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本实用新型一种CVD化学蒸汽沉积炉加热电源系统，反应室(2)位于电器箱(1)上方，所述反应室(2)的底部设置有导热板(3)，所述导热板(3)内嵌置有加热板(4)，所述加热板(4)包含有两块PET基板，两块PET基板之间设置有发热油墨层，发热...
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