【技术实现步骤摘要】
显微扫描装置
本技术是有关一种显微扫描装置，特别是一种自动化显微扫描装置。
技术介绍
一般而言，物件边缘的细微变化需透过人工操作显微镜并以人眼观察，进行检测及分析。然而，藉由人工操作显微镜检测的传统检测方式，容易具有检测速度较慢以及由于人眼疲劳所产生的误判等等缺点。综上所述，提供自动化显微扫描装置便是目前极需努力的目标。
技术实现思路
本技术提供一种显微扫描装置，其是利用撷像机构以及物件驱动机构，在同轴照明下驱动物件移动或转动，以扫描物件的影像。藉此，显微扫描装置可自动扫描检测物件边缘的轮廓影像及其细微变化，此外，更可透过影像处理单元以及软件分析，自动判定物件边缘的品质，从而大幅缩短检测时间与人力成本。本技术一实施例的显微扫描装置，包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。感光元件设置于第一光路上，且感光元件撷取一物件的一影像，其中物件设置于第二光路上。成像镜设置于第一光路上，且成像镜汇聚来自物件的一影像光，其中成像镜设置于感光元件与分光元件之间。显微物镜设置于第...
【技术保护点】
1.一种显微扫描装置，包含：一撷像机构，包含：一分光元件，具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路；一感光元件，设置于该第一光路上，用以撷取一物件的一影像，其中该物件设置于该第二光路上；一成像镜，设置于该第一光路上，用以汇聚来自该物件的一影像光，其中该成像镜设置于该感光元件与该分光元件之间；一显微物镜，设置于该第二光路上，用以汇聚来自该物件的该影像光，其中该显微物镜设置于该分光元件与该物件之间；以及一光源，设置于该第三光路上，用以提供一照明光至该分光元件；其中，该照明光沿该第三光路以及该第二光路到达该物件，且该影像光沿该第二光路以及该第一光路到达该感光元件；以及一物件驱动机...
【技术特征摘要】
1.一种显微扫描装置，包含：一撷像机构，包含：一分光元件，具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路；一感光元件，设置于该第一光路上，用以撷取一物件的一影像，其中该物件设置于该第二光路上；一成像镜，设置于该第一光路上，用以汇聚来自该物件的一影像光，其中该成像镜设置于该感光元件与该分光元件之间；一显微物镜，设置于该第二光路上，用以汇聚来自该物件的该影像光，其中该显微物镜设置于该分光元件与该物件之间；以及一光源，设置于该第三光路上，用以提供一照明光至该分光元件；其中，该照明光沿该第三光路以及该第二光路到达该物件，且该影像光沿该第二光路以及该第一光路到达该感光元件；以及一物件驱动机构，用以驱动该物件移动或转动，以供该感光元件扫描该物件。2.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构驱动该物件的一边缘位于该第二光路上，以扫描该边缘。3.如权利要求1所述的显微扫描装置，其特征在于，该物件驱动机构包含一移动单元，其中该物件设置于该移...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨景中，
申请(专利权)人：上海中晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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