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一种显微扫描装置，包含一撷像机构以及一物件驱动机构。撷像机构包含一分光元件、一感光元件、一成像镜、一显微物镜以及一光源。分光元件具有一第一光路、一第二光路以及一第三光路。光源设置于第三光路上，且光源提供一照明光经由分光元件至物件。其中，照明...
该专利属于上海中晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海中晶科技有限公司授权不得商用。

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