集成电路老化试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术所述的集成电路老化试验装置，包括用于加热试验器件的高温试验箱、用于进行老化试验的老化测试板、用于控制每个老化测试板的集成电路板、用于发出激励信号的信号发生器、用于提供可调直流电压的电源控制板、用于检测老化输入输出信号的信号检测器、用于向老化测试板提供所需电压的老化电源以及用于控制老化过程的控制器，所述高温试验箱包括箱体和温控器，所述箱体上设有用于放置试验器件的试验器件装载区、用于安装电源控制板和信号发生器的控制腔、用于放置老化电源的电源放置腔；所述老化测试板安装在所述箱体的试验器件装载区内。本发明专利技术的有益效果是：信号质量高，远距离传输信号高保真完整性好。

Integrated circuit aging test device

The integrated circuit aging test device comprises a high temperature test box for heating test devices, an aging test board for aging test, an integrated circuit board for controlling each aging test board, a signal generator for sending out an excitation signal, and a power supply control board for providing an adjustable DC voltage. A signal detector for detecting the aging input and output signals, an aging power supply for providing the required voltage to the aging test board, and a controller for controlling the aging process are provided. The high temperature test box comprises a box body and a temperature controller. The box body is provided with a test device loading area for placing the test device, and a power supply is installed. The control chamber of the control board and the signal generator, the power supply placement chamber for placing the aging power supply, and the aging test board are installed in the test device loading area of the box body. The invention has the advantages of high signal quality, long distance transmission signal, high fidelity and good integrity.

【技术实现步骤摘要】
集成电路老化试验装置
本专利技术涉及一种集成电路老化试验装置。
技术介绍
目前国内普遍适用集成电路老化试验装置存在信号频率低、信号深度不足、发送效率低，信号回检不完整等问题；在试验工程中不能得到实时记录数据和数据对数据有效性的确认。
技术实现思路
为了克服现有设备信号频率低，信号远距离传输衰减的缺点，本专利技术提供了一种信号质量高，远距离传输信号高保真完整性好的集成电路老化试验装置。本专利技术所述的集成电路老化试验装置，其特征在于：包括用于加热试验器件的高温试验箱、用于进行老化试验的老化测试板、用于控制每个老化测试板的集成电路板、用于发出激励信号的信号发生器、用于提供可调直流电压的电源控制板、用于检测老化输入输出信号的信号检测器、用于向老化测试板提供所需电压的老化电源以及用于控制老化过程的控制器，所述高温试验箱包括箱体、温控器和散热通风装置，所述箱体上设有用于放置试验器件的试验器件装载区、用于安装电源控制板和信号发生器的控制腔、用于放置老化电源的电源放置腔，并且所述试验器件装载区与所述控制腔并排设置在箱体上层，并通过竖隔板分隔，二者之间的竖隔板上设有若干用于供对接组件通过的贯通孔，并且贯通孔处配有用于插接金手指对接组件的总线座；所述电源放置区设置在箱体的下层；所述温控器设置在所述试验器件装载区内，保持试验器件装载区的温度；所述散热通风装置包括散热风机和散热风道，其中散热风机安装在箱体与老化测试板之间，并且散热风机的出风口配有用于向箱体外排风的排风管道，所述散热风机的控制端与所述控制器相应的引脚电连，散热通风装置的进风口处设有防尘罩网；所述散热风道包括横向风道和纵向风道，其中横向风道水平布置，纵向风道竖直布置；所述老化测试板安装在所述箱体的试验器件装载区内，所述老化测试板上设有若干用于安装试验器件的测试工位，并且每个所述测试工位对应设置一个用于与安装其上的测试器件连接端相接触的测试引脚，每块所述老化测试板的连接引脚通过相应金手指对接组件与配套的老化集成电路板的第一信号连接端电连；所述老化集成电路板的第二信号连接端分别与所述电源控制板的第一信号传输端口相连，实现老化测试板与电源控制板之间的信号双向通信；所述老化集成电路与所述总线座连接，所述老化集成电路板的老化信号输入端与所述信号发生器的老化信号输出端相连；所述老化集成电路的检测信号输出端与所述信号检测器的信号输入端电连；所述电源控制板的检测信号输出端与所述控制器的信号输入端电连；所述老化电源的供电控制端与所述老化电源控制板的信号输出端电连，所述老化电源的供电端与所述老化集成电路板的输电引脚电连，实现对老化测试板供电；所述控制器包括用于控制信号发生器的信号发生单元、用于控制老化电源的电源控制单元、用于控制箱体内测试温度的温控单元、用于传输测试采集信号的数据传输器、用于处理测试采集信号的数据处理器以及用于设定测试参数并显示测试结果的人机交互界面，所述信号发生单元的信号输入端与所述信号发生器的控制输入端电连，所述电源控制单元的电压电流输出端与所述电源控制板的测试电源输入端电连；所述温控单元的信号输出端与所述温控器的控制端电连；所述信号检测器的信号输出端与所述数据传输器的信号输入端电连；所述数据传输器的信号输出端与所述数据处理器的信号输入端电连，所述数据处理器的电压电流控制端与所述电源控制单元的电压电流控制端电连，所述数据处理器的温控端与所述温控单元的控制端电连，所述数据处理器的控制端与所述人机交互界面的信号传输端口电连，实现数据处理器与人机交互界面之间的信号双向传输；所述人机交互界面上设有用于操控高温试验箱的试验箱操控板、用于控制电源控制板正常工作的工作电源操控板、用于调控老化电源工作的老化电源调控板以及用于控制散热通风装置的散热控制板，所述试验箱操控板上设有用于控制温控箱的温控板以及用于显示试验结果的结果显示板，所述温控板的信号传输端与所述温控单元的信号控制端电连，所述结果显示板与所述数据处理器的信号输出端电连；所述工作电源操控板上设有启动开关、停止开关以及急停按钮，其中所述启动开关、停止开关以及急停按钮通过相应的控制电路与所述控制器相连；所述老化电源调控板上设置用于显示输出老化电压的电压显示屏、用于显示输出老化电流的电压显示屏以及若干用于调控老化参数的控制按钮，并且所述控制按钮均与所述电源控制单元的控制端电连，实现对老化电源以及电源控制板的控制；所述散热控制板上设有用于控制风机转速的调节阀。所述信号发生器包括用于传输数字信号的第一信号发生器和用于传输模拟信号的第二信号发生器，其中数字信号最高频率为10MHz；模拟信号最高频率为5MHz。所述高温试验箱还配有散热通风装置，所述散热通风装置包括散热风机和散热风道，其中散热风机安装在箱体与老化测试板之间，并且散热风机的出风口配有用于向箱体外排风的排风管道，散热通风装置的进风口处设有防尘罩网；所述散热风道包括横向风道和纵向风道，其中横向风道水平布置，纵向风道竖直布置。所述金手指对接组件包括金手指和对接座，所述金手指的各个线路与对接座的各个线路一一对应，所述金手指固定安装在压条上，所述对接座与金手指固定连接，所述金手指插接在所述总线座上，所述压条固定安装在箱体后壁，所述对接座与所述老化测试板连接，从而实现老化集成电路板与老化测试板的连接。所述老化电源相互独立，并且每个老化电源上均对应设置用于输出老化电压的电压插孔和用于输出老化电流的电流插孔。工作过程如下：首先在人机交互界面上设定老化过程的参数，控制器控制信号发生器发射激励信号(模拟或者数字信号)、电源控制板控制老化电源输出设定的工作电源，通过控制器控制发送相应的模拟或者数字信号和工作电源，加载到相应的试验器件上，同时该试验器件输出信号(模拟、数字信号)经过信号检测器检测重新反馈至控制器的数据处理器内存储，然后经人机交互界面显示记录。试验时，试验参数由控制器发送到电源控制板以及信号发生器，信号发生器以及电源控制板产生确定的激励信号(模拟、数字信号)和工作电压，然后通过金手指对接组件送至高温试验箱内试验板上的被试器件，使其按规定的试验条件正常工作。激励信号及工作电源经过金手指高频印制基板线路输入到被测器件，实现集成电路的高温动态老炼目的。被试集成电路的温度通过调节高温试验箱温度进行控制。本专利技术的有益效果是：1、信号频率高，数字信号频率最高10MHz,模拟信号5MHz并且能够保证信号的完整性及具有较强的驱动电流；2、整机结构设计考虑到高温试验箱及负载的散热。结构统一设计散热通风装置，将热量通过排风管道送到室外，改善试验环境，提高可靠性。3、整机设计、进风口采用防尘网罩设计，防止空气中的腐蚀性灰尘对控制检测板及机器的其他部件造成算坏故障，提高设备的稳定性及可靠性。附图说明图1是本专利技术的正视图(61:老化电源电压调节电位器；62：电流调节电位器)。图2是本专利技术的左视图。图3是本专利技术的右视图。图4是本专利技术的后视图。图5是本专利技术的内部结构图。图6是本专利技术的工作原理框图(INPUT1～INPUT9:输入激励信号波形示意)。图7是本专利技术的老化信号传输流程框图。具体实施方式下面结合附图进一步说明本专利技术参照附图：实施例1本专利技术所述的集成电路老化试验装置，包括用于加热试验器件的高温试验箱1、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.集成电路老化试验装置，其特征在于：包括用于加热试验器件的高温试验箱、用于进行老化试验的老化测试板、用于控制每个老化测试板的老化集成电路板、用于发出激励信号的信号发生器、用于提供可调直流电压的电源控制板、用于检测老化输入输出信号的信号检测器、用于向老化测试板提供所需电压的老化电源以及用于控制老化过程的控制器，所述高温试验箱包括箱体、温控器和散热通风装置，所述箱体上设有用于放置试验器件的试验器件装载区、用于安装电源控制板和信号发生器的控制腔、用于放置老化电源的电源放置腔，并且所述试验器件装载区与所述控制腔并排设置在箱体上层，并通过竖隔板分隔，二者之间的竖隔板上设有若干用于供对接组件通过的贯通孔，并且贯通孔处配有用于插接金手指对接组件的总线座；所述电源放置区设置在箱体的下层；所述温控器设置在所述试验器件装载区内，保持试验器件装载区的温度；所述散热通风装置包括散热风机和散热风道，其中散热风机安装在箱体与老化测试板之间，并且散热风机的出风口配有用于向箱体外排风的排风管道，所述散热风机的控制端与所述控制器相应的引脚电连，散热通风装置的进风口处设有防尘罩网；所述散热风道包括横向风道和纵向风道，其中横向风道水平布置，纵向风道竖直布置；所述老化测试板安装在所述箱体的试验器件装载区内，所述老化测试板上设有若干用于安装试验器件的测试工位，并且每个所述测试工位对应设置一个用于与安装其上的测试器件连接端相接触的测试引脚，每块所述老化测试板的连接引脚通过相应金手指对接组件与配套的老化集成电路板的第一信号连接端电连；所述老化集成电路板的第二信号连接端分别与所述电源控制板的第一信号传输端口相连，实现老化测试板与电源控制板之间的信号双向通信；所述所述老化集成电路与所述总线座连接，所述老化集成电路板的老化信号输入端与所述信号发生器的老化信号输出端相连；所述老化集成电路的检测信号输出端与所述信号检测器的信号输入端电连；所述电源控制板的检测信号输出端与所述控制器的信号输入端电连；所述老化电源的供电控制端与所述老化电源控制板的信号输出端电连，所述老化电源的供电端与所述老化集成电路板的输电引脚电连，实现对老化测试板供电；所述控制器包括用于控制信号发生器的信号发生单元、用于控制老化电源的电源控制单元、用于控制箱体内测试温度的温控单元、用于传输测试采集信号的数据传输器、用于处理测试采集信号的数据处理器以及用于设定测试参数并显示测试结果的人机交互界面，所述信号发生单元的信号输入端与所述信号发生器的控制输入端电连，所述电源控制单元的电压电流输出端与所述电源控制板的测试电源输入端电连；所述温控单元的信号输出端与所述温控器的控制端电连；所述信号检测器的信号输出端与所述数据传输器的信号输入端电连；所述数据传输器的信号输出端与所述数据处理器的信号输入端电连，所述数据处理器的电压电流控制端与所述电源控制单元的电压电流控制端电连，所述数据处理器的温控端与所述温控单元的控制端电连，所述数据处理器的控制端与所述人机交互界面的信号传输端口电连，实现数据处理器与人机交互界面之间的信号双向传输；所述人机交互界面上设有用于操控高温试验箱的试验箱操控板、用于控制电源控制板正常工作的工作电源操控板、用于调控老化电源工作的老化电源调控板以及用于控制散热通风装置的散热控制板，所述试验箱操控板上设有用于控制温控箱的温控板以及用于显示试验结果的结果显示板，所述温控板的信号传输端与所述温控单元的信号控制端电连，所述结果显示板与所述数据处理器的信号输出端电连；所述工作电源操控板上设有启动开关、停止开关以及急停按钮，其中所述启动开关、停止开关以及急停按钮通过相应的控制电路与所述控制器相连；所述老化电源调控板上设置用于显示输出老化电压的电压显示屏、用于显示输出老化电流的电压显示屏以及若干用于调控老化参数的控制按钮，并且所述控制按钮均与所述电源控制单元的控制端电连，实现对老化电源以及电源控制板的控制；所述散热控制板上设有用于控制风机转速的调节阀。...

【技术特征摘要】
1.集成电路老化试验装置，其特征在于：包括用于加热试验器件的高温试验箱、用于进行老化试验的老化测试板、用于控制每个老化测试板的老化集成电路板、用于发出激励信号的信号发生器、用于提供可调直流电压的电源控制板、用于检测老化输入输出信号的信号检测器、用于向老化测试板提供所需电压的老化电源以及用于控制老化过程的控制器，所述高温试验箱包括箱体、温控器和散热通风装置，所述箱体上设有用于放置试验器件的试验器件装载区、用于安装电源控制板和信号发生器的控制腔、用于放置老化电源的电源放置腔，并且所述试验器件装载区与所述控制腔并排设置在箱体上层，并通过竖隔板分隔，二者之间的竖隔板上设有若干用于供对接组件通过的贯通孔，并且贯通孔处配有用于插接金手指对接组件的总线座；所述电源放置区设置在箱体的下层；所述温控器设置在所述试验器件装载区内，保持试验器件装载区的温度；所述散热通风装置包括散热风机和散热风道，其中散热风机安装在箱体与老化测试板之间，并且散热风机的出风口配有用于向箱体外排风的排风管道，所述散热风机的控制端与所述控制器相应的引脚电连，散热通风装置的进风口处设有防尘罩网；所述散热风道包括横向风道和纵向风道，其中横向风道水平布置，纵向风道竖直布置；所述老化测试板安装在所述箱体的试验器件装载区内，所述老化测试板上设有若干用于安装试验器件的测试工位，并且每个所述测试工位对应设置一个用于与安装其上的测试器件连接端相接触的测试引脚，每块所述老化测试板的连接引脚通过相应金手指对接组件与配套的老化集成电路板的第一信号连接端电连；所述老化集成电路板的第二信号连接端分别与所述电源控制板的第一信号传输端口相连，实现老化测试板与电源控制板之间的信号双向通信；所述所述老化集成电路与所述总线座连接，所述老化集成电路板的老化信号输入端与所述信号发生器的老化信号输出端相连；所述老化集成电路的检测信号输出端与所述信号检测器的信号输入端电连；所述电源控制板的检测信号输出端与所述控制器的信号输入端电连；所述老化电源的供电控制端与所述老化电源控制板的信号输出端电连，所述老化电源的供电端与所述老化集成电路板的输电引脚电连，实现对老化测试板供电；所述控制器包括用于控制信号发生器的信号发生单元、用于控制老化电源的电源控制单元、用于控制箱体内测试温度的温控单元、用于传输测试采集信号的数据传输器、用于处理测试采集信号的数据处理器以及用于设定...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹骥，吴福铭，任旭东，
申请(专利权)人：杭州可靠性仪器厂，
类型：发明
国别省市：浙江,33