用于柔性基板的光学自动检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于柔性基板的光学自动检测装置，该光学自动检测装置包括：气动平台、夹持机构和多个检测件，气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个出气口的上方；夹持机构适于夹持柔性基板并沿气动平台的长度方向可移动；多个检测件分别位于气动平台的上方和下方，上方的检测件用于直接对柔性基板的上表面检测，下方的检测件用于透过开槽对柔性基板的下表面检测；其中，开槽为非线形，且在气动平台的宽度方向上至少一个出气口与开槽相对。由此，既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以保证柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲。

【技术实现步骤摘要】
用于柔性基板的光学自动检测装置
本技术涉及柔性基板测试
，具体而言，涉及一种用于柔性基板的光学自动检测装置。
技术介绍
相关技术中，柔性基板的光学自动检查(AOI)主要用于检测柔性基板的表面的光学性能，通常将柔性基板设置在气动平台上，气动平台具有一字型开槽，以满足柔性基板的膜材的双面能够同时检查的需求，避免柔性基板被来回翻转。但是，上述检测装置存在以下问题：检测过程中，柔性基板移动并通过开槽时，由于开槽处没有气浮力，导致柔性基板的边缘经过开槽时，容易出现边缘下弯等问题。尤其是对于层叠(Lamination)工艺后本身柔性基板的膜材就有向下卷曲的产品边缘弯曲地更明显。进而，更容易发生由于弯曲程度过大，导致柔性基板与检测基台产生接触的现象发生，打乱正常的检测节奏，影响检测效率。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种用于柔性基板的光学自动检测装置。该光学自动检测装置既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以避免柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲。根据本技术实施例的用于柔性基板的光学自动检测装置包括：气动平台、夹持机构和多个检测件，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对。根据本技术实施例的用于柔性基板的光学自动检测装置，通过将气动平台的开槽设置成非线性，并使在气动平台的宽度方向上至少一个出气口与开槽相对，以使柔性基板的边缘(如前边缘、后边缘)经过开槽时，边缘的绝大部分仍然能够受到气浮力；同时柔性基板上与开槽相对的不受气浮力支撑的部分，能够借助于柔性基板自身的张力，而不发生较大的弯折和卷曲，有利于保持柔性基板的平整度。由此，既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以保证柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲，减少了影响检出效果或卷曲部位刮到开槽的槽口的现象发生，提高了检测后的产品良率。在一些实施例中，位于所述开槽的两侧中的每一侧的、与所述开槽在宽度方向上相对的出气口的个数均为多个。在一些实施例中，邻近所述开槽的两侧设置的多个出气口的分布轨迹与所述开槽的侧壁的延伸形状相一致。在一些实施例中，所述开槽的横截面为V形、锯齿形、弧形、波浪形中的任一种。可选地，所述开槽的横截面为V形，所述开槽的夹角为钝角。可选地，所述开槽的横截面为锯齿形，所述开槽至少形成三个锯齿，每个锯齿的夹角为锐角。可选地，所述开槽的横截面为中部凸起的弧形，所述开槽由凸起侧壁和凹陷侧壁共同限定出，在所述气动平台的长度方向上，所述凸起侧壁相对于所述凹陷侧壁更靠近所述检测件。进一步地，所述开槽的曲率半径为100mm-200mm。可选地，所述开槽的横截面为波浪形，所述开槽包括彼此交叉设置的波峰段和波谷段，所述波峰段和所述波谷段呈中心对称分布。在一些实施例中，所述开槽贯通所述气动平台的两个侧壁，所述开槽的槽宽为20mm-25mm，所述开槽沿所述气动平台的宽度方向的投影的长度为100mm-200mm。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1是根据本技术实施例的用于柔性基板的光学自动检测装置的示意图。图2是根据本技术第一实施例的光学自动检测装置的气动平台的示意图。图3是根据本技术第二实施例的光学自动检测装置的气动平台的示意图。图4是根据本技术第三实施例的光学自动检测装置的气动平台的示意图。图5是根据本技术第四实施例的光学自动检测装置的气动平台的示意图。附图标记：光学自动检测装置100，柔性基板200，气动平台10，出气口11，开槽12，夹持机构20，夹爪21，检测件30。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的单元或具有相同或类似功能的单元。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。下面参考图1至图5描述根据本技术实施例的用于柔性基板200的光学自动检测装置100。如图1所示，根据本技术实施例的用于柔性基板200的光学自动检测装置100包括：气动平台10、夹持机构20和多个检测件30。气动平台10具有多个出气口11，气动平台10被构造成能够驱动柔性基板200悬浮在多个出气口11的上方，气动平台10具有沿宽度方向设置的开槽12。开槽12可以贯穿气动平台10的上表面和下表面，以使下方的检测件30能够透过开槽12对柔性基板200的下表面进行光学检测。具体地，气动平台10用于为柔性基板200提供气动悬浮力，气动平台10自身或者外界为出气口11供气，以使气体从出气口11排出进而能够施加在位于气动平台10上方的柔性基板200上，使柔性基板200处于悬浮状态，这样柔性基板200的下表面的膜材和上表面的膜材都能处于暴露状态，尤其是使下表面能够脱离气动平台10，更方便设置在气动平台10下方的检测件30透过开槽12对柔性基板200的下表面的光学检测。需要说明的是，开槽12沿宽度方向设置并不是指开槽12的长度方向与气动平台10的宽度方向相一致，而是指开槽12的整体走向为宽度方向。夹持机构20适于夹持柔性基板200并沿气动平台10的长度方向可移动。具体地，夹持机构20可以是夹爪21，气动平台10用于在竖直方向上为柔性基板200提供悬浮力，夹持机构20用于在水平方向上(即柔性基板200所在的平面中的一个方向)为柔性基板200提供进给力，以使柔性基板200能够被稳定驱动移动，从而在移动过程中使柔性基板200能够被夹持机构20稳定驱动沿气动平台10的长度方向(进给方向)移动。多个检测件30分别位于气动平台10的上方和下方，上方的检测件30用于直接膜材对柔性基板200的上表面检测，下方的检测件30用于透过开槽12对柔性基板200的下表面检测。可以理解的是，检测件30可以是摄像头、扫描仪器，检测件30的个数可以是至少两个，至少一个检测件30位于柔性基板200的上方，以对柔性基板200的上表面进行光学检测；至少一个检测件30位于柔性基板200的下方，以透过开槽12对柔性基板200的下表面进行光学检测。检测件30在竖直方向的投影可以位于开槽12的同一侧，每个检测件30可以倾斜设置，这样对设置在气动平台10下方的检测件30而言，更容易透过开槽12扫描到的柔性基板200的下表面的面积更大，进一步提高了检测的高效性和可靠性。其中，开槽12为非线形，且在气动平台10的宽度方向上至少一个出气口11与开槽12相对。也就是说，至少一个出气口11沿气动平台10的宽度方向的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，包括：气动平台，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；夹持机构，所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；和多个检测件，所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对。

【技术特征摘要】
1.一种用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，包括：气动平台，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；夹持机构，所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；和多个检测件，所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对。2.根据权利要求1所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，位于所述开槽的两侧中的每一侧的、与所述开槽在宽度方向上相对的出气口的个数均为多个。3.根据权利要求1所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，邻近所述开槽的两侧设置的多个出气口的分布轨迹与所述开槽的侧壁的延伸形状相一致。4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的横截面为V形、锯齿形、弧形、波浪形中的任一种。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：管礼志，金成浩，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，绵阳京东方光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11