双层漏斗及加液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种双层漏斗及加液装置，双层漏斗包括外层漏斗以及内层漏斗，外层漏斗包括外层漏斗本体和外层漏斗管，内层漏斗包括内层漏斗本体和内层漏斗管，外层漏斗本体与外层漏斗管相连通，内层漏斗本体与内层漏斗管相连通，外层漏斗嵌套在所述内层漏斗外，在外层漏斗和所述内层漏斗之间形成一排液通道，排液通道在外层漏斗管远离外层漏斗本体的一端处具有一狭缝；根据流体力学原理，当容器中的气体推动液体从加液部往外流，流经外层漏斗管的液体流经狭缝时，流速加快，液体优先喷起，从而起到排气功能；而流经漏斗外部的液体流经粗口时，流速减慢，从而延缓外喷趋势，由此达到防止液体喷出的目的。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体装置领域，特别涉及一种双层漏斗及加液装置。
技术介绍
在半导体制造工厂(FAB)里，蚀刻机台附属有很多冷却设备，都需要不定期加冷却液，冷却液是一种含氟易挥发的化学品，过多残余在环境中会对环境造成干扰和污染，严重情况会引发FAB气体侦测器报警，导致机台无法正常运行，给公司带来严重的经济损失。工程师在添加冷却液时，由于机台特殊结构和漏斗的原因，经常会有液体外喷的现象。大多直接喷洒到地上，挥发到FAB环境中，对FAB环境造成干扰；有时候可能溅到操作者身上，对人的健康造成伤害；有时也会喷到临近的机台上，造成意外停机，严重的时候，引起气体侦测器报警，导致大面积停机。因此，如何在添加冷却液时避免液体外喷是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种双层漏斗及加液装置，具有排气功能，从而能够有效防止液体喷出。为解决上述技术问题，本技术提供一种双层漏斗及加液装置，包括外层漏斗以及内层漏斗，所述外层漏斗包括外层漏斗本体和外层漏斗管，所述内层漏斗包括内层漏斗本体和内层漏斗管，所述外层漏斗本体与外层漏斗管相连通，所述内层漏斗本体与内层漏斗管相连通，所述外层漏斗嵌套在所述内层漏斗外，在所述外层漏斗和所述内层漏斗之间形成一排液通道，所述排液通道在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处具有一狭缝。优选的，所述狭缝距所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端的距离小于等于所述外层漏斗管长度的二分之一。更优选的，所述狭缝距所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端的距离小于等于所述外层漏斗管长度的四分之一。优选的，所述狭缝的长度为1mm～3mm。优选的，在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处，所述外层漏斗管的外壁设置为内凹结构。优选的，所述外层漏斗本体与外层漏斗管一体成型，所述内层漏斗本体与内层漏斗管一体成型。优选的，所述外层漏斗本体与内层漏斗本体均呈倒立的圆锥状。更优选的，所述外层漏斗本体与内层漏斗本体的顶部重合，且所述外层漏斗本体的底部低于所述内层漏斗本体的底部。优选的，所述外层漏斗管与内层漏斗管均呈圆柱状。更优选的，所述内层漏斗管从所述外层漏斗管的底部伸出。相应的，本技术还提供一种加液装置，包括容器与位于所述容器内的双层漏斗，所述双层漏斗为所述的双层漏斗。优选的，所述容器包括加液部，所述双层漏斗位于所述加液部内；所述加液部包括第一管与第二管，所述第一管与第二管垂直设置为L形，所述第一管的上表面高于所述第二管的上表面，所述狭缝低于所述第一上表面，且所述狭缝不低于所述第二上表面。与现有技术相比，本技术所提供的双层漏斗及加液装置，将漏斗设置为外层漏斗以及内层漏斗，所述外层漏斗包括外层漏斗本体和外层漏斗管，所述内层漏斗包括内层漏斗本体和内层漏斗管，外层漏斗本体与外层漏斗管相连通，内层漏斗本体与内层漏斗管相连通，所述外层漏斗嵌套在所述内层漏斗外，在所述外层漏斗和所述内层漏斗之间形成一排液通道，所述排液通道在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处具有一狭缝；根据流体力学原理，当容器中的气体推动液体从加液部往外流，流经外层漏斗管的液体流经狭缝时，流速加快，液体优先喷起，从而起到排气功能；而流经漏斗外部的液体流经粗口时，流速减慢，从而延缓外喷趋势，由此达到防止液体喷出的目的。附图说明图1是液体外喷的原理示意图；图2是本技术一实施例所提供的双层漏斗的截面图；图3是本技术一实施例所提供的加液装置的截面图。具体实施方式请参考图1所示，专利技术人发现，当过快往漏斗10中加液体时，液体会迅速充满容器20的加液口21处的狭长管路，使容器20内形成密闭状态，当继续往容器20中加液体时，容器20中的空气就会从加液口21处往外排出，从而推动加液口21处的液体往外流，使得加液口21液面上升，最终导致液体从加液口21喷出，进而造成一系列的问题。经过进一步研究，专利技术人提出一种双层漏斗，包括外层漏斗以及内层漏斗，所述外层漏斗包括外层漏斗本体和外层漏斗管，所述内层漏斗包括内层漏斗本体和内层漏斗管，所述外层漏斗本体与外层漏斗管相连通，所述内层漏斗本体与内层漏斗管相连通，所述外层漏斗嵌套在所述内层漏斗外，在所述外层漏斗和所述内层漏斗之间形成一排液通道，所述排液通道在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处具有一狭缝。根据流体力学原理，液体从粗管流向细管时，流速加快；从细管流向粗管时，流速减慢。根据这一理论，当容器中的气体推动液体从加液部往外流，流经外层漏斗管的液体流经狭缝时，流速加快，液体优先喷起，从而起到排气功能；而流经漏斗外部的液体流经粗口时，流速减慢，从而延缓外喷趋势，由此达到防止液体喷出的目的。以下结合附图和具体实施例对本技术提供的一种双层漏斗进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图2，图2为本技术一实施例所提供的双层漏斗的截面图。如图2所示，本技术提供一种双层漏斗100，包括外层漏斗110以及内层漏斗120，所述外层漏斗110包括外层漏斗本体112和外层漏斗管114，所述内层漏斗120包括内层漏斗本体122和内层漏斗管124，所述外层漏斗本体112与外层漏斗管114相连通，所述内层漏斗本体122与内层漏斗管124相连通；所述外层漏斗110嵌套在所述内层漏斗120外，在所述外层漏斗110和所述内层漏斗120之间形成一排液通道，所述排液通道在所述外层漏斗管114远离所述外层漏斗本体112的一端处具有一狭缝。所述狭缝距所述外层漏斗管114远离所述外层漏斗本体112的一端的距离小于等于所述外层漏斗管114长度的二分之一，优选的，所述狭缝距所述外层漏斗管114远离所述外层漏斗本体112的一端的距离小于等于所述外层漏斗管114长度的四分之一，或者，所述狭缝到所述外层漏斗管114底部的距离也可以根据实际情况进行选择，例如根据需要使用双层漏斗添加液体的容器的加液部的尺寸来确定。所述狭缝的长度为1mm～3mm，例如1mm、2mm或3mm，所述狭缝的长度也可以根据实际双层漏斗的尺寸来确定。本实施例中，在所述外层漏斗管114远离所述外层漏斗本体112的一端处，所述外层漏斗管114的外壁设置为内凹结构。在其他实施例中，所述内层漏斗管124的外壁可以设置为外凸结构，或者在所述外层漏斗管114的内壁上设置一凸起，或者在所述内层漏斗管124的外壁上设置一凸起，也可以为本领域技术人员已知的其他结构，使所述排液通道在所述外层漏斗管114远离所述外层漏斗本体112的一端处形成一狭缝。流体力学原理为：液体从粗管流向细管时，流速加快；从细管流向粗管时，流速减慢。根据这一理论，当所述外层漏斗管114内的液体从底部流经狭缝时，相当于从粗管流向细管，液体的流速会加快。所述外层漏斗管114要伸入容器的加液部中，但同时所述内层漏斗管124不能接触所述加液部的底部。并且一般情况下所述加液部包括第一管与第二管，所述第一管与第二管垂直设置为L形，所述第一管的上表面高于所述第二管的上表面，所述双层漏斗上狭缝的位置要低于所述第一管的上表面，但是不低于所述第二管的上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双层漏斗，其特征在于，包括外层漏斗以及内层漏斗，所述外层漏斗包括外层漏斗本体和外层漏斗管，所述内层漏斗包括内层漏斗本体和内层漏斗管，所述外层漏斗本体与外层漏斗管相连通，所述内层漏斗本体与内层漏斗管相连通，所述外层漏斗嵌套在所述内层漏斗外，在所述外层漏斗和所述内层漏斗之间形成一排液通道，所述排液通道在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处具有一狭缝。

【技术特征摘要】
1.一种双层漏斗，其特征在于，包括外层漏斗以及内层漏斗，所述外层漏斗包括外层漏斗本体和外层漏斗管，所述内层漏斗包括内层漏斗本体和内层漏斗管，所述外层漏斗本体与外层漏斗管相连通，所述内层漏斗本体与内层漏斗管相连通，所述外层漏斗嵌套在所述内层漏斗外，在所述外层漏斗和所述内层漏斗之间形成一排液通道，所述排液通道在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处具有一狭缝。2.如权利要求1所述的双层漏斗，其特征在于，所述狭缝距所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端的距离小于等于所述外层漏斗管长度的二分之一。3.如权利要求2所述的双层漏斗，其特征在于，所述狭缝距所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端的距离小于等于所述外层漏斗管长度的四分之一。4.如权利要求1所述的双层漏斗，其特征在于，所述狭缝的长度为1mm～3mm。5.如权利要求1所述的双层漏斗，其特征在于，在所述外层漏斗管远离所述外层漏斗本体的一端处，所述外层漏斗管的外壁设置为内凹结构。6.如权利要求1所述的双层漏斗，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：李超，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12