一种浮子流量计辅助调压机构制造技术

本技术公开了一种浮子流量计辅助调压机构，包括工艺腔以及SCRUBBER尾气柜，所述工艺腔的一侧安装有质量流量计，所述质量流量计的一端固定安装有进气管，所述进气管的内部通入工艺气体，所述SCRUBBER尾气柜和工艺腔之间设置有PUMP泵，所述PUMP泵的进气口和出气口分别通过导管与所述SCRUBBER尾气柜和工艺腔相连通，所述PUMP泵的一侧设置有绝对压力控制器，所述绝对压力控制器的一侧设置有浮子流量计，所述浮子流量计的下方设置有过滤器，所述过滤器的下方固定安装有减压阀。本技术通过补气气路增加浮子流量计支路，可增大补气量，浮子流量计量程可调，可增大补气量，能够满足工艺腔内更高压强的需要，加大了工艺腔的可调压范围。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及浮子流量计，特别是涉及一种浮子流量计辅助调压机构。

技术介绍

1、低压气相沉淀和退火炉等用于集成电路、分立器件、mems器件等不同尺寸晶圆的化学气相沉积、合金、退火等工艺。

2、目前行业内生产的同类产品中，多通过绝对压力控制器调节补气气路压力大小，控制补气量从而调节工艺腔内压力大小，工艺过程工艺腔内需要控制在较高压强范围时，低量程绝对压力控制器往往无法实现，高量程绝对压力控制器价格昂贵，大大增加设备成本，降低市场竞争率。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是脂肪切割深度不好控制。

2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种浮子流量计辅助调压机构，包括工艺腔以及scrubber尾气柜，所述工艺腔的一侧安装有质量流量计，所述质量流量计的一端固定安装有进气管，所述进气管的内部通入工艺气体，利用质量流量计可以检测通入的工艺气体的流量，所述scrubber尾气柜和工艺腔之间设置有pump泵，所述pump泵的进气口和出气口分别通过导管与所述scrubber尾气柜和工艺腔相连通，利用pump泵将通入的工艺气体输送至scrubber尾气柜的内部，从而达到净化尾气的效果，所述pump泵的一侧设置有绝对压力控制器；

3、所述绝对压力控制器的一侧设置有浮子流量计，所述浮子流量计的下方设置有过滤器，利用过滤器可进行过滤杂质，所述过滤器的下方固定安装有减压阀，所述减压阀的下方固定安装有手动阀，利用减压阀和手动阀的配合下，可达到及时泄压的效果。

4、优选的，所述工艺腔的表面上安装有第一压力传感器，所述工艺腔的表面上安装有第一压力表，所述第一压力表位于第一压力传感器的一侧，所述第一压力表和第一压力传感器之间为电性连接，有利于实时检测工艺腔内部的压力情况。

5、优选的，所述手动阀的表面一侧安装有第二压力表，所述手动阀的表面一侧安装有第二压力传感器，所述第二压力传感器位于第二压力表的下方，所述第二压力表与第二压力传感器之间为电性连接，有利于实时检测出此时手动阀的压力情况，当压力过大时可及时进行排压。

6、优选的，所述浮子流量计与绝对压力控制器的连接方式为并联，保证各个支路的电器互不影响，可以单独进行工作。

7、优选的，所述质量流量计的型号为mfc608，质量流量计可以直接测量气体流量，有很高的测量精确度。

8、优选的，所述减压阀的型号为rg4，可将阀前管路较高的气体压力减少至阀后管路所需的水平。

9、本技术的有益效果如下：

10、本技术通过补气气路增加浮子流量计支路，可增大补气量，浮子流量计量程可调，可增大补气量，能够满足工艺腔内更高压强的需要，加大了工艺腔的可调压范围。

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【技术保护点】

1.一种浮子流量计辅助调压机构，包括工艺腔（5）以及SCRUBBER尾气柜（7），其特征在于：所述工艺腔（5）的一侧安装有质量流量计（2），所述质量流量计（2）的一端固定安装有进气管，所述进气管的内部通入工艺气体（1），所述SCRUBBER尾气柜（7）和工艺腔（5）之间设置有PUMP泵（6），所述PUMP泵（6）的进气口和出气口分别通过导管与所述SCRUBBER尾气柜（7）和工艺腔（5）相连通，所述PUMP泵（6）的一侧设置有绝对压力控制器（9）；

2.根据权利要求1所述的一种浮子流量计辅助调压机构，其特征在于：所述工艺腔（5）的表面上安装有第一压力传感器（4），所述工艺腔（5）的表面上安装有第一压力表（3），所述第一压力表（3）位于第一压力传感器（4）的一侧，所述第一压力表（3）和第一压力传感器（4）之间为电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种浮子流量计辅助调压机构，其特征在于：所述手动阀（12）的表面一侧安装有第二压力表（14），所述手动阀（12）的表面一侧安装有第二压力传感器（13），所述第二压力传感器（13）位于第二压力表（14）的下方，所述第二压力表（14）与第二压力传感器（13）之间为电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种浮子流量计辅助调压机构，其特征在于：所述浮子流量计（8）与绝对压力控制器（9）的连接方式为并联。

5.根据权利要求1所述的一种浮子流量计辅助调压机构，其特征在于：所述质量流量计（2）的型号为MFC608。

6.根据权利要求1所述的一种浮子流量计辅助调压机构，其特征在于：所述减压阀（11）的型号为RG4。

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【技术特征摘要】

1.一种浮子流量计辅助调压机构，包括工艺腔（5）以及scrubber尾气柜（7），其特征在于：所述工艺腔（5）的一侧安装有质量流量计（2），所述质量流量计（2）的一端固定安装有进气管，所述进气管的内部通入工艺气体（1），所述scrubber尾气柜（7）和工艺腔（5）之间设置有pump泵（6），所述pump泵（6）的进气口和出气口分别通过导管与所述scrubber尾气柜（7）和工艺腔（5）相连通，所述pump泵（6）的一侧设置有绝对压力控制器（9）；

2.根据权利要求1所述的一种浮子流量计辅助调压机构，其特征在于：所述工艺腔（5）的表面上安装有第一压力传感器（4），所述工艺腔（5）的表面上安装有第一压力表（3），所述第一压力表（3）位于第一压力传感器（4）的一侧，所述第一压力表（3）和第一压...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，李娜，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：