，其与开口21分开地配置于开口21的上方。利用分隔板20A将吸引箱20的内侧空间和开口21分隔成格子状，而沿着该吸引箱20的长度方向形成有3个分割吸附部24，沿着宽度方向形成有2个分割吸附部2本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，该膜状工件吸附装置具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；1台吸气风扇，其通过在所述分割吸附部的背后的所述上底部吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；控制装置，其用于控制所述吸气风扇；以及连通孔，其设置于对所述吸引箱的内侧空间和所述开口进行分隔的所述分隔板，将沿着所述长度方向相邻的所述分割吸附部之间连通。

【技术特征摘要】
2017.04.28 JP 2017-0899331.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，该膜状工件吸附装置具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；1台吸气风扇，其通过在所述分割吸附部的背后的所述上底部吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；控制装置，其用于控制所述吸气风扇；以及连通孔，其设置于对所述吸引箱的内侧空间和所述开口进行分隔的所述分隔板，将沿着所述长度方向相邻的所述分割吸附部之间连通。2.一种膜状工件吸附装置，其特征在于，该膜状工件吸附装置具有：蚀刻板；吸引箱，其由箱状体形成，该箱状体具备：朝下的开口，该开口的下侧的大小和形状与所述蚀刻板的大小和形状相同；和上底部，其与所述开口分开地配置于所述开口的上方；n个分割吸附部，在将n设为3以上的整数时，其是利用分隔板将所述吸引箱的内侧空间和所述开口沿着所述吸引箱的长度方向分隔成至少n个而形成的，各自的下侧成为分割吸附面；n台吸气风扇，其在这些分割吸附部各自的背后的所述上底部各设置有1台，通过吸出所述分割吸附部内的空气，能够将膜状工件吸附于所述分割吸附面；以及控制装置，其用于分别独立地控制所述多个吸气风扇，所述吸气风扇设为利用1台吸引源吸附所述膜状工件的情况下的吸引源的吸附力的1/n的吸附力。3.根据权利要求2所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，沿所述吸引箱的长度方向相邻的至少3个所述分割吸附面设为连续的朝上凸起的弯曲面，使得长度方向中央部的所述分割吸附面比位于其两侧部的所述分割吸附面接近所述吸气风扇那一侧，从所述上底部算起的距离变浅。4.根据权利要求3所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，所述控制装置构成为，控制所述吸气风扇而使所述中央部的吸气风扇比所述两侧部的吸气风扇先吸引所述膜状工件。5.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，所述分割吸附面构成为，设为与排列于托盘上的多张所述膜状工件相应的大小和形状，同时吸引该多张所述膜状工件。6.根据权利要求1～4中任一项所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，该膜状工件吸附装置具有1张遮盖片材，将所述蚀刻板夹在该遮盖片材与所述分割吸附面之间，该遮盖片材与该蚀刻板一起固定于所述多个分割吸附部而进行配置，所述遮盖片材是具有在与所述蚀刻板一起固定到所述分割吸附面的状态下成为所述n个分割吸附部的周壁的框的框构造，框内成为贯通孔。7.根据权利要求5所述的膜状工件吸附装置，其特征在于，该膜状工件吸附装置具有1张遮盖片材，将所述蚀刻板夹在该遮盖片材与所述分割吸附面之间，该遮盖片材与该蚀刻板一起固定于所述多个分割吸附部而进行配置，所述遮盖片材是具有在与所述蚀...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗原弘明，千叶茂美，
申请(专利权)人：株式会社日本设计工业，
类型：发明
国别省市：日本,JP