推车制造技术

本实用新型专利技术提供一种推车，包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮，所述物架上设有至少一个倾角传感器，所述物架和所述底板之间设有吸震机构，所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构，能够在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。

Garden cart

The utility model provides a trolley, which comprises a bottom plate, a rack arranged on the bottom plate and a plurality of wheels arranged at the bottom of the bottom plate. The rack is provided with at least one inclination sensor, and a shock absorbing mechanism is arranged between the rack and the bottom plate, and the rack or the bottom plate is provided with an electric connection for the inclination angle. The electronic control mechanism of the sensor and the shock absorption mechanism can effectively prevent and control vibration during the process of transporting the wafer or the light cover, thus ensuring the cleanliness of the surface of the transported wafer or the light cover.

【技术实现步骤摘要】
推车
本技术涉及半导体集成电路制造
，尤其涉及一种推车。
技术介绍
在半导体集成电路制造工厂(FAB)中，时常需要利用推车运送各制程之间的晶圆(Wafer)以及光刻制程中的光罩(Reticle)，而现有的推车结构简单，基本上与普通推车无异，在运输晶圆或光罩的过程中，无法有效地对震动起到防控作用，一旦推车在运输的过程中发生轻微的颠簸或较为剧烈的抖动，就会对其运输晶圆或光罩表面的洁净度产生一定的影响，主要表现在：一是，晶圆盒或者光罩盒内原有的颗粒(Particle)在推车发生震动的情况下会漂浮到晶圆或光罩表面上；二是，推车发生的震动会让晶圆或光罩与承载所述晶圆或光罩的承载盒相互摩擦，并产生颗粒(Particle)，这些颗粒会漂浮到晶圆或光罩表面上。因此，需要一种新的推车，能够在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种推车，在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。为解决上述问题，本技术提出一种推车，包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮，所述物架上设有至少一个倾角传感器，所述物架和所述底板之间设有吸震机构，所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。可选的，每个所述车轮和所述底板之间均设有减震机构。可选的，所述减震机构为减震垫，或者，所述减震机构包括组装在一起的减震弹簧和液压阻尼器，所述减震弹簧的一端固定在所述车轮或所述底板上。可选的，所述吸震机构包括设置在所述物架和所述底板之间的四个空气阻尼器或电磁阻尼器。可选的，所述物架的上表面四角或下表面四角上均设有一个倾角传感器。可选的，所述电子控制机构包括电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的单片机或微处理芯片。可选的，所述物架上还设有用于放置晶圆或光罩的卡匣或盒体。可选的，所述底板为不锈钢板。可选的，至少有一个所述车轮为万向轮。可选的，所述物架和所述底板之间设有用于抬升和固定所述物架的升降机构，或者所述底板和所述车轮之间设有用于抬升和固定所述底板的升降机构。与现有技术相比，本技术的推车，在所述物架上安装了用于检测物架当前倾斜程度的倾角传感器，在物架和底板之间安装了用于对运输过程中的震动进行吸收的吸震机构，电连接所述倾角传感器和吸震机构的电子控制机构根据所述倾角传感器检测出来的物架当前倾斜程度来触发或者控制吸震机构工作，以吸收推车的震动，从而在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。附图说明图1是本技术具体实施例的推车的结构示意图；图2是本技术具体实施例的物架底面的仰视结构示意图；图3是本技术具体实施例的底板的俯视结构示意图；图4是本技术具体实施例的物架平衡控制信号原理图。具体实施方式为使本技术的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明，然而，本技术可以用不同的形式实现，不应只是局限在所述的实施例。请参考图1至图3，本技术提供一种推车，包括底板11、设置在所述底板11上的物架12以及设置在所述底板11底部的多个车轮13。本实施例中，所述底板12可以为不锈钢板，具有较强的机械强度，能够耐久使用，且能够对上部的物架11等结构进行良好的支撑。所述底板12的上表面和所述物架12的底面之间设有吸震机构15，所述吸震机构15的顶部可以固定在所述物架12的底面上，同时所述吸震机构15的底部固定在所述底板12的上表面上，或者，所述吸震机构15的顶部为与所述物架12的底面接触的自由端，所述吸震机构15的底部固定在所述底板12的上表面上，如图2所示，或者，所述吸震机构15的顶部固定在所述物架12的底面上，而所述吸震机构15的底部为与底板11上表面接触的自由端。所述吸震机构15可以为空气弹簧等空气阻尼器或电磁阻尼器，可以根据其体积、吸震效果等在物架12和底板11之间进行合理的布设，例如在所述物架12和所述底板之间的空间的四个角的位置分别设置一个吸震机构15，四个吸震机构15分别工作以对相应的角区域的震动进行吸收，从而调节物架12因推车震动而产生的倾斜角度，使物架12在推车震动过程中保持平衡；再例如，在所述物架12和所述底板之间的空间的中央设置一个吸震机构15，对推车的震动进行吸收，从而使得物架12在推车震动过程中保持平衡，即在运输晶圆或光罩的过程中有效地对震动起到防控作用，使得运输的晶圆或光罩表面的洁净度得到保证。本实施例中，所述物架12上设有至少一个倾角传感器(Tiltedsensor)14，用于检测物架12当前的倾斜程度。例如如图3所示，在所述物架12底面的四个角的位置分别设置一个倾角传感器14，并在物架12底面的中央设置一个与四个倾角传感器14电连接的电子控制机构18，所述电子控制机构18可以包括单片机或微处理芯片，还可以包括与单片机或微处理芯片连接的继电器等，所述电子控制机构18还电连接所述吸震机构15。请参考图4，控制物架12平衡的原理如下：所有倾角传感器14监测物架12相应位置的倾角，电子控制机构18根据所有倾角传感器14的监测结果判断出物架12当前的倾斜程度，然后可以判断结果控制吸震机构15对推车震动进行吸收，调整物架12的倾斜，电子控制机构18、倾角传感器14以及吸震机构15组成一个对物架12的平衡进行控制的闭环回路，使得物架12在推车震动时能够保持平衡，进而保证物架12上的晶圆或光罩等货物免受震动带来的不利影响，保证物架12上的晶圆或光罩等货物表面的清洁度。在本技术其他实施例中，所述电子控制机构18可以仅仅用于根据倾角传感器14的监测结果产生触发吸震机构15工作的信号，所述电子控制机构18可以是电连接所述倾角传感器14和所述吸震机构15的单片机与继电器或MOS开关等的组合结构。在本技术其他实施例中，倾角传感器14还可以设置在物架12的上表面上的四个角的位置，也可以设置在物架12的两个相对侧面上，例如在物架12的前侧壁设置一个或两个倾角传感器14，在物架12的后侧壁设置一个或两个倾角传感器14，同样能够实现物架12当前倾斜角度的监测。本领域技术人员根据本技术所公开的内容以及其所掌握的本领域普通技术知识可以知晓如何选择市面上常见的电子控制机构来实现上述功能。为了放置多个晶圆或者光罩等货物且避免货物之间的相互接触或相互污染，所述物架12中可以设置至少一个用于放置晶圆或者光罩等货物的卡匣或盒体(未图示)，卡匣或盒体可以层层放置。请参考图1，车轮13的数量可以为3或4或者更多，优选的，所述车轮13的数量为4，所述推车为四轮车，至少有一个所述车轮13为万向轮，能够实现前进方向的变化。车轮13和底板11之间可以设置传统的减震机构16，所述减震机构16可以为海绵、橡胶、泡沫等材料制成的减震垫，还可以是减震弹簧和液压阻尼器结合在一起的液压减震器，减震弹簧的两端可以分别固定在车轮13和底板11上，也可以是一端固定在车轮13或底板11上，另一端固定在液压阻尼器上，液压阻尼器不与减震弹簧连接的一端固定在底板11或车轮13上。减震机构16的设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种推车，其特征在于，包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮，所述物架上设有至少一个倾角传感器，所述物架和所述底板之间设有吸震机构，所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。

【技术特征摘要】
1.一种推车，其特征在于，包括底板、设置在所述底板上的物架以及设置在所述底板底部的多个车轮，所述物架上设有至少一个倾角传感器，所述物架和所述底板之间设有吸震机构，所述物架或所述底板上设有电连接所述倾角传感器和所述吸震机构的电子控制机构。2.如权利要求1所述的推车，其特征在于，每个所述车轮和所述底板之间均设有减震机构。3.如权利要求2所述的推车，其特征在于，所述减震机构为减震垫，或者，所述减震机构包括组装在一起的减震弹簧和液压阻尼器，所述减震弹簧的一端固定在所述车轮或所述底板上。4.如权利要求1所述的推车，其特征在于，所述吸震机构包括设置在所述物架和所述底板之间的四个空气阻尼器或电磁阻尼器。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明，吴雷雷，骆建钢，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32