一种扩束准直光束的自动调校方法技术

本发明专利技术涉及光学检测技术领域，具体涉及一种扩束准直光束的自动调校方法。本发明专利技术利用接收图像的优化方法和电控平台的自动控制，实现了扩束准直系统自动化调校，调校精度较高。本发明专利技术方法为：激光器发出的激光束通过扩束镜、滤波装置以及准直镜后出射的光波为准平面光波，用带有镜头的CCD相机接收出射的光波，对接收的光波编程优化处理，结果反馈三维电控平移台，调整三维电控平移台，使激光束通过扩束镜、滤波装置以及准直镜的同轴输出，实现激光光波的大口径均匀输出，再用迈克耳孙干涉装置产生等厚干涉条纹，CCD相机接收其编程优化处理，结果反馈三维电控平移台，调整三维电控平移台，实现扩束镜、滤波装置以及准直镜的准直光束的准直输出。

An automatic adjustment method for beam collimating beam

The invention relates to the technical field of optical detection, in particular to an automatic adjustment method for expanding and collimating beams. The invention utilizes the optimization method of receiving images and the automatic control of the electronic control platform to realize the automatic adjustment of the beam expanding and collimating system, and the adjustment precision is high. The method of the invention is as follows: the laser beam emitted by the laser beam through the beam expander, the filter device and the light wave emitted after the collimating mirror is quasi-plane light wave, the light wave emitted is received by the CCD camera with the lens, the received light wave is programmed and optimized, the result is feedback to the three-dimensional electronically controlled translation table, adjusting the three-dimensional electronically controlled translation table, and making the laser possible. The beam is output uniformly through the coaxial beam expander, filter and collimator. Then the interference fringes of equal thickness are produced by the Michelson interferometer. The CCD camera receives the optimized processing by programming. The results feedback the three-dimensional electronically controlled translation table, adjusts the three-dimensional electronically controlled translation table, realizes the beam expander and filter. Collimating output of collimating beam and collimating mirror.

【技术实现步骤摘要】
一种扩束准直光束的自动调校方法
本专利技术涉及光学检测
，具体涉及一种扩束准直光束的自动调校方法。
技术介绍
激光光束具有一定发散角,光斑直径小，在宽口径的激光光路检测中，一般激光束的通过扩束准直系统形成与准直镜的对称轴平行的准直光束,该准直光束的准直度和光斑均匀性影响着激光的性能,因此准直光束的准直度和光斑均匀性是其光束性能评价的重要指标。激光束的扩束准直方法主要有以下几种调校方法：(1)夏克一哈特曼法：用一个透镜阵列对准直光束进行分割取样然后聚焦,根据焦斑的位置反求准直光束的波前分布。该方法适合测量小口径准直光束的波前分布,如果测量大口径准直光束,则需要一个特殊设计的光学匹配系统，该光学匹配系统需要一个口径不小于被测准直光束口径的高精度的聚焦透镜,这增加了检测系统的复杂度,也大大增加了检测成本。(2)剪切干涉法：是准直光束检测的重要方法,剪切干涉法需要一个口径至少与被检准直光束口径相当的高精度、高均匀性的剪切板。通常要求剪切板的口径是被检准直光束口径的1.5倍，对于口径为50mm的准直光束而言,需要一个口径为75mm的高精度、高均匀性的剪切板,该剪切板的费用是非常高。专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩束准直光束的自动调校方法，其特征在于：所述的方法为：激光器（1）发出的激光束通过扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）后出射的光波为准平面光波，用带有镜头（7）的CCD相机（8）接收出射的光波，对接收的光波编程优化处理，处理的结果反馈三维电控平移台，调整三维电控平移台（6），使激光束通过扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）的同轴输出，实现激光光波的大口径均匀输出，再用迈克耳孙干涉装置产生等厚干涉条纹，CCD相机（8）接收干涉条纹，对接收的干涉条纹编程优化处理，处理的结果反馈三维电控平移台，调整三维电控平移台（6），实现扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）的准直光...

【技术特征摘要】
1.一种扩束准直光束的自动调校方法，其特征在于：所述的方法为：激光器（1）发出的激光束通过扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）后出射的光波为准平面光波，用带有镜头（7）的CCD相机（8）接收出射的光波，对接收的光波编程优化处理，处理的结果反馈三维电控平移台，调整三维电控平移台（6），使激光束通过扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）的同轴输出，实现激光光波的大口径均匀输出，再用迈克耳孙干涉装置产生等厚干涉条纹，CCD相机（8）接收干涉条纹，对接收的干涉条纹编程优化处理，处理的结果反馈三维电控平移台，调整三维电控平移台（6），实现扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）的准直光束的准直输出。2.根据权利要求1所述的一种扩束准直光束的自动调校方法，其特征在于：所述的方法的具体步骤为：步骤1，将激光器（1）发出的激光束通过衰减器（2）调节激光光强大小，再通过扩束镜（3）、滤波装置（4）以及准直镜（5）后出射的光波为准平面光波；步骤2，针对于准平面光波，用带有镜头（7）的CCD相机（8）接...

【专利技术属性】
技术研发人员：段存丽，赵鹏程，郭荣礼，张玉虹，刘王云，胡小英，于佳，万文博，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61