CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统技术方案

本实用新型专利技术一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱(1)和反应室(2)后连接至变压器(106)；有一温度传感器(103)安装于反应室(2)的内壁上，且温度传感器(103)的导线穿出反应室(2)的壳体后经由穿线孔(1.1)连接至处理器(111)。本实用新型专利技术一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，能耗低且感应快。

Heating power supply system of CVD chemical vapor deposition furnace

The utility model relates to a heating power supply system for a CVD chemical vapor deposition furnace. The reaction chamber (2) is located above an electrical appliance box (1). A heat conducting plate (3) is arranged at the bottom of the reaction chamber (2) and the heat conducting plate (3) is embedded with a heating plate (4). The heating plate (4) comprises two PET substrates, and a heating ink layer is arranged between the two PET substrates. The two ends of the hot ink layer are provided with conductive electrodes, and the conductive electrodes are located between two PET substrates. One end of the armored cable is connected with the conductive electrodes, and the other end is connected to the transformer (106) after passing through the electric box (1) and the reaction chamber (2); a temperature sensor (103) is installed on the inner wall of the reaction chamber (2) and the temperature sensor (103). The conductor passes through the housing of the reaction chamber (2) and is connected to the processor (111) through a threading hole (1.1). The utility model relates to a CVD chemical vapor deposition furnace heating power supply system, which has low energy consumption and quick induction.

【技术实现步骤摘要】
CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统
本技术涉及一种CVD化学蒸汽沉积炉加热系统，尤其是涉及一种应用新型CVD化学蒸汽沉积炉专用加热电源构成的加热系统。
技术介绍
化学气相沉积是一种材料表面改性技术，它是在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度的条件下，通过挥发物气体分解或者化合反应后在基体材料的表面沉积成膜，这种膜强化技术选用的基材广泛、适用面广，已广泛应用于机械制造、冶金、电镀等领域。化学气相沉积采用的设备为CVD化学蒸汽沉积炉加热系统：其主要包含有气相反应室、加热系统、气体控制系统、排气系统组成。而其中的加热系统，是整个系统核心部件之一，通过控制反应室温度来实现气体分解或者化合反应，达到在基体上沉积成膜的效果；其提供的热边界条件是外延生长研究的前提和基础，均匀有效的温度对实际生长性能具有重要影响；而每一个特定的加热腔体都需要一个与之匹配的加热电源，加热电源通过低电压、高电流、恒功率的工作输出特性，达到加热区域温度均匀、升温降温速度快、温度快速稳定的性能。但是，如今国内的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统均为进口，缺乏自主产品，且进口的CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统存在能耗高、反本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，其特征在于：所述系统包含有电器箱(1)和反应室(2)，所述反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述电器箱(1)内安装有PCB线路板(101)，所述电器箱(1)的箱壁上安装有接线端子(102)，且电器箱(1)的箱壁上开设有穿线孔(1.1)；所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱(1)和反应室(2)后连接至变压器(106)，且铠装电...

【技术特征摘要】
1.一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，其特征在于：所述系统包含有电器箱(1)和反应室(2)，所述反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述电器箱(1)内安装有PCB线路板(101)，所述电器箱(1)的箱壁上安装有接线端子(102)，且电器箱(1)的箱壁上开设有穿线孔(1.1)；所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热油墨层的两端设置有导电电极，且导电电极位于两块PET基板之间，铠装电缆的一端与导电电极相连接，另一端穿过电器箱(1)和反应室(2)后连接至变压器(106)，且铠装电缆上串接有一继电器(105)的被控制端，该继电器(105)的控制端通过导线连接至处理器(111)；三相电源线穿过穿线孔(1.1)连接至PCB线路板(101)上的整流模块(107)，所述整流模块(107)经安装于PCB线路板(101)上的逆变器(108)后...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐浩，杜中杰，周芳，薛辰斌，许铃，黄佳锋，唐颖，
申请(专利权)人：江阴市天马电源制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32