一种用于半导体基板化学液处理的样品架制造技术

本申请属于半导体基板的表面处理领域，涉及一种用于半导体基板化学液处理的样品架，该样品架，包括：主体，其包括对称设置的、与底部所在水平面角度相等的第一侧面和第二侧面，第一侧面和第二侧面均包括四边形框架和多条竖向杆；底部，其包括稳固装置。该样品架构造合理，易于操作，可同时容纳多个圆形或方形样片，其中，样片可以是垂直放置在竖向杆之间、水平或倾斜卡在竖向杆的横向凹槽上。该样品架用料节省且牢固；能够极大地提高样品清洗或处理的过程，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体基板化学液处理的样品架
本专利技术申请属于半导体基板的表面处理领域，涉及一种构造简单、易于操作的样品架，其用于半导体基板化学液处理中。
技术介绍
在半导体行业中，广泛采用硅片、玻璃等样片，以用于研发和制备半导体器件。一方面，这些样片通常需要经过高温、酸、碱及有机溶剂等进行表面处理，因此需要一种既耐高温、耐强酸强碱，又能够比较方便高效的一次处理多个样片的样品架，从而加快生产效率、降低碎片率和生产成本。另一方面，能够兼容不同形状的样片的需求也日趋增强，比如圆形的单晶硅硅锭，圆片的原始切片，或者在制作异形太阳能电池片时采用的圆形或方形或其它形状基片。但是，现有的样品架或承载器还不能满足上述需求，而且，多数样品架通常仅适用于某一种形状的基板，例如，要么适用于方形，要么适用于圆形，不能兼容常见的方形和圆形基板。此外，现有技术中公开的样品架结构复杂，镂空和网格部分密集，由此造成在多步清洗时存有死角，容易残留液体，以及由于样品架结构复杂不方便拆卸和清洗。还有现有技术中公开的样品架结构设置不够合理，有的没有设置把手，不方便取出样片以更换清洗液或溶液。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足和上述半导体行业发展需求，本专利技术旨在设计一种样品架，其可以是半浸没式的样品架，不仅可以一次承载、清洗或处理10片以上的样片，而且可适应方形和圆形形状的样片，给实验室规模的半导体材料研发和制备带来了极大的便利。因此，本专利技术提供一种用于半导体基板化学液处理的样品架，所述样品架包括：主体，所述主体包括对称设置的且与底部所在水平面角度相等的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面和第二侧面均包括四边形框架和多条竖向杆；和底部，所述底部包括稳固装置。具体地，所述第一侧面或第二侧面与底部所在水平面的角度为钝角，所述钝角大于90°小于160°,优选100°-145°，从而所述主体的横切面呈梯形结构。所述四边形框架包括固定连接的横向杆和纵向杆。所述底部的稳固装置被构造为分别与所述第一侧面和第二侧面下边缘的横向杆固定连接的长条状结构。所述稳固装置被构造为至少两条以上的相同形状的长方体或梯形板。优选地，所述稳固装置为两个或三个。在所述稳固装置上设置有容纳第一侧面和第二侧面的下边缘横向杆的凹槽或孔。所述第一侧面和所述第二侧面的所述多条竖向杆被设置为等间距结构。可选择性地，所述第一侧面和所述第二侧面的所述多条竖向杆还可以被设置为间距不等的结构。所述第一侧面和所述第二侧面的所述竖向杆上设置有横向凹槽，呈U型或V型，以容纳样片边缘。所述样品架还可以包括等高度设置的至少两条横杆，分别被固定设置在所述主体的两端。具体地，所述横杆的两端分别固定连接在所述第一侧面和第二侧面的所述纵向杆上。此外，所述样品架还包括与所述主体固定连接的把手，其中，所述把手包括相互连接的横梁和竖杆。所述样品架可以设置有一个、两个或多个把手。具体地，所述把手呈倒T形，所述把手的竖杆与所述横梁垂直地固定连接。所述把手的横梁的两端分别连接至所述第一侧面和第二侧面的所述四边形框架的纵向杆上。其中，可以在所述四边形框架的纵向杆上设置可插入的斜孔，并结合紧固件，例如螺帽和螺栓等，使所述横梁与所述纵向杆固定连接。可选择地，所述把手呈T形，所述把手的竖杆与所述横杆固定连接。具体地，所述把手的横梁位于上部，在所述样品架的横杆的中心点处，所述把手的竖杆与所述横杆垂直地固定连接。其中，可以通过设置孔或凹槽，或结合紧固件固定连接，例如螺帽和螺栓等。所述样品架在使用时，样片可以水平或倾斜状放置在该样品架上，具体地，将样品片水平或倾斜地卡在第一侧面和第二侧面的所述多条竖向杆上的U型或V型横向凹槽里，按样品从小到大依次水平或倾斜放置在样品架主体内；可选择性地，将样品垂直地放置在所述主体的竖向杆之间的空隙里。这两种放置方式均可以用来容纳并移送圆形或方形的样品片或基片，以供后续的清洗或表面处理操作。有益效果本专利技术提供的所述用于半导体基板化学液处理的样品架可以兼容圆形或方形基板；其构造为镂空结构，在清洗或取出时，样品架底部不会留有积液；可同时容纳10片或多于10片样品片或基板，本产品结构设计合理，样片放置方式可以垂直或水平放置，该样品架用料节省且牢固；能够极大地提高样品清洗或处理的过程，提高生产效率。附图说明图1是本申请所述的用于半导体基板化学液处理的样品架的一种实施方式的结构示意图；图2是本申请所述的用于半导体基板化学液处理的样品架的一种实施方式中第一侧面或第二侧面的结构示意图；图3是本申请所述的用于半导体基板化学液处理的样品架的一种实施方式中第一侧面或第二侧面的多条竖向杆的纵切面结构示意图；图4是本申请所述的用于半导体基板化学液处理的样品架的一种实施方式的所述底部的稳固装置的结构示意图；其中，图1-4中：1，第一侧面；2，第二侧面；3，把手；4，稳固装置；5，斜孔；5’，孔；6，凸型结构；7，凹槽。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的任何限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合或替换。图1是本申请所述的用于半导体基板化学液处理的样品架的一种实施例的结构示意图。如图1所示，该实施例中的样品架包括：底部、主体；其中：主体包括第一侧面1和第二侧面2，其中，第一侧面1和第二侧面2被设置为对称的，且与底部所在水平面成钝角，所述钝角角度相等，且大于90°小于160°，优选100°-145°，使主体的横切面呈梯形结构；第一侧面1和第二侧面2分别包括四边形框架和多条竖向杆；四边形框架包括固定连接的横向杆和纵向杆；底部包括稳固装置4，图中所示为两条稳固装置；此外，图1所示的样品架还包括把手3，其中所示把手3为两个把手，均包括横梁和竖杆，所述把手分别与所述主体的所述第一侧面和所述第二侧面固定连接，其中，正如图1所示，把手3的横梁与主体的四边形框架的纵向杆固定连接方式是通过将把手的横梁两端插入设置在四边形框架的纵向杆上的斜孔中，并配合紧固件固定。具体地，图2所示的是用于半导体基板化学液处理的样品架的第一侧面或第二侧面的结构示意图。从图1-2中可以清晰地看出，四边形框架包括固定连接的横向杆和纵向杆，在所述四边形框架的纵向杆上设置有斜孔5，并在四边形框架下边缘的横向杆上设置有可以插入到稳固装置的凸型结构6。底部的稳固装置4被构造为分别与所述第一侧面1和第二侧面2下边缘的横向杆固定连接的长条状结构。稳固装置4可以被构造为两条以上的相同形状的长方体或梯形板。图1所示的稳固装置4为两个长方体状结构。在稳固装置上设置有容纳第一侧面1和第二侧面2的下边缘横向杆的凹槽或孔5’。把手3的横梁平行于水平面，且两端分别连接至第一侧面和第二侧面的四边形框架的纵向杆上。把手3的竖杆在横梁的中心点处与之固定连接。如图2所示，在所述四边形框架的纵向杆上设置插入斜孔5，以便于把手的横梁的两端插入所述斜孔，并结合紧固件，例如螺帽和螺栓等，由此使把手与主体固定连接。如图1-2所示，第一侧面1和第二侧面2的多条竖向杆被设置为等间距结构。可选择性地，第一侧面和所述第二侧面的所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体基板化学液处理的样品架，其特征在于，所述样品架包括：主体，所述主体包括对称设置的且与底部所在水平面角度相等的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面和第二侧面均包括四边形框架和多条竖向杆；和底部，所述底部包括稳固装置。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体基板化学液处理的样品架，其特征在于，所述样品架包括：主体，所述主体包括对称设置的且与底部所在水平面角度相等的第一侧面和第二侧面，所述第一侧面和第二侧面均包括四边形框架和多条竖向杆；和底部，所述底部包括稳固装置。2.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，所述第一侧面和第二侧面与底部所在水平面的角度为钝角，所述钝角大于90°小于160°。3.根据权利要求2所述的样品架，其特征在于，所述钝角为100°-145°。4.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，所述四边形框架包括固定连接的横向杆和纵向杆。5.根据权利要求4所述的样品架，其特征在于，所述底部的稳固装置被构造为分别与所述第一侧面和第二侧面下边缘的横向杆固定连接的长条状结构。6.根据权利要求1所述的样品架，其特征在于，所述稳固装置被构造为至少两条以上的相同形状的长方体或梯形板。7.根据权利要求4所述的样品架...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭逦达，叶亚宽，杨立红，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11