一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置制造方法及图纸

一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置，其特征在于：包括一支架（1），在该支架（1）上设一真空管（2），该真空管（2）一端作为铜排置入端口（21）；真空管（3）的内腔中沿真空管（2）的长度方向安置有一冷却铜排固定板（7），该冷却铜排固定板（7）的上表面上用于安放固定冷却铜排（8），其下表面上间隔设置至少两个滑动支撑块（9）；滑动支撑块（9）上表面与铜排固定板（7）底面贴合固定连接，而滑动支撑块（9）的下表面为与真空管（2）的内表面匹配并贴合的弧面，即所述冷却铜排固定板（7）是经所述滑动支撑块（9）搁置于真空管（2）内。

【技术实现步骤摘要】
一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置
本技术涉及镀膜生产线，具体涉及一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置。
技术介绍
低辐射镀膜生产线是一套连续生产装置，主要工作原理是玻璃通过辊道输送，在真空腔体内，依次通过多个阴极靶位，阴极靶位对玻璃表面进行磁控溅射沉积多层薄膜，生产出镀膜玻璃产品。低辐射镀膜生产线在生产过程中由于磁控溅射会产生大量热量，热量集聚容易造成脱膜和掉渣等问题。为了带走这部分热量，在辊道下面安装有冷却铜排，内部通入循环的冷却水，冷却水循环带走热量。低辐射磁控溅射镀膜生产线是在真空环境中对玻璃进行镀膜，若冷却铜排有泄漏，水会部分蒸发带走热量，部分凝固结成冰，蒸发的水蒸汽会对镀膜工艺产生巨大的影响，最终造成脱膜。因此冷却铜排的检漏工作在整个装配过程中至关重要。
技术实现思路
本技术目的是提供一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置，以满足冷却铜排的检漏的需要。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置，包括一支架，在该支架上沿水平方向架设一真空管，该真空管一端作为铜排置入端口，该铜排置入端口上设密封端盖；所述真空管内腔对外密封，真空管上经管路接真空泵，且真空管的管壁上经阀门接破空装置，真空管的管壁上接有真空计，真空管的管壁上还接有氦气检漏仪；所述真空管的内腔中沿真空管的长度方向安置有一冷却铜排固定板，该冷却铜排固定板的上表面上用于安放固定冷却铜排，其下表面上间隔设置至少两个滑动支撑块，所述至少两个滑动支撑块是在真空管的长度方向上间隔布置；所述滑动支撑块上表面与铜排固定板底面贴合固定连接，而滑动支撑块的下表面为与真空管的内表面匹配并贴合的弧面，即所述冷却铜排固定板是经滑动支撑块搁置于真空管内；并且，所述真空管管壁或密封端盖上设有一供冷却铜排的管路连接的接口。上述方案中，所述真空管的与设铜排置入端口的那端相反的另一端上经波纹管连接所述真空泵。上述方案中，所述真空泵是由一旋片泵和一罗茨泵组成。上述方案中，所述破空装置中心是一个钢管，该钢管一端为KF法兰，其另一端封闭，钢管的管壁上均匀布置孔洞，在钢管的管壁外部包裹一层海绵，海绵的外层包覆带孔的金属层。由于上述技术方案的应用，本技术的工作原理以下带来的效果如下：本技术结构密封性好，抽真空周期短，整体操作简便，检漏可靠性高，工作效率高，大大节约冷却铜排抽真空检漏时间。附图说明图1为本技术实施例的结构示意图；图2为图1的A-A剖视示意图。以上附图中：1、支架；2、真空管；21、铜排置入端口；212、密封端盖；22、接口；3、真空泵；31、波纹管；4、破空装置；5、真空计；6、氦气检漏仪；7、冷却铜排固定板；8、冷却铜排；81、金属软管；9、滑动支撑块；100、控制柜。具体实施方式下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：实施例：参见图1～2所示：一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置，参见图1～2所示，包括一支架1，在该支架1上沿水平方向架设一真空管2，该真空管2一端作为铜排置入端口21，该铜排置入端口21上设密封端盖212。参见图1～2所示，所述真空管2内腔对外密封，真空管2上经管路接真空泵3，且真空管2的管壁上经阀门接破空装置4，真空管2的管壁上接有真空计5，真空管2的管壁上还接有氦气检漏仪6；所述真空管2的内腔中沿真空管2的长度方向安置有一冷却铜排固定板7，该冷却铜排固定板7的上表面上用于安放固定冷却铜排8，其下表面上间隔设置至少两个滑动支撑块9，所述至少两个滑动支撑块9是在真空管2的长度方向上间隔布置。参见图2所示，所述滑动支撑块9上表面与铜排固定板7底面贴合固定连接，而滑动支撑块9的下表面为与真空管2的内表面匹配并贴合的弧面，即所述冷却铜排固定板7是经所述滑动支撑块9搁置于真空管2内。并且，所述真空管2管壁或密封端盖212上设有一供冷却铜排8的管路连接的接口22。参见图1～2所示，所述真空管2的与设铜排置入端口21的那端相反的另一端上经波纹管31连接所述真空泵3。真空泵3是由一旋片泵和一罗茨泵组成。破空装置4中心是一个钢管，该钢管一端为KF法兰，其另一端封闭，钢管的管壁上均匀布置孔洞，在钢管的管壁外部包裹一层海绵，海绵的外层包覆带孔的金属层。具体，所述真空管2采用一不锈钢圆筒，两端均为法兰，一端为KF25，另一端为ISO100；所述支架5由槽钢做成的一个支架，槽钢上打有若干个螺纹孔，用于固定真空管2和在地面固定。冷却铜排8是由铜管拉拔而成，一端封闭，另一端焊接有VCO接头，由两路组成，冷却水通过一路进入，从另一路流出。冷却铜排固定板7采用一铝合金板，质量较轻，上表面中间位置有螺纹孔，用于与冷却铜排8连接，下表面两边位置有螺纹孔，用于连接滑动支撑块9。滑动支撑块9采用塑料材质，下端成弧形，可与真空管2很好的贴合，上表面为平面，两边各有一个通孔，穿螺栓用。所述接口22与冷却铜排8之间以金属软管81连接，该金属软管81中间为金属管，外表面包裹金属编制网，两端为VCO接头。所述接口22的主体是一90度弯管，该弯管的拐弯处有一个KF法兰，两端为VCO接头。所述密封端盖212为法兰，该法兰是不锈钢材质，两端均为法兰，一端为ISO100，一端为KF25。本实施例的使用过程如下：1、参照图1装配冷却铜排检漏装置（其中冷却铜排8、冷却铜排固定板7、滑动支撑块9和金属软管81不安装），并进行电气接线；2、将滑动支撑块9通过螺栓紧固到冷却铜排固定板7下表面，冷却铜排8通过螺栓紧固到冷却铜排固定板7上表面，金属软管81通过VCO接头与冷却铜排8连接，即将冷却铜排8、冷却铜排固定板7、冷却铜排8以及金属软管81组成一个整体装置Ⅰ；3、拧开螺栓以拿下密封端盖212，将整体装置Ⅰ推入真空管2内，将金属软管81与接口22通过VCO接头连接，拧紧，然后，盖上密封端盖212拧紧螺栓；4、检查真空管2上的各阀门处于关闭状态，启动真空泵3对真空管2内部抽真空，抽真空过程中打开与真空计5和氦气检漏仪6连接的阀门，观察真空计5示数变化并启动氦气检漏仪6；5、待真空计5示数在5x10-4mbar以下时，向接口22内充入5Kg氦气，观察氦气检漏仪6示数变化，若示数上升，则说明冷却铜排8有漏，若氦气检漏仪6示数不变，则说明冷却铜排8没有泄漏，并进行记录；6、检漏完成后，将与真空计5和氦气检漏仪6相连的2个阀门关闭，真空泵3停止工作；7、打开与破空装置4相连的阀门，对真空管2充气，打开密封端盖212后，将整体装置Ⅰ取出，依次往复检漏其他冷却铜排8。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置，其特征在于：包括一支架（1），在该支架（1）上沿水平方向架设一真空管（2），该真空管（2）一端作为铜排置入端口（21），该铜排置入端口（21）上设密封端盖（212）；所述真空管（2）内腔对外密封，真空管（2）上经管路接真空泵（3），且真空管（2）的管壁上经阀门接破空装置（4），真空管（2）的管壁上接有真空计（5），真空管（2）的管壁上还接有氦气检漏仪（6）；所述真空管（2）的内腔中沿真空管（2）的长度方向安置有一冷却铜排固定板（7），该冷却铜排固定板（7）的上表面上用于安放固定冷却铜排（8），其下表面上间隔设置至少两个滑动支撑块（9），所述至少两个滑动支撑块（9）是在真空管（2）的长度方向上间隔布置；所述滑动支撑块（9）上表面与铜排固定板（7）底面贴合固定连接，而滑动支撑块（9）的下表面为与真空管（2）的内表面匹配并贴合的弧面，即所述冷却铜排固定板（7）是经所述滑动支撑块（9）搁置于真空管（2）内；并且，所述真空管（2）管壁或密封端盖（212）上设有一供冷却铜排（8）的管路连接的接口（22）。

【技术特征摘要】
1.一种低辐射镀膜生产线用冷却铜排检漏装置，其特征在于：包括一支架（1），在该支架（1）上沿水平方向架设一真空管（2），该真空管（2）一端作为铜排置入端口（21），该铜排置入端口（21）上设密封端盖（212）；所述真空管（2）内腔对外密封，真空管（2）上经管路接真空泵（3），且真空管（2）的管壁上经阀门接破空装置（4），真空管（2）的管壁上接有真空计（5），真空管（2）的管壁上还接有氦气检漏仪（6）；所述真空管（2）的内腔中沿真空管（2）的长度方向安置有一冷却铜排固定板（7），该冷却铜排固定板（7）的上表面上用于安放固定冷却铜排（8），其下表面上间隔设置至少两个滑动支撑块（9），所述至少两个滑动支撑块（9）是在真空管（2）的长度方向上间隔布置；所述滑动支撑块（9）上表面与铜排固定板（7）底面贴合固定连接，而滑动支撑块（9...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧晓良，李险峰，罗雨潇，张山山，刘云南，邱宏，
申请(专利权)人：中建材光电装备太仓有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32