【技术实现步骤摘要】
一种真空热处理炉上的加热体双层加热装置
本技术属于一种磁性材料、半导体材料、功能材料等电子材料精密热处理设备领域，尤其是真空热处理炉上的加热体双层加热装置。
技术介绍
电子材料、磁性材料、功能材料的烧结工艺过程是在高温恒温状态下进行烧结，故提高加热体的功率可更快的达到高温，更好的保证温区的均匀性、稳定性，而且缩短工艺耗时，提高生产效率。现有技术的立式加热体因底部功率小且接触环境温度，导致加热体上下升温速率不均匀，温区均匀性欠缺，在烧结生产中耗费大量的时间，人工成本高，效率较低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供了一种真空热处理炉上的加热体双层加热装置，设计合理，采用这样的加热体双层加热，能够提高升温速度，减短工艺周期，从而提高设备生产效率，大大降低生产成本，在加热体底部散热快的位置增加一层加热丝，通电加热时，这个位置的功率增大，能够弥补此位置的散热，有助于维持高温恒温状态，使材料烧结更好，提高制品合格率，实用性强，适于推广。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种真空热处理炉上的加热体双层加热装置，与真空热处理炉相对应，其特征在于：包括设置...
【技术保护点】
1.一种真空热处理炉上的加热体双层加热装置，与真空热处理炉相对应，其特征在于：所述真空热处理炉上的加热体双层加热装置包括设置在加热体内的内加热元件和外加热元件，以及加热元件外部的保温层和外壳；所述外加热元件设置在内加热元件的下部外侧；所述内加热元件和外加热元件通过连接板连接在一起；所述内加热元件和外加热元件分别通过若干接线板连接外部电源。
【技术特征摘要】
1.一种真空热处理炉上的加热体双层加热装置，与真空热处理炉相对应，其特征在于：所述真空热处理炉上的加热体双层加热装置包括设置在加热体内的内加热元件和外加热元件，以及加热元件外部的保温层和外壳；所述外加热元件设置在内加热元件的下部外侧；所述内加热元件和外加热元件通过连接板连接在一起；所述内加热元件和外加热元件分别通过若干接线板连接外部电源。2.根据权利要求1所述的一种真空热处理炉上的加热体双层加热装置，其特征在于：所述内加热元件是由铁铬铝电阻加热丝螺旋绕制而成，加热丝之间通过绝缘支撑件固定，所述加热丝的丝径为6-10mm/±2mm，内径为200-500mm/...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37
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