一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。本实用新型专利技术设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢‑歧化‑脱氢‑再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。

A negative pressure constant voltage closed loop control system for a vacuum atmosphere heat treatment furnace

The utility model discloses a negative pressure constant pressure closed-loop control system on a vacuum atmosphere heat treatment furnace, which comprises a reaction chamber, a negative pressure constant pressure closed-loop control system, a vacuum system and an industrial control system, and is characterized in that the reaction chamber is connected with a vacuum system, and the negative pressure constant pressure closed-loop control system comprises a gas supply system and an intake pipe. One end of the intake pipe is connected with the air supply system, and the negative pressure constant pressure closed-loop control system and the vacuum system are connected with an industrial control system. The utility model has reasonable design. By increasing the negative pressure constant pressure closed-loop control, the process gas can set the flow rate, the pressure in the reaction chamber can be controlled at constant pressure, and different pressure values can be set and maintained in the process of hydrogen absorption disproportionation dehydrogenation recombination. The pressure in the reaction chamber is more stable, and the qualified rate of the products can be improved. And because of the control of negative pressure, the loss of process gas is reduced, thereby reducing the production cost, practicability is strong, suitable for promotion.

【技术实现步骤摘要】
一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统
本技术属于真空气氛热处理炉领域，更具体地说，涉及一种生产各向异性钕铁硼磁粉的设备（HDDR）上的负压恒压闭环控制系统。
技术介绍
气氛热处理设备的工艺过程本质在于稀土金属间化合物吸氢并歧化分解，再在随后的强制脱氢过程中歧化产物复合成晶粒细小的原化合物相，从而制备出具有优异磁性能和磁各向异性的磁粉。以往在此过程中通入定量的工艺气体氢气，因氢气受热膨胀，反应腔内压力增加，无法准确的控制反应腔内的气氛压力，导致制品合格率低，增加设备生产成本。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供了一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢-歧化-脱氢-再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，所述真空气氛热处理炉上包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。作为一种优化的技术方案，所述供气系统包括供气管路、减压器、过滤器、开关阀、质量流量控制器、压力控制器。作为一种优化的技术方案，所述进气管路分为两路，一路连接反应腔进气端，另一路连接真空系统进气端。作为一种优化的技术方案，所述真空系统设置有扩散泵、罗茨泵、机械泵、真空阀门、慢抽阀、快抽阀。作为一种优化的技术方案，所述反应腔上设置有压力传感器，通过信号线连接到工控系统，进行压力值的反馈。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，本技术设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢-歧化-脱氢-再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。参照附图和实施例对本技术做进一步说明。附图说明图1为本技术一种实施例中的结构示意图。具体实施方式实施例如图1所示，一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔15与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路1；所述进气管路1一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统14。所述供气系统包括供气管路1、减压器2、过滤器3、开关阀4、质量流量控制器5、压力控制器6。所述进气管路分为两路，一路连接反应腔15进气端，另一路连接真空系统进气端。所述真空系统设置有扩散泵7、罗茨泵8、机械泵9、真空阀门10、慢抽阀11、快抽阀12。所述反应腔上设置有压力传感器13，通过信号线连接到工控系统14，进行压力值的反馈。工艺过程中，反应腔内压力恒定越好，物料产成品合格率越高。工艺气体根据设定的流量值，通过质量流量控制器控制，连接进气管路通入反应腔内；真空系统对反应腔进行抽真空，抽气速率可以根据不同工艺过程需要的压力值开启快抽阀或慢抽阀；压力传感器检测反应腔内实际压力，将测量值实时反馈给工控系统；压力控制器根据压力反馈值和压力设定值的比较，进行自动压力恒定闭环控制，实现反应腔内压力恒定闭环控制系统，提高物料产成品合格率。本技术设计合理，通过增加负压恒压闭环控制，工艺气体可设定流量的通入，反应腔内压力可以进行恒压控制，在吸氢-歧化-脱氢-再复合工艺过程中可设定保持不同压力值，反应腔内压力更加稳定，提高制品合格率，并且由于控制负压压力，工艺气体的损耗减小，从而降低生产成本，实用性强，适于推广。本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，所述真空气氛热处理炉上包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。

【技术特征摘要】
1.一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，与真空气氛热处理炉相对应，所述真空气氛热处理炉上包括反应腔，负压恒压闭环控制系统，真空系统，工控系统，其特征在于：所述反应腔与真空系统连接；所述负压恒压闭环控制系统包括供气系统和进气管路；所述进气管路一端与供气系统连接；所述负压恒压闭环控制系统、真空系统连接有工控系统。2.根据权利要求1所述的一种真空气氛热处理炉上的负压恒压闭环控制系统，其特征在于：所述供气系统包括供气管路、减压器、过滤器、开关阀、质量流量控制器、...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37