【技术实现步骤摘要】
一种飞秒激光加工装置
本专利技术涉及半导体工件加工领域,具体为一种飞秒激光加工装置。
技术介绍
在半导体制程中,基板或器件间的上下互通互连,往往需要通孔来实现,半导体器件的单体化往往需要切割来实现。由于尺寸逐渐缩小,较小的高宽比(截面)的通孔以及较为不规则的切割道已经无法满足尺寸需要。例如,在单束激光钻孔过程中,由于在开始钻蚀的部分(工件的顶面)温度较高,钻蚀过快,其上部的侧壁部分也会受到持续的高温,如若按照上述的情形继续进行钻蚀,工件顶面部分的通孔位置的孔径将远大于所述衬底底面部分的通孔位置的孔径,并且侧壁是不平整的。这在实际生产中是极为不利的。
技术实现思路
基于解决上述问题,本专利技术提供了一种飞秒激光加工装置,包括第一激光器、第二激光器、分束镜、光闸、对准板和聚光镜,其中,所述第一激光器、分束镜、光闸、对准板沿着第一光路依次排列,所述第二激光器、光闸、聚光镜沿着第二光路依次排列;所述第一激光器沿着所述第一光路发出第一能量激光,所述第二激光器为飞秒激光器,其沿着第二光路发出第二能量激光;其中,所述第一光路垂直于所述第二光路;其中:所述光闸包括中心部分和围绕所述中心部分的边缘部分,所述中心部分为透光部分,所述边缘部分为反光部分;所述第一能量激光经分束镜分为第一中心激光和围在所述第一中心激光的第一边缘激光,所述第一中心激光透过所述中心部分用作与所述对准板对准的对准激光;所述第一边缘激光经所述边缘部分反射沿着第二光路到达聚光镜上,所述第二能量激光透过所述光闸的所述中心部分到达所述聚光镜上, ...
【技术保护点】
1.一种飞秒激光加工装置,包括第一激光器、第二激光器、分束镜、光闸、对准板和聚光镜,其中,所述第一激光器、分束镜、光闸、对准板沿着第一光路依次排列,所述第二激光器、光闸、聚光镜沿着第二光路依次排列;所述第一激光器沿着所述第一光路发出第一能量激光,所述第二激光器为飞秒激光器,其沿着第二光路发出第二能量激光;其中,所述第一光路垂直于所述第二光路;/n其特征在于:所述光闸包括中心部分和围绕所述中心部分的边缘部分,所述中心部分为透光部分,所述边缘部分为反光部分;所述第一能量激光经分束镜分为第一中心激光和围在所述第一中心激光的第一边缘激光,所述第一中心激光透过所述中心部分用作与所述对准板对准的对准激光;所述第一边缘激光经所述边缘部分反射沿着第二光路到达聚光镜上,所述第二能量激光透过所述光闸的所述中心部分到达所述聚光镜上,经聚光镜改变路径聚集,第一边缘激光聚焦为边缘的第二边缘激光,第二能量激光聚焦为中心的第二中心激光。/n
【技术特征摘要】
1.一种飞秒激光加工装置,包括第一激光器、第二激光器、分束镜、光闸、对准板和聚光镜,其中,所述第一激光器、分束镜、光闸、对准板沿着第一光路依次排列,所述第二激光器、光闸、聚光镜沿着第二光路依次排列;所述第一激光器沿着所述第一光路发出第一能量激光,所述第二激光器为飞秒激光器,其沿着第二光路发出第二能量激光;其中,所述第一光路垂直于所述第二光路;
其特征在于:所述光闸包括中心部分和围绕所述中心部分的边缘部分,所述中心部分为透光部分,所述边缘部分为反光部分;所述第一能量激光经分束镜分为第一中心激光和围在所述第一中心激光的第一边缘激光,所述第一中心激光透过所述中心部分用作与所述对准板对准的对准激光;所述第一边缘激光经所述边缘部分反射沿着第二光路到达聚光镜上,所述第二能量激光透过所述光闸的所述中心部分到达所述聚光镜上,经聚光镜改变路径聚集,第一边缘激光聚焦为边缘的第二边缘激光,第二能量激光聚焦为中心的第二中心激光。
2....
【专利技术属性】
技术研发人员:陈洁,
申请(专利权)人:苏州福唐智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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