薄板状材料输送用气动工作台以及薄板状材料输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种抑制无尘室内的空气紊流、并且获得薄板状材料的较大的上浮量的薄板状材料输送用气动工作台以及具有该气动工作台的薄板状材料输送装置。薄板状材料输送用气动工作台（１４）具有上面板（１８）、多孔质膜（２０）、和网状部件（２２）；其中，所述上面板（１８）形成有多个用于对玻璃基板（１２）的下表面供给气体的给气孔（１６）；所述多孔质膜（２０）设置在所述上面板（１８）之下并与该上面板（１８）相接触；所述网状部件（２２）设置成从下方支撑所述多孔质膜（２０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及非接触地支撑薄板状材料的薄板状材料输送用气动 工作台以及具有该气动工作台的薄板状材料输送装置，所述薄板状材料是用于液晶显示板(LCD)、等离子体显示器(PDP)等平板显 示器(FPD)的大型薄玻璃基板。
技术介绍
对于液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器的玻璃基板而 言，稍微一点损伤或尘埃都会对其品质产生很大影响，因此在这样 的玻璃基板的输送过程中，要求将玻璃基板保持为近似平面的形状 并且沿着预定输送面平滑地输送，使得在玻璃基板表面不产生损伤、 不附着异物。另一方面，在液晶显示器中，玻璃基板的尺寸日趋大型化，例 如在第8代中，相对于W2200mmxL2500mm这样的大小，厚度约 为0.5 0.7mm，是非常薄的，因此在水平输送玻璃基板时，如果仅 支撑其外周端部而不支撑其更靠内侧部分，则中央部会严重下垂。因此，玻璃基板的输送装置正在力求尽可能均匀地支撑玻璃基 板的整个平面，并且保持近似平面的形状地进行输送。已知有下述的输送装置，例如，在输送面的输送方向以及与输 送方向垂直的宽度方向上以适当的节距设置多个辊，用所述的多个 辊从下方支撑玻璃基板并驱动。但是，在用多个辊从本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于：具有上面板、多孔质膜及网状部件，其中，所述上面板形成有多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述多孔质膜设置在该上面板之下并与该上面板相接触；所述网状部件设置成从下方支撑该多孔质膜。

【技术特征摘要】
JP 2006-8-8 215557/20061. 一种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于具有上 面板、多孔质膜及网状部件，其中，所述上面板形成有多个用于对 薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述多孔质膜设置在该上面板之下并与该上面板相接触；所述网状部件设置成从下方支撑该 多孔质膜。2. —种薄板状材料输送用气动工作台，其特征在于具有上面板、多孔质膜及网状部件，其中，所述上面板形成有多个用于对薄板状材料的下表面供给气体的给气孔；所述多孔质膜设置在该上 面板之下；所述网状部件被设置成夹在该多孔质膜与所述上面板之 间。3. 根据权利要求l所述的薄板状材料输送用气动工作台，其 特征在于:所述网状部件可设置在下侧位置和上侧位置这两个位置， 所述下侧位置是从下方支撑所述多孔质膜地设置在所述多孔质膜之 下的位置，所述上侧位置是设置成被夹在所述多孔质膜与所述上面 板之间的位置。4. 根据权利要求2所述的薄板状材料输送用气动工作台，其 特征在于:所述网状部件可设置在下侧位置和上侧位置这两个位置，所述下侧位置是从下方支撑所述多孔质膜地设置在所述多孔质膜之 下的位置，所述上侧位置是设...

【专利技术属性】
技术研发人员：名仓成之，滨中亮明，弓场说治，鸟山典之，小栗勤，牧野勉，福田丈二，广濑治道，
申请(专利权)人：株式会社日本设计工业，芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]