下载平版印刷装置、物品的制造方法以及测量装置的技术资料

文档序号:19097752

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本发明提供平版印刷装置、物品的制造方法及测量装置。提供对于高精度测量基板边缘位置有利的平版印刷装置。将图案形成于基板的平版印刷装置包括载置台,能保持基板而移动;照射部,从由载置台保持的基板侧方对该基板端部照射第一光;检测部,配置于被照射部照...
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