一种半导体生产设备用真空电极制造技术

一种半导体生产设备用真空电极，包括陶瓷绝缘套、封接玻璃、可伐导电柱与可伐外壳，所述的可伐外壳设置在陶瓷绝缘套内，所述的可伐导电柱设置在可伐外壳内，所述的可伐外壳与陶瓷绝缘套、可伐导电柱与可伐外壳之间设置有封接玻璃；所述的陶瓷绝缘套包括固定台与密封结构，所述的固定台上设置有定位孔与外壳固定孔，所述的密封结构上设置有密封孔；所述的可伐外壳穿过密封孔通过外壳定位孔固定；所述的可伐导电柱包括限位片、电极柱与接线柱，所述的限位片设置在电极柱与接线柱之间。本实用新型专利技术使用可切削陶瓷绝缘套保证可以在短时间加工出复杂的陶瓷件，并且使用高温玻璃封接缩短加工周期；可伐导电柱、可伐外壳和玻璃匹配封接保证气密性。

A vacuum electrode for semiconductor production equipment

A vacuum electrode for semiconductor production equipment comprises a ceramic insulating sleeve, a sealing glass, a thinnable conductive column and a thinnable shell. The thinnable shell is arranged in the ceramic insulating sleeve, the thinnable conductive column is arranged in the thinnable shell, and the thinnable shell is between the ceramic insulating sleeve, the thinnable conductive column and the thinnable shell. A sealing glass is arranged; the ceramic insulating sleeve comprises a fixing table and a sealing structure; the fixing table is provided with a positioning hole and a shell fixing hole; the sealing structure is provided with a sealing hole; the felling shell is fixed through the sealing hole through the shell positioning hole; and the felling conductive column comprises a limiting plate and an electricity. The limiting pole is arranged between the electrode post and the wiring post. The utility model uses a machinable ceramic insulating sleeve to ensure that complex ceramic parts can be processed in a short time, and uses high-temperature glass sealing to shorten the processing period; the cutting conductive column, cutting shell and glass matching sealing can ensure air tightness.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产设备用真空电极
本技术涉及到半导体领域，特别是涉及到一种半导体生产设备用真空电极。
技术介绍
真空电极Feedthrough,是生产半导体芯片的设备中的重要部件，几乎每个真空反应腔都会使用到真空电极。随着高压真空器件向小型化、高可靠的方向发展，提高小型化高压绝缘结构的耐压能力成为小型高压真空器件设计亟带解决的问题之一,同时真空电极一般加工数量少、加工周期很长，而且普通真空电极无法达到使用要求，严重影响生产效率，急需一种结构简单短、耐压性能好并且加工速率快的真空电极来改变现状。
技术实现思路
本技术的目的要解决上述技术问题，提供一种半导体生产设备用真空电极。本技术的目的是这样实现的：一种半导体生产设备用真空电极，其特征在于：包括陶瓷绝缘套、封接玻璃、可伐导电柱与可伐外壳，所述的可伐外壳设置在陶瓷绝缘套内，所述的可伐导电柱设置在可伐外壳内，所述的可伐外壳与陶瓷绝缘套、可伐导电柱与可伐外壳之间设置有封接玻璃；所述的陶瓷绝缘套包括固定台与密封结构，所述的固定台上设置有定位孔与外壳固定孔，所述的密封结构上设置有密封孔；所述的可伐外壳穿过密封孔通过外壳定位孔固定；所述的可伐导电柱包括限位片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产设备用真空电极，其特征在于：包括陶瓷绝缘套（1）、封接玻璃（2）、可伐导电柱（3）与可伐外壳（4），所述的可伐外壳（4）设置在陶瓷绝缘套（1）内，所述的可伐导电柱（3）设置在可伐外壳（4）内，所述的可伐外壳（4）与陶瓷绝缘套（1）、可伐导电柱（3）与可伐外壳（4）之间设置有封接玻璃（2）；所述的陶瓷绝缘套（1）包括固定台（5）与密封结构（6），所述的固定台（5）上设置有定位孔（7）与外壳固定孔（8），所述的密封结构（6）上设置有密封孔（9）；所述的可伐外壳（4）穿过密封孔（9）通过外壳固定孔（8）固定；所述的可伐导电柱（3）包括限位片（10）、电极柱（11）与接线柱（12），...

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产设备用真空电极，其特征在于：包括陶瓷绝缘套（1）、封接玻璃（2）、可伐导电柱（3）与可伐外壳（4），所述的可伐外壳（4）设置在陶瓷绝缘套（1）内，所述的可伐导电柱（3）设置在可伐外壳（4）内，所述的可伐外壳（4）与陶瓷绝缘套（1）、可伐导电柱（3）与可伐外壳（4）之间设置有封接玻璃（2）；所述的陶瓷绝缘套（1）包括固定台（5）与密封结构（6），所述的固定台（5）上设置有定位孔（7）与外壳固定孔（8），所述的密封结构（6）上设置有密封孔（9）；所述的可伐外壳（4）穿过密封孔（9）通过外壳固定孔（8）固定；所述的可伐导电柱（3）包括限位片（10）、电极柱（11）与接线柱（12），所述的限位片（10）设置在电极柱（11...

【专利技术属性】
技术研发人员：游利，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32