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本发明提出一种晶圆卡匣及其制造方法，该晶片卡匣包含前面板及后面板，两者互相对立；至少两根长顶杆、至少两根长中杆及至少两根长底杆，每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有多个沟槽。每一个长顶杆、长中杆、长底杆具有两端，分别枢接于前面板与后面板。长顶杆...
该专利属于奇景光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过奇景光电股份有限公司授权不得商用。

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