【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于检测基板处理系统内的一个或多个环境条件的存在的系统和方法
与本公开内容一致的实施方式大体而言涉及用于维持环境安全性和避免基板处理腔室和/或集群工具处置系统的其它元件之间的交叉污染的方法和装置。
技术介绍
半导体基板处理通常通过使基板经历多个顺序的工艺而执行以在基板上产生设备、导体和绝缘体。这些工艺一般执行在处理腔室中，所述处理腔室经配置以执行生产工艺的单一方面。为了高效地执行整个处理序列，许多处理腔室一般耦合至中心传输腔室，所述中心传输腔室容纳机器人以促进在周围的处理腔室之间传输基板。具有如此配置的半导体处理平台一般称为集群工具，其示例为可从加州圣克拉拉市的应用材料公司取得的和处理平台的系列。一般而言，集群工具由中心传输腔室组成，所述中心传输腔室具有设置在其中的机器人。传输腔室一般被一个或多个处理腔室和至少一个装载闸腔室围绕，以促进将基板容器或光罩舱(reticlepod)传输进入工具和传输离开工具，或从工厂界面取回基板容器。处理腔室一般用以处理基板，例如，执行各种处理操作，诸如蚀刻、物理气相沉积、化学气相沉积、离子注入、光刻术等等。基板容器和光罩盒一般为密封...
【技术保护点】
1.一种用于操作基板处理集群工具的方法，该方法包括以下步骤：将基板存储盒定位在所述基板处理集群工具的工厂界面内，所述基板存储盒界定内部容积，所述内部容积被调整尺寸并被布置以接收一个或多个基板；通过由与多个传感器操作地相关联的处理器执行储存指令，来感测所述内部容积内的多个条件中的一个条件的发生或所述内部容积内的所述多个条件中的一个条件的持续中的至少一者；和响应于所述感测步骤，进行产生警报或执行涉及所述基板存储盒的替代操作中的至少一个步骤。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.26 US 62/287,429;2016.02.19 US 15/048,2581.一种用于操作基板处理集群工具的方法，该方法包括以下步骤：将基板存储盒定位在所述基板处理集群工具的工厂界面内，所述基板存储盒界定内部容积，所述内部容积被调整尺寸并被布置以接收一个或多个基板；通过由与多个传感器操作地相关联的处理器执行储存指令，来感测所述内部容积内的多个条件中的一个条件的发生或所述内部容积内的所述多个条件中的一个条件的持续中的至少一者；和响应于所述感测步骤，进行产生警报或执行涉及所述基板存储盒的替代操作中的至少一个步骤。2.根据权利要求1所述的用于操作基板处理集群工具的方法，其中所述感测步骤包括以下步骤：感测所述基板存储盒内的温度，且其中响应于所述温度感测而进行记录或显示实时温度测量的步骤中的至少一个者。3.根据权利要求2所述的方法，其中下列中的至少一个条件成立：响应于超过选定的温度阈值或温度持续阈值中的至少一者的感测温度而产生所述警报；或当感测温度低于预定温度以下时，所述警报包括所述基板存储盒的可安全处置(safetohandle)状态。4.根据权利要求1所述的方法，其中所述感测步骤包括对涉及所述基板存储盒的第一工艺的终止和涉及所述基板存储盒的第二工艺的起动之间的经历时间进行测量和显示中的至少一者。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述警报包括可见的经历时间显示或可听的经历时间超时指示中的至少一者。6.根据权利要求1所述的方法，其中所述感测步骤包括以下步骤中的一个或多个：操作光源以进行测量或监控所述基板存储匣和工厂介面中的至少一者内的一个或多个空中污染物的浓度中的至少一个步骤；监控所述基板存储盒和工厂界面中的至少一者内的空中挥发性有机化合物、氧气水平和空中金属微粒中的至少一者；或监控所述基板存储盒内的相对湿度。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述替代操作包括以下步骤中的至少一者：在将基板从所述集群工具的处理腔室传输至所述内部容积之前在惰性气体内净化所述基板存储盒的所述内部容积；或中止将基板从所述基板存储盒的所述内部容积传输进所述集群工具的处理腔室。8.一种基板处理集群工具，包括：至少一个工具，所述至少一个工具包括基板处理腔室；工厂界面，所述工厂界面界定密封内部空腔，所述密封内部空腔被调整尺寸并被布置以接收多个基板存储盒；至少一个基板存储盒，设置在所述内部空腔内，各基板存储盒界定内部容积，所述内部容积被调整尺寸并被布置以接收一个或多个基板；多个传感器；和处理器，所述处理器与所述多...
【专利技术属性】
技术研发人员：法里恩·阿德尼·哈贾，戴维·莫多，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US
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