探针模块以及探针卡制造技术

一种探针卡，用以对一待测物进行检测，包括：设有多个线路的电路板；探针模块，其包括有至少一探针，具有悬臂梁、针臂座、针尖座以及针尖，悬臂梁具有两相背对的第一面与第二面，第二面朝向待测物；针臂座设置于第一面，用以与一线路电性连接；针尖座设置于第二面；针尖设置于针尖座背离第二面的表面，所述针尖用以与待测物接触；以及导电框，以导电材料制成，并与另一线路电性连接，传导框环设于至少一探针的周围，传导框与至少一探针保有一间距。

Probe module and probe card

A probe card for detecting an object to be tested includes a circuit board with multiple lines, a probe module comprising at least one probe, a cantilever beam, a needle arm seat, a needle tip seat and a needle tip, a cantilever beam having two opposite first and second sides, and a needle arm seat facing the object to be measured. One side is used for electrically connecting with a line; the pinpoint seat is arranged on the second side; the pinpoint is arranged on the surface of the pinpoint seat deviating from the second side, the pinpoint is used for contacting the object to be measured; and the conductive frame is made of conductive material and electrically connected with another line. The conductive frame ring is arranged around at least one probe, and the conductive frame is connected to the other. A little probe keeps a distance.

【技术实现步骤摘要】
探针模块以及探针卡
本专利技术与检测装置有关；特别是指一种用以对一待测物进行电性检测的探针模块以及探针卡。
技术介绍
用以检测电子产品中各个电子组件之间的电性连接是否确实，通常利用一探针模块作为一检测装置与待测电子装置之间的测试接口，通过信号传输以及电性信号分析，来获得待测电子装置的测试结果。随着电子组件的尺寸逐渐微缩，探针模块用以量测的探针的规格也趋精细发展，探针与探针之间排列间距缩小，其探针之间所产生的串扰效应会影响测试的精准度；尤其，在进行高频信号测试时，其信号传输时所受的干扰以及损耗都较高，而且阻抗匹配的特性也较差，以至于信号传输的完整性不佳。是以，如何获得较佳的传输信号与阻抗匹配的特性，是各业者所亟欲改善的方向之一。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种探针模块以及探针卡，可获得较佳的传输信号以及较佳的阻抗匹配特性。为了达成上述目的，本专利技术提供的一种探针模块，其包括有：至少一探针，具有一悬臂梁、一针臂座、一针尖座以及一针尖，所述悬臂梁具有两相背对的一第一面与一第二面；所述针臂座设置于所述第一面；所述针尖座设置于所述第二面；所述针尖设置于所述针尖座背离所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针模块，其包括有：至少一探针，具有一悬臂梁、一针臂座、一针尖座以及一针尖，所述悬臂梁具有两相背对的一第一面与一第二面；所述针臂座设置于所述第一面；所述针尖座设置于所述第二面；所述针尖设置于所述针尖座背离所述第二面的表面；以及一传导框，以导电材料制成，所述传导框环设于所述至少一探针的周围，所述传导框与所述至少一探针保有一间距。

【技术特征摘要】
2017.04.25 TW 1061138231.一种探针模块，其包括有：至少一探针，具有一悬臂梁、一针臂座、一针尖座以及一针尖，所述悬臂梁具有两相背对的一第一面与一第二面；所述针臂座设置于所述第一面；所述针尖座设置于所述第二面；所述针尖设置于所述针尖座背离所述第二面的表面；以及一传导框，以导电材料制成，所述传导框环设于所述至少一探针的周围，所述传导框与所述至少一探针保有一间距。2.如权利要求1所述的探针模块，其中所述传导框具有一悬臂部、基座部以及一连接部，所述悬臂部与所述至少一探针的悬臂梁相对应；所述基座部与所述连接部分别连接于所述悬臂部的两相背对的表面，且所述基座部与所述至少一探针的针臂座相对应，所述连接部与所述至少一探针的针尖座相对应。3.如权利要求1所述的探针模块，其中所述传导框的内缘凹陷形成有一缺口，所述探针的所述针尖座位于所述缺口中。4.如权利要求1所述的探针模块，其中所述悬臂梁具有相对的一前端与一后端，且所述悬臂梁具有相连接的一第一段以及一第二段，所述针臂座设置于所述第一段且靠近所述悬臂梁的后端处，所述针尖座设置于所述第二段且靠近所述悬臂梁的前端处；所述传导框具有一相连接的一第一部分以及一第二部分，所述第一部分形成有一开放端，所述开放端对应所述悬臂梁的后端，且所述第一部分环绕所述针臂座以及所述悬臂梁的第一段，所述第二部分环绕所述悬臂梁的第二段。5.如权利要求4所述的探针模块，其中所述传导框的第二部分具有一底板，所述底板面向所述悬臂梁的第一面。6.如权利要求5所述的探针模块，其中所述底板具有至少一镂空区。7.如权利要求5所述的探针模块，其中所述传导框的第二部分的一侧设置有一透空部，所述透空部正对所述悬臂梁的第二段。8.如权利要求3所述的探针模块，其中所述传导框的另一端形成有一封闭端，所述传导框的所述封闭端的两边缘之间的距离小于所述传导...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾伟正，魏豪，周嘉南，何志浩，郑仰宏，王裕文，许育祯，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71