下载用于柔性基板的光学自动检测装置的技术资料

文档序号:19032653

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本实用新型公开了一种用于柔性基板的光学自动检测装置,该光学自动检测装置包括:气动平台、夹持机构和多个检测件,气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽,气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个出气口的上方;夹持机构适于夹持柔性基板并沿...
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