【技术实现步骤摘要】
本揭露是有关于一种固定与分离软膜的技术。更特别是有关于一种软膜夹具及其安装治具。
技术介绍
1、应用于压印制程的软膜由一框架夹持。一般而言，框架包含四个杆件，且这些杆件彼此连接而形成矩形框架。软膜的四边分别固定在框架的这些杆件上。
2、压印制程完成后，需将软膜从晶圆上分离。在软膜的离膜操作中，仅可透过抬高框架的一侧的方式来从晶圆上分离软膜。这样的离膜操作对软膜的主动区上的图案结构造成相当大的冲击。图案结构容易受到离膜操作期间的拉力的损坏。
技术实现思路
1、因此，本揭露的一目的就是在提供一种软膜夹具，其使用第一杆件与第二杆件来分别夹持软膜的二相对侧部。于软膜的离膜操作期间，第一杆件固定，第二杆件朝上或朝第一杆件移动以拉动软膜，如此软膜可逐步地从晶圆上分离。因此，可利用许多离膜动作来进行离膜操作。
2、本揭露的另一目的就是在提供一种软膜夹具，其包含透过至少一弹性元件与第二杆件连接的第三杆件，如此弹性元件在离膜操作期间可提供软膜拉力缓冲，借此可保护软膜免于受损。
3、本揭露的又一目的就是在提供一种软膜夹具的安装治具，其可将夹具的第一杆件与第三杆件定位于平台上，以提供软膜所需的张力。利用二连杆来对应连接第一杆件的二端与第三杆件的二端，如此软膜可以所需张力平坦地固定在夹具上。因此，可轻易移动软膜与将软膜设置在制程设备上。
4、根据上述目的，本揭露提供一种软膜夹具。此软膜夹具包含第一杆件、第二杆件、第三杆件、以及至少一弹性元件。第一杆件配置以固
5、依据本揭露的一实施例，上述的至少一弹性元件包含数个弹簧。
6、依据本揭露的一实施例，上述的弹簧以一固定间距设于第二杆件与第三杆件之间。
7、依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含至少一拉力传感器设于第三杆件上。
8、依据本揭露的一实施例，上述的每个第一杆件与第三杆件中的第一端部与相对于第一端部的第二端部分别具有第一通孔与第二通孔。
9、依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含第一连杆以及第二连杆。第一连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第一通孔中。第二连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第二通孔中。
10、依据本揭露的一实施例，上述的第一通孔与第二通孔的侧壁均具有第一卡掣部。第一连杆与第二连杆的每一端具有第二卡掣部，其中这些第二卡掣部配置以与第一卡掣部对应卡合。
11、依据本揭露的一实施例，上述的软膜为压印软膜。
12、根据上述目的，本揭露还提供一种软膜夹具的安装治具。此安装治具包含平台、挡墙、以及数个固定件。平台的一表面上设有第一固定部、以及与第一固定部相对的第二固定部及第三固定部。第一固定部、第二固定部、与第三固定部分别供软膜夹具的第一杆件、第二杆件、与第三杆件设置。挡墙设于平台的表面上，且介于第二固定部与第三固定部之间。挡墙具有至少一通道以容纳软膜夹具的至少一弹性元件。此至少一弹性元件的相对二端分别设于第二杆件与第三杆件上。固定件设于平台的表面上，且配置以将第一杆件与第三杆件固定在平台的表面上。
13、依据本揭露的一实施例，上述的安装治具还包含承托台凸设于平台的表面上且介于第一固定部与第二固定部之间。承托台配置以支撑欲装设在软膜夹具的软膜。
14、依据本揭露的一实施例，上述的承托台还设有数个真空道，这些真空道配置以对软膜提供吸力。
15、依据本揭露的一实施例，上述的安装治具还包含第一固定块以及第二固定块。第一固定块设于平台的表面上并邻近第一固定部。第一固定块配置以定位第一杆件。第二固定块设于平台的表面上并邻近第三固定部。第二固定块配置以与挡墙形成卡槽来做为第三固定部。
16、依据本揭露的一实施例，上述的平台还包含第一凹入部凹设于第一固定块与第一固定部中，以及第二凹入部凹设于第二固定块与第三固定部中。当软膜夹具放置在平台上时，第一杆件与第三杆件分别位于第一凹入部与第二凹入部上。
17、依据本揭露的一实施例，上述的至少一通道包含数个通道，上述的至少一弹性元件包含数个弹性元件，通道的数量与弹性元件的数量相同，这些通道以一固定间距设置。
18、依据本揭露的一实施例，上述的挡墙可朝第二固定部与第三固定部移动地设于平台的表面上。
19、依据本揭露的一实施例，上述的每个固定件包含卡钳。
20、依据本揭露的一实施例，上述的每个第一杆件与该第三杆件的相对的第一端部与第二端部分别具有第一通孔与第二通孔。
21、依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具还包含第一连杆以及第二连杆。当软膜的相对二侧部分别夹设在安装治具上的第一杆件与第二杆件时，第一连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第一通孔中，第二连杆的相对二端分别穿设在第一杆件与第三杆件的第二通孔中。
22、依据本揭露的一实施例，上述的每个第一通孔与些第二通孔的侧壁具有第一卡掣部。第一连杆与第二连杆的每一端具有第二卡掣部。这些第二卡掣部配置以与第一卡掣部对应卡合。
23、依据本揭露的一实施例，上述的软膜夹具配置以利用第一杆件与第二杆件来固定压印软膜。
24、应当理解的是，前面的一般描述与下面的详细描述均为例子，且意欲提供如所请求保护的专利技术进一步的解释。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具包含：
2.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含一承托台凸设于该平台的该表面上且介于该第一固定部与该第二固定部之间，其中该承托台配置以支撑欲装设在该软膜夹具的一软膜。
3.根据权利要求2所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该承托台还设有多个真空道，所述多个真空道配置以对该软膜提供吸力。
4.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含：
5.根据权利要求4所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该平台还包含：
6.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该至少一通道包含多个通道，该至少一弹性元件包含多个弹性元件，所述多个通道的数量与所述多个弹性元件的数量相同，所述多个通道以一固定间距设置。
7.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该挡墙可朝该第二固定部与该第三固定部移动地设于该平台的该表面上。
8.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具
9.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，每一该第一杆件与该第三杆件的相对的一第一端部与一第二端部分别具有一第一通孔与一第二通孔。
10.根据权利要求9所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具还包含：
11.根据权利要求10所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，
12.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具配置以利用该第一杆件与该第二杆件来固定一压印软膜。
...【技术特征摘要】
1.一种软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具包含：
2.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含一承托台凸设于该平台的该表面上且介于该第一固定部与该第二固定部之间，其中该承托台配置以支撑欲装设在该软膜夹具的一软膜。
3.根据权利要求2所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该承托台还设有多个真空道，所述多个真空道配置以对该软膜提供吸力。
4.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该软膜夹具的安装治具还包含：
5.根据权利要求4所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该平台还包含：
6.根据权利要求1所述的软膜夹具的安装治具，其特征在于，该至少一通道包含多个通道，该至少一弹性元件包含多个弹性元件，所述多个通道的数量...
【专利技术属性】
技术研发人员：卢芳万，
申请(专利权)人：奇景光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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