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本实用新型涉及电子电路晶体制造设备领域，具体为一种主动互补调温真空退火炉。能迅速的进行补充式的调温，能迅速的稳定温度，提高温度控制。包括炉主体、补偿通气管、互补调温器，所述互补调温器通过补偿通气管和炉主体，其中：所述互补调温器包括调温仓、冷...
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