自动处理待检测批次产品的系统及方法技术方案

本发明专利技术提供了一种自动处理待检测批次产品的系统及方法，包括：计算待检测的批次产品的数量T与机台能够检测的批次产品的数量M，计算两者的差值L，若差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若差值大于0，则判断必须检测的批次产品的数量W，计算T与W的差值C，判断L与C的大小，若L大于等于C，则取消C数量的批次产品的检测；若L小于C，则取消L数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。本发明专利技术通过以上方法能够确定是要全部等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且能够确定取消的数量以及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。

System and method for automatically processing batches of products to be detected

The invention provides a system and a method for automatically processing batch products to be tested, including: calculating the quantity of batch products to be tested and the quantity of batch products to be detected by the machine, calculating the difference L between the two, returning the first step above if the difference is less than or equal to 0, and judging that the detection must be done if the difference is greater than 0. If L is greater than or equal to C, the inspection of batch products with C number will be cancelled; if L is less than C, the inspection of batch products with L number will be cancelled; among them, the rejected batch products will be the batch products to be tested to remove the batch products that must be tested. The rest of the products outside. Through the above method, the invention can determine whether to wait for the test entirely or cancel the test of some batches of products, and can determine the number and batch number of cancellations, thereby reducing the human error, and can reasonably utilize the machine resources and save the cost.

【技术实现步骤摘要】
自动处理待检测批次产品的系统及方法
本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种自动处理待检测批次产品的系统及方法。
技术介绍
在半导体制造过程中，每完成一个工序，均需要随机或固定抽取一定数量的批次产品(Lot，一个批次的晶圆产品)去进行检测，以确定是否有存在缺陷或者该工序形成的结构尺寸是否满足要求。但是，当量测站点堆货量达到一定程度时，会直接影响在线生产(inline)的周期时间(cycletime)，从而会直接影响效率。现在当出现堆货现象时，需要人工通过取消部分Lot的检测(skipLot)来保证机台的合理利用率以及inline的工作效率。Lot是否能够取消检测，主要是依靠工程师的经验来判断。因此，手动取消Lot的检测(manualskipLot)会给工程师造成很大的负担(loading)。另外，依靠经验来判断是否skipLot，会出现人为误差，在很大的程度上影响了inline的正常工作。并且，一旦出现误差，会直接导致无法检出缺陷，从而不能及时反馈到产线，严重时会影响大批量晶圆的良率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种自动处理待检测批次产品的系统及方法，减少人为误差，合理利用机台资源，节约成本。为实现上述目的，本专利技术提供一种自动处理待检测批次产品的方法，包括：计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行以下步骤；判断必须检测的批次产品的数量；计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。可选的，计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。可选的，当所述第一数量小于所述第二数量时，将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。可选的，按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。可选的，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。相应的，本专利技术还提供一种自动处理待检测批次产品的系统，包括：计算模块与判断模块，其中所述计算模块计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则所述计算模块继续计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量；所述判断模块判断必须检测的批次产品的数量；所述计算模块计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；所述判断模块判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须进行检测的批次产品以外的其余批次产品。可选的，所述计算模块计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。可选的，还包括评估模块，当所述第一数量小于所述第二数量时，所述评估模块将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。可选的，所述评估模块按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。可选的，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。与现有技术相比，本专利技术提供的自动处理待检测批次产品的系统及方法，通过对待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量进行计算，对必须检测的批次产品的数量进行判断，从而确定是要继续等待检测，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能够确定取消检测的批次产品的数量及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。附图说明图1为本专利技术一实施例所提供的自动处理待检测批次产品的方法的流程图。具体实施方式为使本专利技术的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本专利技术的内容做进一步说明。当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本专利技术的保护范围内。显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。其次，本专利技术利用示意图进行了详细的表述，在详述本专利技术实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本专利技术的限定。本专利技术的核心思想在于，通过对待检测批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量进行计算，对必须进行检测的批次产品的数量进行判断，从而确定是要继续等待，还是取消部分数量的批次产品的检测，并且通过将以上各数量进行对比，能确定取消检测的批次产品的数量以及批号，从而减少了人为误差，且能够合理的利用机台资源，节约了成本。请参考图1，其为本专利技术一实施例所提供的自动处理待检测批次产品的方法的流程图。如图1所示，所述自动处理待检测批次产品的方法，包括以下步骤：步骤S01：计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；步骤S02,：计算所述待检测的批次产品额数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值，若所述差值小于等于0，则返回步骤S01；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行步骤S03；步骤S03：判断必须检测的批次产品的数量；步骤S04：计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；步骤S05：判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须进行检测的批次产品以外的其余批次产品。具体的，首先，在步骤S01中，需要计算待检测的批次产品的数量T，即计算在量测站点处需要进行检测的批次产品的总数量T。并且需要计算机台能够检测的批次产品的数量M，即计算在量测站点处机台总共能够检测的批次产品的数量，所述计算方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。然后，在步骤S02中，计算所述待检测的批次产品的数量T与所述机台能够检测的批次产品的数量M的差值L，即L＝T-M。若所述差值L小于等于0，则说明待检测批次产品本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，包括：计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行以下步骤；判断必须检测的批次产品的数量；计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。

【技术特征摘要】
1.一种自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，包括：计算待检测的批次产品的数量与机台能够检测的批次产品的数量；计算所述待检测的批次产品的数量与所述机台能够检测的批次产品的数量的差值；若所述差值小于等于0，则返回上述第一个步骤；若所述差值大于0，则将其差值设定为第一数量，并进行以下步骤；判断必须检测的批次产品的数量；计算所述待检测的批次产品的数量与所述必须检测的批次产品的数量的差值，设定为第二数量；判断第一数量与第二数量的大小；若所述第一数量大于等于所述第二数量，则取消第二数量的批次产品的检测；若所述第一数量小于所述第二数量，则取消第一数量的批次产品的检测；其中，取消检测的批次产品为待检测的批次产品中去除必须检测的批次产品以外的其余批次产品。2.如权利要求1所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，计算机台能够检测的批次产品的数量的方法包括：确定机台的检测能力A、确定机台的状态系数S以及确定机台的个数n，则所述机台能够检测的批次产品的数量为M＝A*(S1+S2+……+Sn)。3.如权利要求1所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，当所述第一数量小于所述第二数量时，将去除必须检测的批次产品以后剩余的第二数量的批次产品进行风险排序，按照顺序从中选择第一数量的批次产品来取消检测。4.如权利要求3所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，按照批次产品的风险等级以及种类由高到低进行排序。5.如权利要求4所述的自动处理待检测批次产品的方法，其特征在于，在风险排序的批次产品中，从低到高选择第一数量的批次产品取消检测。6.一种自动处理待检测批次产品的系统，其特征在于，包括：计算模块与判断模块，其中所述计算模...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗聪，
申请(专利权)人：武汉新芯集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42