一种主动互补调温真空退火炉制造技术

本实用新型专利技术涉及电子电路晶体制造设备领域，具体为一种主动互补调温真空退火炉。能迅速的进行补充式的调温，能迅速的稳定温度，提高温度控制。包括炉主体、补偿通气管、互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵，互补调温器包括调温仓内设置电加热片堆，补偿通气管连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接；调温仓通过补偿通气管和炉主体连接。

An active complementary temperature regulation vacuum annealing furnace

The utility model relates to the field of electronic circuit crystal manufacturing equipment, in particular to an active complementary temperature regulating vacuum annealing furnace. It can rapidly adjust the temperature by supplementation, and can quickly stabilize the temperature and improve the temperature control. The complementary thermostat comprises a temperature regulating bin, a condensing vacuum tube, a mechanical pumping vacuum tube, a condensing vacuum pump and a mechanical pumping vacuum pump. The complementary thermostat comprises an electric heating arranged in the temperature regulating bin. In sheet pile, compensating ventilation tube is connected with Condensing Vacuum pump, mechanical vacuum tube is connected with mechanical vacuum pump, the inlet of mechanical vacuum tube is connected with Condensing Vacuum tube, and temperature regulating bin is connected with compensating ventilation tube and furnace main body.

【技术实现步骤摘要】
一种主动互补调温真空退火炉
本技术涉及电子电路晶体制造设备领域，具体为一种主动互补调温真空退火炉。
技术介绍
真空退火炉主要用于高温合金钢、磁性材料、有色金属、不锈钢、钛合金等，材料的光亮退火。真空退火炉的结构特点：加热室采用不锈钢骨架；隔热屏为多层反射屏，使用寿命长，易维护；故障率低；气冷系统由高速电机、大风量高压叶轮、及导流板、铜铜换热器和导流装置等组成，可实现气流由换热器-风机-导流装置-工件-换热器的高速循环，以使工件得到快速均匀的冷却；电控系统采用PLC与可编程温度控制器的方式，实现全自动、半自动、手动三种控制方式，操作灵活，如上所说一般都是采用的一种控温方式进行调节，这种调节是需要进行类似“自然降温”的过程，不能够非常迅速的进行。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种主动互补调温真空退火炉，能迅速的进行补充式的调温，能迅速的稳定温度，提高温度控制。本技术是通过下述技术方案实现的：一种主动互补调温真空退火炉，包括炉主体、补偿通气管、互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷凝抽真空管、机械抽气真空管、冷凝抽真空泵、机械抽气真空泵，互补调本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种主动互补调温真空退火炉，包括炉主体（1）、补偿通气管（2）、互补调温器（3），所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其特征是：所述互补调温器包括调温仓（4）、冷凝抽真空管（5）、机械抽气真空管（6）、冷凝抽真空泵（7）、机械抽气真空泵（8），互补调温器包括调温仓内设置电加热片堆（9），补偿通气管连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接；调温仓通过补偿通气管和炉主体连接。

【技术特征摘要】
1.一种主动互补调温真空退火炉，包括炉主体（1）、补偿通气管（2）、互补调温器（3），所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其特征是：所述互补调温器包括调温仓（4）、冷凝抽真空管（5）、机械抽气真空管（6）、冷凝抽真空泵（7）、机械抽气真空泵（8），互补调温器包括调温仓内设置电加热片堆（9），补偿通气管连接冷凝抽真空泵，机械抽气真空管连接机械抽气真空泵，机械抽气真空管的进口和冷凝抽真空管相连接；调温仓通过补偿通气管和炉主体连接。2.根据权利要求1所述的一种主动互补调温真空退火炉，其特征是...

【专利技术属性】
技术研发人员：汤海燕，叶国萍，
申请(专利权)人：汇隆电子金华有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33