The invention provides a self-calibrating laser cutting device, which uses optical fibers to separate and transmit beams, realizes collimation and avoids loss, and finally realizes ablation of two focal points, which can increase the thickness of the cutting substrate; the cutting can minimize cracks and debris, and the ablation rate is high. The rate is improved, and a smaller cut width can be obtained, and the relative spacing of the focus can be flexibly adjusted.
【技术实现步骤摘要】
一种自校准式激光切割设备
本专利技术涉及激光加工尤其是在硅晶圆的激光切割中使用的切割装置,具体涉及一种自校准式激光切割设备。
技术介绍
目前在半导体集成电路的制造中,硅晶圆的切割是必不可少的工序。尽管在激光切割领域,能够在切缝宽度和切割质量方面能够实现较优的参数,但是对于厚度较大的晶圆衬底而言,其切割效率是较为低下的,甚至比传统的机械切割速度要慢很多。此外,激光切割之前,往往需要对激光束进行额外的对准步骤,其进一步降低了切割效率。
技术实现思路
基于解决上述问题,本专利技术提供了一种自校准式激光切割设备,包括第一激光器、第二激光器和光学系统;所述第一激光器沿着第一光轴发射第一激光束,所述第二激光器沿着第二光轴发射第二激光束,且所述第一光轴和第二光轴相互垂直;所述光学系统包括沿着第一光轴方向依次设置的分光镜、光纤分路器、引导光纤、光纤固定板和聚光镜;所述引导光纤包括一第一光纤和多个第二光纤,所述第一光纤表面上设置有反光层,所述多个第二光纤围绕于所述第一光纤周围,并且所述引导光纤的一端插入所述光纤分路器,另一端插入所述光纤固定板的第一导孔中;所述分光镜将所述第一激光束分裂成多束均匀分布的激光束;所述光纤分路器将所述多束激光束引导至所述第一光纤和第二光纤内,并经由所述第一导孔出射;所述第一光纤出射的激光束经由所述聚光镜聚焦至第一焦点处,所述第二光纤出射的激光束经由所述聚光镜聚焦至第二焦点处;所述光学系统还包括半透光反射镜,所述半透光反射镜位于所述第一光纤和所述多个第二光纤之间,且与所述第一光纤的夹角为45度,由此使得所述第二激光束部分透过所述半透光反射镜经由所述反射 ...
【技术保护点】
1.一种自校准式激光切割设备,包括第一激光器、第二激光器和光学系统;所述第一激光器沿着第一光轴发射第一激光束,所述第二激光器沿着第二光轴发射第二激光束,且所述第一光轴和第二光轴相互垂直;所述光学系统包括沿着第一光轴方向依次设置的分光镜、光纤分路器、引导光纤、光纤固定板和聚光镜;所述引导光纤包括一第一光纤和多个第二光纤,所述第一光纤表面上设置有反光层,所述多个第二光纤围绕于所述第一光纤周围,并且所述引导光纤的一端插入所述光纤分路器,另一端插入所述光纤固定板的第一导孔中;所述分光镜将所述第一激光束分裂成多束均匀分布的激光束;所述光纤分路器将所述多束激光束引导至所述第一光纤和第二光纤内,并经由所述第一导孔出射;所述第一光纤出射的激光束经由所述聚光镜聚焦至第一焦点处,所述第二光纤出射的激光束经由所述聚光镜聚焦至第二焦点处;所述光学系统还包括半透光反射镜,所述半透光反射镜位于所述第一光纤和所述多个第二光纤之间,且与所述第一光纤的夹角为45度,由此使得所述第二激光束部分透过所述半透光反射镜经由所述反射层的反射回传至激光器,且使得所述第二激光束其余部分经由所述半透光反射镜的镜面反射从所述光纤固定板的 ...
【技术特征摘要】
1.一种自校准式激光切割设备,包括第一激光器、第二激光器和光学系统;所述第一激光器沿着第一光轴发射第一激光束,所述第二激光器沿着第二光轴发射第二激光束,且所述第一光轴和第二光轴相互垂直;所述光学系统包括沿着第一光轴方向依次设置的分光镜、光纤分路器、引导光纤、光纤固定板和聚光镜;所述引导光纤包括一第一光纤和多个第二光纤,所述第一光纤表面上设置有反光层,所述多个第二光纤围绕于所述第一光纤周围,并且所述引导光纤的一端插入所述光纤分路器,另一端插入所述光纤固定板的第一导孔中;所述分光镜将所述第一激光束分裂成多束均匀分布的激光束;所述光纤分路器将所述多束激光束引导至所述第一光纤和第二光纤内,并经由所述第一导孔出射;所述第一光纤出射的激光束经由所述聚光镜聚焦至第一焦点处,所述第二光纤出射的激光束经由所述聚光镜聚焦至第二焦点处;所述光学系统还包括半透光反射镜,所述半透光反射镜位于所述第一光纤和所述多个第二光纤之间,且与所述第一光纤的夹角为45度,由此使得所述第二激光束部分透过所述半透光反射镜经由所述反射层的反射回传至激光器,且使得所述第二激光束其余部分经由所述半透光反射镜的镜面反射从所述光纤固定板的第二导孔中出射,再经由所述聚光...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈洁,
申请(专利权)人:苏州福唐智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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