挡板制造技术

一种安装到旋流形成体(1)的挡板(2)设置有：挡板主体(21)，该挡板主体被设置为能够安装到旋流形成体(1)以及从该旋流形成体(1)拆卸，挡板主体(21)允许由旋流形成体(1)所生成的负压吸入的流体穿过，并且防止被抽吸物体进入旋流形成体(1)的凹部(13)；支撑构件(22)，该支撑构件在支撑构件的一端处附装到流体流形成体(1)的主体(11)，并且在支撑构件的另一端处支撑挡板主体(21)，使得挡板主体(21)面向旋流形成体(1)的端面(12)，支撑构件(22)将挡板主体(21)支撑为使得保持端面(12)与挡板主体(21)之间的间隙，并且形成允许流出凹部(13)的流体流动的流路。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】挡板
本专利技术涉及一种有待附接到通过使用伯努利(Bernoulli)定律向材料施加抽吸的装置的挡板。
技术介绍
本领域中已知的是用于通过使用伯努利定律向诸如半导体晶片或玻璃衬底的板状构件施加抽吸的装置。例如，在专利文献1中，描述了一种抽吸装置，该抽吸装置包括旋流形成体，该旋流形成体在旋流形成体的凹部内形成旋流。在凹部内形成的旋流生成向构件施加抽吸的负压。抽吸装置还包括：挡板，该挡板用于防止构件进入凹部；和连接构件，这些连接构件用于在旋流形成体的端面与挡板之间形成允许流出凹部的流体流动的流路。该抽吸装置能够以稳定方式向构件施加抽吸。现有技术文献专利文献专利文献1：JP2016-159405A1
技术实现思路
本专利技术要解决的问题鉴于上述技术而提出本专利技术，并且本专利技术的目的是提供一种包括挡板主体的挡板，该挡板主体以可移除的方式附接到形成旋流或径向流的流体流形成体，该旋流或径向流生成向构件施加抽吸的负压。解决问题的手段为了解决以上所描述的问题，本专利技术提供了一种有待附接到流体流形成体的挡板，流体流形成体包括：柱状主体；平坦端面，该平坦端面形成在主体处；凹部，该凹部形成在端面处；以及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种待附接到流体流形成体的挡板，所述流体流形成体包括：柱状主体；平坦端面，该平坦端面形成在所述主体处；凹部，该凹部形成在所述端面处；以及流体流形成装置，该流体流形成装置用于在所述凹部中形成流体旋流或通过将流体排放到所述凹部中形成径向流，所述流体旋流或所述径向流生成对构件实施抽吸的负压，所述挡板包括：挡板主体，该挡板主体能够附接到所述流体流形成体并且能够从所述流体流形成体拆卸，并且在防止所述构件进入所述凹部的同时允许由所述负压实施了抽吸的流体穿过；和支撑构件，该支撑构件在所述支撑构件的一端处附接到所述主体，并且在所述支撑构件的另一端处支撑所述挡板主体，使得所述挡板主体与所述端面对置，并且所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.12.16 JP 2016-2444471.一种待附接到流体流形成体的挡板，所述流体流形成体包括：柱状主体；平坦端面，该平坦端面形成在所述主体处；凹部，该凹部形成在所述端面处；以及流体流形成装置，该流体流形成装置用于在所述凹部中形成流体旋流或通过将流体排放到所述凹部中形成径向流，所述流体旋流或所述径向流生成对构件实施抽吸的负压，所述挡板包括：挡板主体，该挡板主体能够附接到所述流体流形成体并且能够从所述流体流形成体拆卸，并且在防止所述构件进入所述凹部的同时允许由所述负压实施了抽吸的流体穿过；和支撑构件，该支撑构件在所述支撑构件的一端处附接到所述主体，并且在所述支撑构件的另一端处支撑所述挡板主体，使得所述挡板主体与所述端面对置，并且所述支撑构件支撑所述挡板主...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩坂齐，德永英幸，河西裕二，舆石克洋，田中秀光，
申请(专利权)人：哈莫技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP