The invention belongs to the technical field of electronic device detection, and discloses a method for efficiently detecting large area micro-electronic devices. A light source control module A produces a beam of a specific frequency, and a beam of coherent light with equal frequency and equal phase is divided into two parts by the splitting interferometric optical module B. One beam is reflected through the surface of the electronic device under test, and the other beam is reflected through a mirror, which interferes with the reflected light. The interference pattern is received by data acquisition and analysis module D and analyzed by computer software. The method has the advantages of high precision, full field, real-time and non-destructive testing, and can be used for non-contact measurement of small deformation on the surface and interface of large area electronic devices.
【技术实现步骤摘要】
一种高效检测大面积微细电子器件的方法
本专利技术属于电子器件检测
,具体涉及一种高效检测大面积微细电子器件的方法。
技术介绍
随着科学技术的进步及制造工艺的进一步提高,加工制造过程中不同尺寸的材料和器件的缺陷对性能有着很大的影响,如何快速、准确地对缺陷进行检测,保证制造良品率,提高精密加工制造业的进一步发展具有重要意义。以面板显示产业为例,近年来,以TFT-LCD、AMOLED、电子纸为代表的新型显示(FPD)产业发展迅猛。随着面板显示技术的飞速发展,大尺寸面板的生产制造成为主流,行业专注于提升产品品质和降低成本。而在降低成本方面最有效、最直接的方式是提高产品良品率。检测产品良品率传统方法则采用人工作业,不仅工作量大,而且易受到检测人员主观因素的影响,人工视觉检测越来越不能满足当今工业领域的要求。在实验室研究以及工厂化生产中,缺陷检测主要在检测内容上分为静态无源状态下的检测以及动态实时有源状态的检测;在检测实施方式上分为接触式检测以及非接触式检测;在检测对样品影响上分为破坏性检测以及无损检测。其中,非接触式无损检测能够保证待测物体的完整性及稳定性。工业生产的进步进一步要求检测工艺的高效性及准确性,由于非接触无损检测的限制,现有技术包括射线、超声波、电磁、渗透和磁粉检测技术等,难以满足。
技术实现思路
针对以上现有技术存在的缺点和不足之处,本专利技术的目的在于提供一种高效检测大面积微细电子器件的方法。该方法基于物体结构损伤处的外表面在静载荷或动载荷的作用下会产生非均匀的表面位移或变形,在有规则的干涉条纹中会出现明显的异状,如不连续、突变的形状变化和间距变化 ...
【技术保护点】
1.一种高效检测大面积微细电子器件的方法,其特征在于包括如下步骤:(1)通过光源控制模块A产生特定频率的光束;(2)将步骤(1)特定频率的光束通过分光干涉光学模块B分为等频率等相位的相干光,一束通过被测电子器件表面反射,另一束通过反射镜反射,使两束反射光产生干涉;(3)步骤(2)的被测电子器件通过样品控制模块C进行测试条件的控制;(4)通过数据采集分析模块D接收步骤(2)产生的干涉图样,并利用计算机软件进行分析。
【技术特征摘要】
1.一种高效检测大面积微细电子器件的方法,其特征在于包括如下步骤:(1)通过光源控制模块A产生特定频率的光束;(2)将步骤(1)特定频率的光束通过分光干涉光学模块B分为等频率等相位的相干光,一束通过被测电子器件表面反射,另一束通过反射镜反射,使两束反射光产生干涉;(3)步骤(2)的被测电子器件通过样品控制模块C进行测试条件的控制;(4)通过数据采集分析模块D接收步骤(2)产生的干涉图样,并利用计算机软件进行分析。2.根据权利要求1所述的一种高效检测大面积微细电子器件的方法,其特征在于:步骤(1)中所述的光源控制模块A包括激光器或可调频LED。3.根据权利要求1所述的一种高效检测大面积微细电子器件的方法,其特征在于:步骤(2)中所述的分光干涉光学模块B包括分光镜B1,分光镜B2,反射镜M,扩束镜L1和成像透镜L2。4.根据权利要求3所述的一种高效检测大面积微细电子器件的方法,其特征在于:所述的分光镜B1用于将光源控制模块A的光源出射的光束分为等频率等...
【专利技术属性】
技术研发人员:钟祎洵,姚日晖,宁洪龙,魏靖林,
申请(专利权)人:华南理工大学,
类型:发明
国别省市:广东,44
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