用于载具平整度测量的夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及用于载具平整度测量的夹具。所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。因此，只要载具能穿过夹具即表示载具平整度合格，极大提高了测量效率并降低了误判率。

Fixture for measuring flatness of carrier

The utility model relates to a fixture for measuring the flatness of a carrier. The clamp comprises a body having a detection channel, wherein the body has a smooth plane forming the bottom surface of the detection channel and a first inner wall and a second inner wall constituting the side of the detection channel, and the distance between the first inner wall and the second inner wall is defined as that of the detection channel. Width, the height of the first or second inner wall is defined as the height of the detection channel; when the carrier passes along the detection channel, the surface to be measured of the carrier is attached to the smooth plane; the width of the detection channel is not less than the width of the carrier and the height of the detection channel. It is not less than the thickness of the carrier and not greater than the sum of the thickness of the carrier and the maximum tolerance value of the thickness of the carrier. Therefore, as long as the tool can pass through the clamp, it means that the flatness of the tool is qualified, which greatly improves the measuring efficiency and reduces the misjudgment rate.

【技术实现步骤摘要】
用于载具平整度测量的夹具
本申请涉及半导体封装
，特别是涉及用于半导体封装的载具平整度测量的夹具。
技术介绍
载具越来越多的应用在半导体封装的覆晶键合、金线键合的一层超薄基板、溅镀工艺等封装站别中。这些工艺在生产过程中对载具的平整度有比较高的要求。载具平整度在生产时的管控是一个棘手的问题。现行的对载具进行测量的方法是采用高度规，测试载具上五点，若五点的高度均在载具公差范围内，说明载具的平整度合格。这种测量方法误判率高，而且测量效率不佳。
技术实现思路
本技术的目的之一在于提供用于载具平整度测量的夹具，其可有效解决在现有的采用高度规和五点法测量引起误判率高和测量效率低的技术问题。本技术实施例提供了一种用于载具平整度测量的夹具，所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。本技术实施例提供的用于载具平整度测量的夹具相对于现有技术而言，由于采用检测通道设计，通过设计检测通道的高度，只要将载具的待测面与夹具中的光滑平面贴合且能使载具穿过检测通道，即可判定载具的待测面的平整度合格，极大提高了测量效率并降低了误判率。附图说明图1所示是现有技术的载具的结构示意图。图2所示是本技术一实施例的夹具的斜视结构示意图。图3所示是本技术一实施例的夹具的俯视结构示意图。图4所示是本技术一实施例的夹具的侧视结构示意图。图5所示是本技术一实施例的载具穿入夹具中的结构示意图。具体实施方式为更好的理解本技术的精神，以下结合本技术的部分优选实施例对其作进一步说明。如图1所示，为现有技术中一种载具1的结构示意图。载具1包括待测面10，该待测面10设有工作区12、定位销13和通孔11，多个定位销13设置于工作区12的一相对侧，通孔11设置于工作区12的另一相对侧，便于拿取作业。如图2-5所示，本技术一实施例提供了一种用于载具平整度测量的夹具2的结构示意图。夹具1包括本体21，本体21中具有检测通道210，其中本体21内具有构成该检测通道210的底面的光滑平面213以及构成检测通道210的侧面的第一内侧壁211和第二内侧壁212，第一内侧壁211与第二内侧壁212之间的距离定义为检测通道210的宽度，第一内侧壁211或者第二内侧壁212的高度定义为检测通道210的高度，其中，检测通道210的宽度不小于载具1的宽度，检测通道210的高度不小于载具1的厚度且不大于载具1的厚度与载具1的厚度的最大容忍公差值之和。当载具1沿着检测通道210通过时，载具1的待测面10贴合于光滑平面213，这样，若载具1能穿过夹具2的检测通道210，那么，可判断该载具1的平整度合格；若载具1不能穿过夹具2的检测通道210，可判断该载具1的平整度不合格。从而，可以极大地提高测量效率并降低测量的误判率，而且方便实用。在本技术一实施例中，该检测通道210的顶面具有中间开口，该中间开口使该检测通道210形成第一部分顶面和第二部分顶面，本体21具有构成该第一部分顶面的第一配合部2141和构成第二部分顶面的第二配合部2142，其中第一配合部2141的下表面与该检测通道210的底面即光滑平面213的距离即为该第一内侧壁的高度，第二配合部2142的下表面与该检测通道210的底面即光滑平面213的距离即为第二内侧壁的高度。优选地，第一内侧壁的高度与第二内侧壁的高度相同。在本技术另一实施例中，图2中的第一配合部2141和第二配合部2142可以形成为一整体的顶面配合部，而无需具有中间开口。于此实施例中，该顶面配合部的下表面构成检测通道的顶面并与检测通道210的底面213相对；该顶面配合部的下表面与检测通道的底面213的距离即为第一内侧壁的高度或者第二内侧壁的高度。在本技术一实施例中，该检测通道210的光滑平面213内设有凹槽2131，当载具1沿着该检测通道210通过时，该凹槽2131用于容纳载具1上的定位销13并使定位销13通过。具体地，对于载具1，光滑平面213内可设有两个平行的凹槽2131，两个凹槽2131将光滑平面213分割为3个平面区域，即左侧光滑平面、中间光滑平面和右侧光滑平面，其中，上述三个光滑平面位于同一水平面。此外，位于载具1的工作区12一侧的一个定位销13可容纳于其中一个凹槽2131中，位于载具1的工作区12另一侧的两个定位销13可容纳于另一凹槽2131中。此外，定位销13的高度小于凹槽2131的深度。需注意的是，凹槽2131的数量和形状并不限定于图中所示，可以根据实际情况中的定位销的分布位置、形状、高度进行具体选择。在本技术另一实施例中，本体21进一步包括具有位于该检测通道210的端口处的内凹开口215。该内凹开口215为弧形缺口。该内凹开口215可以位于该检测通道210的两端，也可以只位于检测通道210的其中一端。当载具1的长度与夹具1的长度相近时，该内凹开口215可以方便工作人员将载具1从夹具2中穿出，方便操作。该内凹开口215的形状并不限于以上所述，也可以为其他方便工作人员操作的形状，这里不再一一赘述。在本技术另一实施例中，本体21进一步包括高度调节构件216，该高度调节构件216用于调整所述检测通道210的顶面和底面的距离从而调节检测通道210的高度。具体地，该高度调节构件216可以为(但不限于)螺栓。通过对检测通道的高度216的调节，可以实现对不同厚度的载具的平整度测试，提高了夹具的通用化程度。在本技术另一实施例中，该夹具的本体21可以为(但不限于)不锈钢。综上所述，通过采用检测通道设计并确定检测通道的高度，只要将载具的待测平面与夹具中的光滑平面贴合且能使载具穿过检测通道，即可判定载具的待测面的平整度合格，极大提高了测量效率并降低了误判率，方便实用。本技术的
技术实现思路
及技术特点已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本技术的教示及揭示而作种种不背离本技术精神的替换及修饰。因此，本技术的保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本技术的替换及修饰，并为本专利申请权利要求书所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于载具平整度测量的夹具，所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。

【技术特征摘要】
1.一种用于载具平整度测量的夹具，所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。2.如权利要求1所述的夹具，其中所述检测通道的顶面具有中间开口，所述中间开口使所述检测通道形成第一部分顶面和第二部分顶面，所述本体具有构成所述第一部分顶面的第一配合部和构成所述第二部分顶面的第二配合部；所述第一配合部的下表面与所述检测通道底面的距离即为所述第一内侧壁的高度，所述第二配合部的下表面与所述检测通道底面的距离...

【专利技术属性】
技术研发人员：周猛，赵冬冬，
申请(专利权)人：苏州日月新半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32