A laser punching device includes a light source module, an optical path transmission module, a laser modulation module, a focus module and a control module. The light source module is used for transmitting a first laser. The optical path transmission module, the laser modulation module and the focus module are successively arranged along the optical path. The laser modulation module includes a beam splitter and a shaper which can move in and out of the optical path. The beam splitter is used to divide the first laser into at least two second lasers, and the shaper is used to shape the first laser. The light source module, beam splitter and shaper are all connected with the control module. The control module is used to control the parameters of laser emitted by the light source module, and the control module is used to control the beam splitter and shaper in and out of the optical path. The focusing module is used to focus the first laser and the second laser to the substrate surface. The laser punching device solves the problems of easy cracking, warping and even peeling of the coating material of the base material during punching, as well as the problems of difficult control of the aperture size and poor quality of the inner wall.
【技术实现步骤摘要】
一种激光冲孔装置
本技术涉及激光加工
,尤其涉及一种激光冲孔装置。
技术介绍
航空发动机的燃烧室是高压气与燃料混合并进行燃烧的装置,而火焰筒作为燃烧室的主要构件,则长期处于这种高温环境中,工作条件十分恶劣,为使其能适用于这种工况条件,通常在其筒壁采用激光加工出大量冷却孔进行通气冷却,以达到零件延缓失效的目的。而近年来为进一步延长其使用寿命,通过在筒壁表面涂覆厚度为0.3-0.8mm的氧化锆等陶瓷涂层,这样利用陶瓷材料相比高温合金熔点更高的性质,从而使得火焰筒可在高达1200℃的环境中持续工作。此外,冷却孔的形状也由最初的圆柱孔孔型演化为例如“Y”形的异形孔孔型,从而可改善气流流场分布,实现增强冷却效果的目的。针对该类冷却孔加工特点,可采取长脉冲激光器冲出圆柱孔、超短脉冲激光精修出异形结构部分的方式进行加工,以求获得高效、高质量的加工效果。但在材料涂覆上陶瓷层之后,为长脉冲激光器冲孔带来了新的挑战。采用传统的激光打孔方法,容易造成陶瓷层的破坏。
技术实现思路
鉴于此,有必要提供一种不容易造成对陶瓷层的破坏的激光冲孔装置。一种激光冲孔装置,包括光源模块、光路传输模块、激光调制模块、聚焦模块和控制模块;所述光源模块用于发射第一激光;所述光路传输模块、所述激光调制模块和所述聚焦模块沿光路依次设置;所述激光调制模块包括分束器和整形器,所述分束器可移动进出所述光路,所述整形器可移动进出所述光路,所述分束器用于将所述第一激光分成至少两束第二激光,所述整形器用于对所述第一 ...
【技术保护点】
1.一种激光冲孔装置,其特征在于,包括光源模块、光路传输模块、激光调制模块、聚焦模块和控制模块;/n所述光源模块用于发射第一激光;/n所述光路传输模块、所述激光调制模块和所述聚焦模块沿光路依次设置;/n所述激光调制模块包括分束器和整形器,所述分束器可移动进出所述光路,所述整形器可移动进出所述光路,所述分束器用于将所述第一激光分成至少两束第二激光,所述整形器用于对所述第一激光进行整形,使所述第一激光焦点处光斑的边缘能量高于中心能量;/n所述光源模块、所述分束器和所述整形器均和所述控制模块连接,所述控制模块用于控制所述光源模块发射激光的参数,所述控制模块用于控制所述分束器进出所述光路,所述控制模块用于控制所述整形器进出所述光路;/n所述聚焦模块用于将所述第一激光和所述第二激光聚焦至基材表面。/n
【技术特征摘要】
1.一种激光冲孔装置,其特征在于,包括光源模块、光路传输模块、激光调制模块、聚焦模块和控制模块;
所述光源模块用于发射第一激光;
所述光路传输模块、所述激光调制模块和所述聚焦模块沿光路依次设置;
所述激光调制模块包括分束器和整形器,所述分束器可移动进出所述光路,所述整形器可移动进出所述光路,所述分束器用于将所述第一激光分成至少两束第二激光,所述整形器用于对所述第一激光进行整形,使所述第一激光焦点处光斑的边缘能量高于中心能量;
所述光源模块、所述分束器和所述整形器均和所述控制模块连接,所述控制模块用于控制所述光源模块发射激光的参数,所述控制模块用于控制所述分束器进出所述光路,所述控制模块用于控制所述整形器进出所述光路;
所述聚焦模块用于将所述第一激光和所述第二激光聚焦至基材表面。
2.如权利要求1所述的激光冲孔装置,其特征在于,所述分束器用于将所述激光分...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄江波,张懿鑫,朱文宇,
申请(专利权)人:西安中科微精光子制造科技有限公司,
类型:新型
国别省市:陕西;61
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