多晶硅铸锭炉热场复合保温结构制造技术

本实用新型专利技术涉及多晶硅铸锭炉设备，旨在提供多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。该种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门。本实用新型专利技术作为多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，在生产过程中能有效减少热量的损失，起到保温、温度均匀化及提高生产效率的作用。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅铸锭炉热场复合保温结构
本技术是关于多晶硅铸锭炉设备领域，特别涉及多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。
技术介绍
目前多晶硅铸锭炉热场保温结构的材料均采用板状固化毡，拼接方式均采用对接或者角接的方式，由于热场内部空间与外部空间直接导通，热场内部热量将直接流失到热场外部较大空间处，而且会导致外部空间杂质进入热场内部从而会影响长晶质量。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能够有效减少热场内部热量的损失及杂质的进入的多晶硅铸锭炉热场复合保温结构。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；所述顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板都采用固化毡；所述侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板都采用固化毡，且侧部中层保温板与侧部内层保温板之间、侧部中层保温板与侧部外层保温板之间分别设置有一层软毡；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板连接固定，侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件固定连接；所述底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门，底部外层固定热门通过石墨支撑柱固定于下炉体中，底部内层固定热门安装于底部外层固定热门与DS块之间；外层固定热门和底部内层固定热门都采用固化毡；侧部保温结构与底部保温结构的结合处、侧部保温结构与顶部保温结构的结合处都采用迷宫型结构连接。作为进一步的改进，所述顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，采用C/C螺栓连接。作为进一步的改进，所述侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，采用C/C螺栓固定。作为进一步的改进，所述侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件通过不锈钢螺栓紧固连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术作为多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，在生产过程中能有效减少热量的损失，起到保温、温度均匀化及提高生产效率的作用。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术中的迷宫形局部示意图。图中的附图标记为：1底部外层固定热门；2底部内层固定热门；3DS块；4坩埚组件；5顶层上保温板；6顶层中保温板；7顶层下保温板；8侧部内层保温板；9侧部中层保温板；10侧部外层保温板。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：如图1所示的一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构，在工作环境下能起到保温、温度均匀化的作用，并能有效减少热量的损失。顶部保温结构包括顶层上保温板5、顶层中保温板6和顶层下保温板7，用于设置在坩埚组件4的上部。顶层上保温板5、顶层中保温板6和顶层下保温板7都采用固化毡，且顶层上保温板5、顶层中保温板6和顶层下保温板7采用C/C螺栓连接。所述侧部保温结构包括侧部内层保温板8、侧部中层保温板9和侧部外层保温板10，侧部保温结构用于设置在坩埚组件4的四周。侧部内层保温板8、侧部中层保温板9和侧部外层保温板10都采用固化毡，且侧部中层保温板9与侧部内层保温板8之间、侧部中层保温板9与侧部外层保温板10之间分别设置有一层软毡，即“3+2”(3层固化毡加2层软毡)保温结构。侧部内层保温板8、侧部中层保温板9和侧部外层保温板10采用C/C螺栓固定，侧部外层保温板10与热场上下隔热笼组件通过不锈钢螺栓紧固连接。所述底部保温结构包括底部外层固定热门1和底部内层固定热门2，底部外层固定热门1通过石墨支撑柱固定于下炉体中，底部内层固定热门2安装于底部外层固定热门1与DS块3之间；外层固定热门和底部内层固定热门2都采用固化毡。如图2所示，侧部保温结构与底部保温结构的结合处、侧部保温结构与顶部保温结构的结合处都采用迷宫型结构连接，该结构能够在加热过程中有效地减少热量的散失。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；所述顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板都采用固化毡；所述侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板都采用固化毡，且侧部中层保温板与侧部内层保温板之间、侧部中层保温板与侧部外层保温板之间分别设置有一层软毡；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板连接固定，侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件固定连接；所述底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层固定热门，底部外层固定热门通过石墨支撑柱固定于下炉体中，底部内层固定热门安装于底部外层固定热门与DS块之间；外层固定热门和底部内层固定热门都采用固化毡；侧部保温结构与底部保温结构的结合处、侧部保温结构与顶部保温结构的结合处都采用迷宫型结构连接。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭炉热场复合保温结构，其特征在于，包括顶部保温结构、侧部保温结构和底部保温结构；所述顶部保温结构包括连接固定的顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板，用于设置在坩埚组件的上部；顶层上保温板、顶层中保温板和顶层下保温板都采用固化毡；所述侧部保温结构包括侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板，侧部保温结构用于设置在坩埚组件的四周；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板都采用固化毡，且侧部中层保温板与侧部内层保温板之间、侧部中层保温板与侧部外层保温板之间分别设置有一层软毡；侧部内层保温板、侧部中层保温板和侧部外层保温板连接固定，侧部外层保温板与热场上下隔热笼组件固定连接；所述底部保温结构包括底部外层固定热门和底部内层...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，曹建伟，沈文杰，李林，胡建荣，俞安洲，石明智，董熔成，陈焕，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33