一种机器人用吸盘装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种机器人用吸盘装置，包括盘体，所述盘体的上端中央设置有中央吸盘，中央吸盘的中央开设有中央气孔；所述中央吸盘的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘，第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的内侧中央均开设有通孔；所述盘体的下端设置有气腔，气腔均与中央气孔、通孔连通。本机器人用吸盘装置在工作时，盘体设置有多层吸盘，能将较小的晶圆或玻璃基板吸起，各个晶圆或玻璃基板与各个吸盘各自形成合适的真空度，避免了因局部漏气导致整体真空度不足，而吸附不住，在搬运过程中摔碎，吸附物体更平稳；整体较好吸附裂纹较多、凹凸不平较为严重的基板，有效的对吸附过程进行监控，减少待吸附件的损坏。

A suction cup device for robot

The invention discloses a sucker device for robots, which comprises a disk body. The upper end of the disk body is provided with a central sucker, and the center of the central sucker is provided with a central stomata; the outer side of the central sucker is sequentially provided with a first layer sucker, a second layer sucker and a third layer sucker, a first layer sucker and a second layer sucker. The inner central part of the suction cup and the third layer suction cup are provided with through holes, and the lower end of the disc body is provided with air chambers, which are all connected with the central air holes and through holes. When the sucker device of the robot works, the disc body is equipped with multi-layer suckers, which can suck up smaller wafers or glass substrates. Each wafer or glass substrates and each sucker can form appropriate vacuum degree respectively, thus avoiding the insufficiency of overall vacuum caused by local air leakage, which can not be absorbed, breaking and adsorbing in the process of handling. The object is more stable; the substrate with more cracks and more rough surface can effectively monitor the adsorption process and reduce the damage of the parts to be adsorbed.

【技术实现步骤摘要】
一种机器人用吸盘装置
本专利技术涉及机器人
，具体为一种机器人用吸盘装置。
技术介绍
真空吸盘是一种通过真空度来维持两物体附着不分离的技术。有工业应用和民间应用之分，在工业上通过改变吸盘的真空度来实现搬运、迁移过程中的“拿”与“放”，配合实现自动化机械化。吸盘可以有很多种，一种利用内外大气压力的差别,吸附在物体上的一种挂件，或者是抓取物体的一种工具；另一种是磁力吸盘，专门用于对铁磁性物质的吸附和固定，大多数应用在机械加工等领域。其中对于吸盘在吸附晶圆、玻璃、陶瓷等物件时，由于磁体对该类物品无磁性，所以需要运用真空吸盘。对于公告号CN104875212A提出的一种吸盘、机器人手及机器人，针对该结构的吸盘，但是存在部分缺点，针对较小的晶圆或玻璃基板，吸盘过大不易吸附及搬运较小的晶圆或玻璃基板，或者对于裂纹较多、凹凸不平较为严重的基板，容易通气，吸盘内外之间不能保持合适的真空度，导致物体吸附不牢，容易在搬运过程中摔碎；另缺乏对吸附过程的监控，对于真空度不足或过大时，不能及时发现和处理，从而导致待吸附件的损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种机器人用吸盘装置，较好吸附裂纹较多、凹凸不平较为严重的基板和减少待吸附件的损坏，以解决上述
技术介绍
中提出等问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种机器人用吸盘装置，包括盘体，所述盘体的上端中央设置有中央吸盘，中央吸盘的中央开设有中央气孔；所述中央吸盘的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘，第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的内侧中央均开设有通孔；所述第三层吸盘的外侧设置有缓冲圈，缓冲圈与盘体的上端固定连接；所述盘体的上端外侧设置有平头螺栓，盘体的下端设置有固定座，盘体通过平头螺栓与固定座固定连接；所述盘体的下端设置有气腔，气腔均与中央气孔、通孔连通；所述固定座的下端设置有气体进入管，气体进入管的左端设置有压力表，气体进入管的右端设置有压力传感器，气体进入管与真空源连接；所述压力传感器的上端设置有固定板，压力传感器的中央设置有感应片，压力传感器通过固定板与固定座固定连接，感应片与气腔接触连接。优选的，所述盘体的横截面为圆形。优选的，所述中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的高度相同。优选的，所述中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的高度大于缓冲圈的高度。优选的，所述中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘采用树脂制造。优选的，所述缓冲圈为弹性材料构件。优选的，所述固定座内填充有缓冲材料。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、本机器人用吸盘装置，盘体的横截面为圆形，中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的高度相同，盘体设置有多层吸盘，能将较小的晶圆或玻璃基板吸起，各个晶圆或玻璃基板与各个吸盘各自形成合适的真空度，避免了因局部漏气导致整体真空度不足，而吸附不住，在搬运过程中摔碎，吸附物体更平稳；中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘的高度略大于缓冲圈的高度，盘体在吸附晶圆、玻璃、陶瓷等物件时，缓冲圈缓冲盘体与待吸附件之间的作用力，防止中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘过度压缩，导致变形，减少其使用寿命；中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘可以使用树脂材料来制造，不易漏气，密闭性更强。2、本机器人用吸盘装置，盘体的下端设置有气腔，气腔均与中央气孔、通孔连通，一个气腔同时控制中央吸盘、第一层吸盘、第二层吸盘和第三层吸盘工作；固定座内填充有缓冲材料，有效缓冲或消耗掉盘体与待吸附件之间的作用力，防止压碎待吸附件；气体进入管的左端设置有压力表，通过读取压力表的示数，了解气腔内真空度的大小，防止气腔内真空度不足或过大；气体进入管的右端设置有压力传感器，工作前，设定好压力传感器的阈值，当气腔内的阈值过大时，发出报警，有效的对吸附过程进行监控，减少待吸附件的损坏。附图说明图1为本专利技术的俯视图；图2为本专利技术的盘体剖视图；图3为本专利技术的剖视图。图中：1、盘体；2、中央吸盘；3、中央气孔；4、第一层吸盘；5、第二层吸盘；6、第三层吸盘；7、通孔；8、缓冲圈；9、平头螺栓；10、固定座；11、气腔；12、气体进入管；13、压力表；14、压力传感器；141、固定板；142、感应片；15、缓冲材料。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-2，本专利技术实施例中：一种机器人用吸盘装置，包括盘体1，盘体1的上端中央设置有中央吸盘2，中央吸盘2的中央开设有中央气孔3；中央吸盘2的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6，第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6的内侧中央均开设有通孔7，盘体1的横截面为圆形，中央吸盘2、第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6的高度相同，盘体1设置有多层吸盘，能将较小的晶圆或玻璃基板吸起，各个晶圆或玻璃基板与各个吸盘各自形成合适的真空度，避免了因局部漏气导致整体真空度不足，而吸附不住，在搬运过程中摔碎，吸附物体更平稳；中央吸盘2、第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6可以使用树脂材料来制造，不易漏气，密闭性更强；第三层吸盘6的外侧设置有缓冲圈8，缓冲圈8与盘体1的上端固定连接，中央吸盘2、第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6的高度略大于缓冲圈8的高度，盘体1在吸附晶圆、玻璃、陶瓷等物件时，缓冲圈8缓冲盘体1与待吸附件之间的作用力，防止中央吸盘2、第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6过度压缩，导致变形，减少其使用寿命。请参阅图3，盘体1的上端外侧设置有平头螺栓9，盘体1的下端设置有固定座10，盘体1通过平头螺栓9与固定座10固定连接；盘体1的下端设置有气腔11，气腔11均与中央气孔3、通孔7连通，一个气腔11同时控制中央吸盘2、第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6工作；固定座10内填充有缓冲材料15，有效缓冲或消耗掉盘体1与待吸附件之间的作用力，防止压碎待吸附件；固定座10的下端设置有气体进入管12，气体进入管12的左端设置有压力表13，通过读取压力表13的示数，了解气腔11内真空度的大小，防止气腔11内真空度不足或过大；气体进入管12的右端设置有压力传感器14，气体进入管12与真空源连接；压力传感器14的上端设置有固定板141，压力传感器14的中央设置有感应片142，压力传感器14通过固定板141与固定座10固定连接，感应片142与气腔11接触连接，工作前，设定好压力传感器14的阈值，当气腔11内的阈值过大时，发出报警，有效的对吸附过程进行监控，减少待吸附件的损坏。工作原理：盘体1的横截面为圆形，中央吸盘2、第一层吸盘4、第二层吸盘5和第三层吸盘6的高度相同，盘体1设置有多层吸盘，能将较小的晶圆或玻璃基板吸起，各个晶圆或玻璃基板与各个吸盘各自形成合适的真空度，避免了因局部漏气导致整体真空度不足，而吸附不住，在搬运过程中摔碎，吸附物体更平稳，盘体1的下端设置有气腔11，气腔11均与中央气孔3、通孔7连通，一个气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机器人用吸盘装置，包括盘体(1)，其特征在于：所述盘体(1)的上端中央设置有中央吸盘(2)，中央吸盘(2)的中央开设有中央气孔(3)；所述中央吸盘(2)的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘(4)、第二层吸盘(5)和第三层吸盘(6)，第一层吸盘(4)、第二层吸盘(5)和第三层吸盘(6)的内侧中央均开设有通孔(7)；所述第三层吸盘(6)的外侧设置有缓冲圈(8)，缓冲圈(8)与盘体(1)的上端固定连接；所述盘体(1)的上端外侧设置有平头螺栓(9)，盘体(1)的下端设置有固定座(10)，盘体(1)通过平头螺栓(9)与固定座(10)固定连接；所述盘体(1)的下端设置有气腔(11)，气腔(11)均与中央气孔(3)、通孔(7)连通；所述固定座(10)的下端设置有气体进入管(12)，气体进入管(12)的左端设置有压力表(13)，气体进入管(12)的右端设置有压力传感器(14)，气体进入管(12)与真空源连接；所述压力传感器(14)的上端设置有固定板(141)，压力传感器(14)的中央设置有感应片(142)，压力传感器(14)通过固定板(141)与固定座(10)固定连接，感应片(142)与气腔(11)接触连接。...

【技术特征摘要】
1.一种机器人用吸盘装置，包括盘体(1)，其特征在于：所述盘体(1)的上端中央设置有中央吸盘(2)，中央吸盘(2)的中央开设有中央气孔(3)；所述中央吸盘(2)的外侧从内往外依次设置有第一层吸盘(4)、第二层吸盘(5)和第三层吸盘(6)，第一层吸盘(4)、第二层吸盘(5)和第三层吸盘(6)的内侧中央均开设有通孔(7)；所述第三层吸盘(6)的外侧设置有缓冲圈(8)，缓冲圈(8)与盘体(1)的上端固定连接；所述盘体(1)的上端外侧设置有平头螺栓(9)，盘体(1)的下端设置有固定座(10)，盘体(1)通过平头螺栓(9)与固定座(10)固定连接；所述盘体(1)的下端设置有气腔(11)，气腔(11)均与中央气孔(3)、通孔(7)连通；所述固定座(10)的下端设置有气体进入管(12)，气体进入管(12)的左端设置有压力表(13)，气体进入管(12)的右端设置有压力传感器(14)，气体进入管(12)与真空源连接；所述压力传感器(14)的上端设置有固定板(141)，压...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁荣，王涛，
申请(专利权)人：芜湖易泽中小企业公共服务股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34