晶圆卡匣及其制造方法技术

本发明专利技术提出一种晶圆卡匣及其制造方法，该晶片卡匣包含前面板及后面板，两者互相对立；至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆，每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有多个沟槽。每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有两端，分别枢接于前面板与后面板。长顶杆、长中杆与长底杆包含实心铁杆，其表面被包覆层所包覆。

Wafer cassette and its manufacturing method

The invention provides a wafer box and a manufacturing method thereof. The wafer box comprises a front plate and a rear plate, which are opposed to each other; at least two long Jack bars, at least two long middle bars and at least two long bottom bars, each of which has a plurality of grooves. Each long pole, long middle pole and long bottom rod have two ends, which are respectively connected to the front panel and the rear panel. Long stem, long middle pole and long bottom rod contain solid iron, whose surface is covered by coating.

【技术实现步骤摘要】
晶圆卡匣及其制造方法
本专利技术涉及一种晶圆卡匣(wafercassette)，尤其涉及一种具有改良结构与强化精确度及强度的晶圆卡匣。
技术介绍
晶圆卡匣是一种用以夹持晶圆的装置，以利运送于设备之间以进行晶圆的处理或量测。储存于晶圆卡匣的晶圆可使用机械手(robotichand)或牙叉(fork)将其取出或置入。传统晶圆卡匣于操作使用一段时间后，其精确度或强度会降低。举例而言，冷缩热胀会降低晶圆卡匣的精确度或强度。传统晶圆卡匣的结构具有缺陷，经常使得机械手(特别是机械手的前端)因为错位而意外地撞到晶圆卡匣的底端，因而造成晶圆的弹落。鉴于传统晶圆卡匣具较低精确度、强度且结构具缺陷，因此亟需提出一种新颖的晶圆卡匣，以改善其结构并强化精确度与强度。
技术实现思路
鉴于上述，本专利技术实施例的目的之一在于提出一种晶圆卡匣，用以储存及运送晶圆。相较于传统晶圆卡匣，本实施例的晶圆卡匣具有强化精确度与强度，且可避免机械手意外地撞到晶圆卡匣。根据本专利技术实施例，晶圆卡匣包含前面板及后面板，两者互相对立；至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆，每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有多个沟槽。每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有两端，分别枢接于前面板与后面板。长顶杆、长中杆与长底杆包含实心铁杆，其表面被包覆层所包覆。根据本专利技术另一实施例，提供一种制造晶圆卡匣的方法。以射出成形制程，将包覆层包覆于多个实心铁杆的表面，以形成至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆。将每一个长顶杆、长中杆与长底杆的两端分别枢接于前面板与后面板，其中前面板与后面板互相对立。本专利技术的有益效果在于，相较于传统晶片卡匣，本专利技术提出的晶片卡匣具有强化精确度与强度，且可避免机械手意外地撞到晶片卡匣。附图说明图1的透视图显示本专利技术实施例的晶圆卡匣，用以储存及运送晶圆。图2显示图1的晶圆卡匣的另一透视图。图3显示图2的长顶杆、长中杆及长底杆的部分放大视图。图4A显示图1/图2的长顶杆的剖面视图。图4B显示图1/图2的长中杆及长底杆的剖面视图。其中，附图标记说明如下：100晶圆卡匣10晶圆11前面板12后面板13长顶杆14长中杆15长底杆16固定杆17连接件111实心铁杆112包覆层具体实施方式图1的透视图显示本专利技术实施例的晶圆卡匣100，用以储存及运送晶圆。图2显示图1的晶圆卡匣100的另一透视图，其夹持一晶圆10，例如光学元件(如光学透镜或玻璃)。为了让内部结构更易于观看，图2所示的晶圆卡匣100省略了一些元件未画出来。在本实施例中，晶圆卡匣100可包含前面板11及后面板12，两者互相对立。本实施例的晶圆卡匣100还可包含至少两根长顶杆13、至少两根长中杆14及至少两根长底杆15。每一个长顶杆13、长中杆14、长底杆15具有多个沟槽(groove)。沟槽可整个围绕长顶杆13、长中杆14、长底杆15，或者部分围绕长顶杆13、长中杆14、长底杆15。如图1、图2所示实施例，两列晶圆卡匣并列在一起，其中一长顶杆13共用于该两列晶圆卡匣之间。然而，每一晶圆卡匣拥有自己的长中杆14及长底杆15。每一个长顶杆13、长中杆14、长底杆15具有两端，分别枢接(pivotallyconnected)于前面板11与后面板12。因此，长顶杆13、长中杆14、长底杆15由上而下依序设置。在本实施例中，位于同侧的长中杆14与长底杆15更通过至少一连接件17(图示使用三连接件)使两者固定在一起，因而强化晶圆卡匣100的精确度。本实施例的晶圆卡匣100还可包含四固定杆16，设于前面板11与后面板12的四个角落，用以让晶圆卡匣100更稳固，因而强化晶圆卡匣100的强度。每一固定杆16具有两端，分别枢接于前面板11与后面板12。图3显示图2的长顶杆13、长中杆14及长底杆15的部分放大视图，其夹持有晶圆10。根据本实施例的特征之一，晶圆10的底部承靠于两点(亦即两根长底杆15)，而非承靠于单一点。本实施例的晶圆卡匣100具两个(而非单一)且分开的长底杆15，使得机械手(robotichand)的前端不会因为错位而意外地撞到设于中间位置的单一长底杆，造成晶圆10的弹落。图4A显示图1/图2的长顶杆13的剖面视图，且图4B显示图1/图2的长中杆14及长底杆15的剖面视图。根据本实施例的另一特征，长顶杆13、长中杆14、长底杆15可包含实心铁杆(solid-ironrod)111，其表面被包覆层112所包覆，该包覆层112可为聚合物(polymer)。本实施例的包覆层112包含聚醚醚酮(polyetherratherketone，PEEK)，其具有优良的机械及化学抗性，可抵抗高温及冷缩热胀。本实施例的长顶杆13、长中杆14、长底杆15使用实心铁杆111及聚醚醚酮(PEEK)的包覆层112，可强化晶圆卡匣100的强度与精确度，且能防止剥落与翘曲。在另一实施例中，于包覆该包覆层112之前，实心铁杆111的表面更经咬花处理(texturetreatment)使其表面粗糙化，改变实心铁杆111与包覆层112之间的交互作用，因而更能避免包覆层112的剥落。在本实施例中，实心铁杆111为多角(polygon)实心铁杆，特别是八角(octagon)实心铁杆。由于实心铁杆111具有多边形(例如八边形)截面，而非圆形截面，使得晶圆10与长顶杆13、长中杆14、长底杆15之间为线接触，而非点接触，因而得以减轻应力集中以避免晶圆破碎。此外，前面板11、后面板12与长顶杆13、长中杆14、长底杆15的枢接处具有凹槽。特别的是，该凹槽的形状相应于实心铁杆111的多边形截面。因此，晶圆10可精确地接触于长顶杆13、长中杆14、长底杆15。根据本实施例的又一特征，包覆实心铁杆111的包覆层112是使用射出成形(injectionmoulding)制程技术而一体成型制造的。详而言之，首先将实心铁杆111锁入具沟槽形状的模具内，再灌入包覆材料(例如聚醚醚酮)于实心铁杆111的周围，因而形成包覆层112围绕实心铁杆111，且于包覆层112的表面形成有沟槽。相较于使用电脑数值控制(CNC)工具所车出来的聚醚醚酮(PEEK)杆，本实施例的包覆层112不但可强化晶圆卡匣100的强度与精确度，且能防止剥落与翘曲。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并非用以限定本专利技术的权利要求书的保护范围；凡其它未脱离专利技术所公开的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的权利要求书的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆卡匣，包含：一前面板及一后面板，两者互相对立；及至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆，每一该长顶杆、该长中杆、该长底杆具有多个沟槽；其中每一该长顶杆、该长中杆、该长底杆具有两端，分别枢接于该前面板与该后面板；其中该长顶杆、该长中杆、该长底杆包含实心铁杆，其表面被包覆层所包覆。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆卡匣，包含：一前面板及一后面板，两者互相对立；及至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆，每一该长顶杆、该长中杆、该长底杆具有多个沟槽；其中每一该长顶杆、该长中杆、该长底杆具有两端，分别枢接于该前面板与该后面板；其中该长顶杆、该长中杆、该长底杆包含实心铁杆，其表面被包覆层所包覆。2.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，还包含至少一连接件，将位于同侧的该长中杆与该长底杆连接在一起。3.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，还包含四固定杆，设于该前面板与该后面板的四个角落，每一该固定杆具有两端，分别枢接于该前面板与该后面板。4.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，其中该包覆层包含聚合物。5.根据权利要求4所述的晶圆卡匣，其中该包覆层包含聚醚醚酮。6.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，于包覆该包覆层之前，该实心铁杆的表面经咬花处理。7.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，其中该实心铁杆为多角实心铁杆。8.根据权利要求7所述的晶圆卡匣，其中该实心铁杆为八角实心铁杆。9.根据权利要求7所述的晶圆卡匣，其中该前面板、该后面板与该长顶杆、该长中杆、该长底杆的枢接处具有凹槽，其中该凹槽的形状相应于该多角实心铁杆的多边形截面。10.根据权利要求1所述的晶圆卡匣，其中该包覆层是使用射出成形制程而一体成型制造的。11.一种制造晶圆卡匣的方法，包含：提供多个实心铁杆；以射出成形制程，将包覆层包覆于所述多个实心铁...

【专利技术属性】
技术研发人员：张瑞堂，卢芳万，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71