一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法技术

本发明专利技术涉及一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法，属于激光应用技术领域。当激光入射到分振幅型的分束器件的分束界面时，激光被分为透射光和反射光两束激光；透射光入射到反射镜上，被反射后返回至分束器件；同时，反射光入射到反射式相位型液晶空间光调制器上并原路返回至分束器件；当两束激光经过反射再次返回分束器件时，在分束器件处合束形成出射激光，此时两束激光相干形成干涉图案。通过空间光调制器对于相位的整形，所形成的干涉图案能够被整形成任意几何形状，并具有任意的能量分布。该方法所需搭建光路简单，使用方便，具有很强的实用性，通过整形所形成的干涉图案能够在激光微纳加工领域中的图案化加工研究中起到重要的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法
本专利技术涉及一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法，属于激光应用

技术介绍
近些年来，由于激光的优越特性，激光被广泛应用到高精度高质量的材料加工中去，众多激光加工的工艺和方法被不断提出和完善。在这些方法当中，光场的图案化整形吸引了越来越多的关注。在激光制造中一步实现图案化加工可以大大提高加工效率，因此可以应用到例如超材料的天线阵列、超级电容的梳齿、微流控器件通道等结构的加工中。干涉是激光微纳加工中图案化整形的重要手段之一，但是传统的干涉方法所产生的干涉图案比较单一、固定，通常为平行条纹或者同心圆，无法满足激光微纳加工中对于灵活性的要求。除此之外，使用数字微镜元件(DMD)直接加载图形掩膜对激光进行振幅整形也是图案化整形的方法之一。使用该方法可以方便快速地实现任意几何形状的整形，但是该方法在图案化整形的过程中无法控制整形结果中的光强分布，也对激光加工带来了一定灵活性上的局限。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有传统方法所产生的干涉图案固定、单一的问题，提供一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法。该方法可以将干涉光场整本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法，其特征在于：当激光入射到分振幅型的分束器件的分束界面时，激光被分为透射光和反射光两束激光；透射光入射到反射镜上，被反射之后保持原有相位分布不变原路返回至分束器件；同时，反射光入射到反射式相位型液晶空间光调制器上，反射式相位型液晶空间光调制器能够对反射光进行相位调制，使得反射光在空间上具有任意的相位分布,并原路返回至分束器件；当两束激光经过反射再次返回分束器件时，在分束器件处合束形成出射激光，此时两束激光相干形成所设计形状的干涉图案。

【技术特征摘要】
1.一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法，其特征在于：当激光入射到分振幅型的分束器件的分束界面时，激光被分为透射光和反射光两束激光；透射光入射到反射镜上，被反射之后保持原有相位分布不变原路返回至分束器件；同时，反射光入射到反射式相位型液晶空间光调制器上，反射式相位型液晶空间光调制器能够对反射光进行相位调制，使得反射光在空间上具有任意的相位分布,并原路返回至分束器件；当两束激光经过反射再次返回分束器件时，在分束器件处合束形成出射激光，此时两束激光相干形成所设计形状的干涉图案。2.如权利要求1所述的一种实现将干涉光场整形成任意几何形状的方法，其特征在于：所述反射式相位型液晶空间光调制器对入射激光进行相位调制时，两束激光在空间各处的相位差发生变化，从而改变...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜澜，李柏弘，李晓炜，李明，王智，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：北京,11