平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供平版印刷装置、物品的制造方法及测量装置。提供对于高精度测量基板边缘位置有利的平版印刷装置。将图案形成于基板的平版印刷装置包括载置台，能保持基板而移动；照射部，从由载置台保持的基板侧方对该基板端部照射第一光；检测部，配置于被照射部照射第一光的基板端部下方，检测在该端部反射的第一光的光强度分布；处理部，根据由校正值校正从第一光的光强度分布得到的基板边缘位置信息的结果，决定基板边缘位置，照射部及检测部设置于载置台，处理部根据在对由载置台保持的基板端部照射第一光的状态下由检测部检测的第一光光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光光路内状态下由检测部检测的第二光光强度分布生成校正值。

【技术实现步骤摘要】
平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置
本专利技术涉及平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置。
技术介绍
在FPD(FlatPanelDisplay，平板显示器)、半导体器件等的制造中，使用将图案形成于玻璃平板、晶片等基板的平版印刷装置。在这样的平版印刷装置中，进行在根据形成于基板的标志的位置的检测结果对基板高精度地进行定位之前测量利用载置台保持的基板的边缘位置来掌握基板的位置的所谓预对准。作为测量基板的边缘位置的测量装置，例如有对基板的端部照射光来测量基板的边缘位置的光学式测量装置。在专利文献1中公开有通过对利用载置台保持的基板的端部照射光并检测在该端部反射的光从而测量基板的边缘位置的所谓反射光式测量装置。现有技术文献专利文献1：日本特开2001-241921号公报
技术实现思路
在专利文献1记载的反射光式测量装置中，在对基板的端部实施倒角处理时，有可能在根据在基板的端部反射的光来测量基板的边缘位置而得到的结果中产生测量误差(测量失误)。因此，本专利技术的目的在于提供一种对于高精度地测量基板的边缘位置有利的平版印刷装置。为了达成上述目的，作为本专利技术的一个方面的平版印刷装置是将图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平版印刷装置，将图案形成于基板，其特征在于，包括：载置台，能够保持基板而移动；照射部，从由所述载置台保持的基板的侧方对该基板的端部照射第一光；检测部，配置于被所述照射部照射所述第一光的基板的端部的下方，检测在该端部反射的所述第一光的光强度分布；以及处理部，根据利用校正值校正从所述第一光的光强度分布得到的所述基板的边缘的位置信息而得到的结果，决定所述基板的边缘位置，所述照射部以及所述检测部设置于所述载置台，所述处理部根据在对由所述载置台保持的基板的端部照射所述第一光的状态下由所述检测部检测出的所述第一光的光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光的光路内的状态下由所述检测部检测出...

【技术特征摘要】
2016.12.13 JP 2016-2415941.一种平版印刷装置，将图案形成于基板，其特征在于，包括：载置台，能够保持基板而移动；照射部，从由所述载置台保持的基板的侧方对该基板的端部照射第一光；检测部，配置于被所述照射部照射所述第一光的基板的端部的下方，检测在该端部反射的所述第一光的光强度分布；以及处理部，根据利用校正值校正从所述第一光的光强度分布得到的所述基板的边缘的位置信息而得到的结果，决定所述基板的边缘位置，所述照射部以及所述检测部设置于所述载置台，所述处理部根据在对由所述载置台保持的基板的端部照射所述第一光的状态下由所述检测部检测出的所述第一光的光强度分布和在将该端部配置于向下方向上射出的第二光的光路内的状态下由所述检测部检测出的所述第二光的光强度分布，生成所述校正值。2.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，所述处理部将根据所述第一光的光强度分布和所述第二光的光强度分布生成的所述校正值与基板的端部的倒角量对应起来存储。3.根据权利要求2所述的平版印刷装置，其特征在于，所述处理部在由所述载置台保持具有未被存储有校正值的倒角量的端部的基板的情况下，新生成与该基板对应的校正值。4.根据权利要求3所述的平版印刷装置，其特征在于，所述处理部取得由所述载置台保持的基板的端部的倒角量信息，根据该倒角量信息判断是否新生成校正值。5.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于所述处理部针对端部的倒角量相同的多个基板应用共同的校正值。6.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，所述载置台设置有多个所述照射部以及多个所述检测部，所述处理部针对利用多个所述检测部分别得到的位置信息应用共同的校正值。7.根据权利要求1所述的平版印刷装置，其特征在于，还包括：形成部，对基板照射光或者射束而将图案形成在该基板上，所述载置台构成为能够在所述形成部的下方移动。8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田浩平，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP