供给液体制造装置及供给液体制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体的供给液体制造装置。供给液体制造装置具备：将水与臭氧气体混合而生成臭氧水的混合器(113)；使向混合器(113)供给的水升压的升压泵(112)；将由混合器(113)生成的臭氧水气液分离成向使用点(119)供给的臭氧水和从排气口(125)排出的排出气体的气液分离箱(114)；对从气液分离箱(114)向使用点(119)供给的臭氧水的流量进行测定的流量计(117)；根据由流量计(117)测定的臭氧水的流量，控制升压泵(112)，对升压并供给至混合器(113)的水的压力(流量)进行调整的流量控制部(126)；以及以将气液分离箱(114)内的水位保持为恒定的方式控制排出气体的排气压力的排气压力控制部(123)。

Supply liquid manufacturing device and supply liquid manufacturing method

The invention provides a supply liquid manufacturing device capable of manufacturing a supply liquid corresponding to the amount necessary for the use point. A liquid supply manufacturing device is provided with a mixer (113) for mixing water with ozone gas to produce ozone water; a boost pump (112) for pressurizing the water supplied to the mixer (113); and a gas-liquid fraction of the ozone water generated by the mixer (113) to separate the ozone water supplied to the use point (119) from the exhaust gas discharged from the exhaust port (125). Out of the tank (114); a flowmeter (117) for measuring the flow rate of ozone water supplied from the gas-liquid separation tank (114) to the use point (119); a boost pump (112) for controlling the flow rate of ozone water determined by the flowmeter (117), a flow control system (126) for adjusting the pressure (flow rate) of the water supplied to the mixer (113) for boosting and feeding to the mixer (113); and The exhaust pressure control unit (123) controls the exhaust pressure of the exhaust gas by keeping the water level in the gas-liquid separation tank (114) constant.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】供给液体制造装置及供给液体制造方法
本专利技术涉及将第一原料与第二原料混合而制造供给液体的供给液体制造装置。
技术介绍
近年来，伴随制造工艺的复杂化、电路图案的细微化，半导体设备工厂、液晶等电子部件制造工厂的制品的清洗工艺逐步提高。例如，使用在功能水(超纯水等)中溶解了高纯度的气体或溶解了高纯度气体和药品的特殊的液体(称为清洗液)，去除附着于硅晶片的微粒子、金属、有机物等。作为清洗处理方式，除了重复同时浸渍多个硅晶片及对多个硅晶片清洗的操作的“批量处理方式”以外，还采用与多品种少量生产的制品对应而对每一个晶片进行药品清洗及超纯水清洗的“单晶片处理方式”。单晶片处理方式与批量处理方式相比，每个晶片的清洗工序时间(单件工时)较长，清洗液的使用量较多，因此有缩短单件工时及降低清洗液使用量的需求。现在，为了在短时间的有效的清洗及降低清洗液使用量，单独或同时使用多个功能水以及药品，进行以短时间切换清洗工序的高级的清洗工艺。作为功能水，例如使用在超纯水中溶解了臭氧气体的臭氧水。溶解于超纯水的臭氧即使是低浓度(几ppm)，氧化力也非常强，因此能够进行有机物、金属的去除。该臭氧水一般由臭氧水制造装置制造。伴随清洗工艺的提高及复杂化，要求在短时间内的臭氧水向清洗装置的供给及停止，但现有的装置一旦停止臭氧水的制造，则直到能够再次供给要求臭氧浓度及要求流量的臭氧水为止需要一定的时间(启动时间)。因此，为了对应向清洗装置的臭氧水的供给要求，由臭氧水制造装置始终制造臭氧水，连续地向清洗装置供给。其结果是，向清洗装置供给过量的臭氧水，硅晶片的清洗所未使用的未使用的臭氧水作为排水从清洗装置排出。因此，以往提出一种循环式的臭氧水供给装置(参照专利文献1)，与使用点的臭氧水的使用量无关，能够供给恒定浓度及恒定压力的臭氧水并且能够再利用未使用的臭氧水。在以往的循环式的臭氧水供给装置中，如图6所示，将水和臭氧气体向臭氧溶解槽12供给来生成臭氧水，将臭氧水从臭氧溶解槽12向循环槽21供给，从循环槽21经由臭氧水送水配管22向使用点供给，使在使用点未消耗的臭氧水经由臭氧水返回配管23返回循环槽21，再次从循环槽21向使用点供给臭氧水。并且，臭氧溶解槽12的槽内压力、循环槽21的槽内压力、臭氧水返回配管23的管内压力分别维持为恒定，循环槽21的槽内压力被控制为低于臭氧溶解槽12的槽内压力及臭氧水返回配管23的管内压力的各压力。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014－117628号公报专利技术的概要专利技术要解决的问题然而，以往的臭氧水供给装置是使再利用的臭氧水(未使用的臭氧水)循环的循环式，需要采取对于臭氧水(未使用的臭氧水)的循环导致的臭氧水的温度上升、发生污染的对策。因此，希望开发制造与使用点所必需的量对应的臭氧水的技术。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述课题而完成的，其目的之一在于提供一种供给液体制造装置，能够无需采用对于循环导致的供给液体(例如臭氧水等)的温度上升、发生污染的对策，或者至少使其必要性降低，制造与使用点所必需要的量对应的供给液体。更具体而言，本专利技术的目的之一在于提供一种供给液体制造装置，能够向使用点供给恒定流量或恒定压力并且恒定浓度的供给液体。用于解决课题的手段本专利技术的供给液体制造装置具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；阀，该阀调整开度，以决定所述排出气体的排出量；流量测定部，该流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；以及流量控制部，该流量控制部接收由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量值，生成根据接收的流量值来控制所述泵部的控制信号，将该控制信号向泵部发送来控制泵，从而对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行调整。根据该结构，在进行了气液分离后对向使用点供给的液体(供给液体)的流量进行测定，因此实质上不受混合第一原料与第二原料而产生的气体(排出气体)的气泡的影响，能够准确地测定供给液体的流量。并且，接收由流量测定部测定的所述供给液体的流量值，生成根据接收的流量值来控制所述泵部的控制信号，将该控制信号向泵部发送来控制泵，从而根据这样测定的供给液体的流量来调整第一原料的流量，因此能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体(例如臭氧水等)。另外，本专利技术的供给液体制造装置也可以具备第二流量测定部，该第二流量测定部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行测定，由所述流量控制部进行如下反馈控制：使由所述第二流量测定部测定的所述第一原料的流量与由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量一致。根据该结构，对第一原料的流量进行监控，在从所希望的流量偏离时修正流量，因此能够进行泵的反馈控制。另外，本专利技术的供给液体制造装置也可以具备流量控制器，该流量控制器决定所述第二原料的流量，根据由所述第二流量测定部测定的所述第一原料的流量，由所述流量控制器调整第二原料的生成量。根据该结构，以得到目标的浓度的供给液体的方式，预先求出第一原料与第二原料的流量的关系，能够根据第一原料的流量来使第二原料流动。本专利技术的供给液体制造装置具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；升压泵部，该升压泵部对向所述混合部供给的所述第一原料进行升压；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；流量测定部，该流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；以及升压控制部，该升压控制部根据由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量，控制所述升压泵部，对升压并供给至所述混合部的所述第一原料的压力进行调整；以及排气压力控制部，该排气压力控制部控制所述排出气体的排气压力，以将所述气液分离箱部内的液体量保持为恒定。根据该结构，在进行了气液分离后对向使用点供给的液体(供给液体)的流量进行测定，因此实质上不受混合第一原料与第二原料而产生的气体(排出气体)的气泡的影响，能够准确地测定供给液体的流量。并且，根据这样测定的供给液体的流量来调整第一原料(升压并供给至混合部)的压力，并且控制排出气体的排气压力将气液分离箱部内的液体量保持为恒定。由此，能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体(例如臭氧水等)。另外，本专利技术的供给液体制造装置也可以具备液体量调整部，该液体量调整部用于将所述气液分离箱部内的液体量调整为恒定。根据该结构，能够将气液分离箱部内的液体量保持为恒定，能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体(例如臭氧水等)。另外，在本专利技术的供给液体制造装置中，所述液体量调整部也可以包含对所述气液分离箱部内的液体量进行测定的液体量测定部。根据该结构，由液体量测定部对气液分离箱部内的液体量进行测定，能够将气液分离箱部内的液体量保持为恒定，能够制造与使用点所必需的量对应的供给液体(例如臭氧水等)。另外，在本专利技术的供给液体制造装置中，所述液体量调整部也可以包含：所述流量测定部；以及对向所述混合部供给的液体的流量进行测定的第二流量测定部。根据该结构，对向混合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；阀，该阀调整开度，以决定所述排出气体的排出量；流量测定部，该流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；以及流量控制部，该流量控制部接收由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量值，生成根据接收到的流量值来控制所述泵部的控制信号，将该控制信号向泵部发送来控制泵，从而对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行调整。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.01.15 JP 2016-005814;2017.01.10 JP 2017-001731.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；阀，该阀调整开度，以决定所述排出气体的排出量；流量测定部，该流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；以及流量控制部，该流量控制部接收由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量值，生成根据接收到的流量值来控制所述泵部的控制信号，将该控制信号向泵部发送来控制泵，从而对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行调整。2.根据权利要求1所述的供给液体制造装置，其特征在于，具备第二流量测定部，该第二流量测定部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行测定，由所述流量控制部进行如下反馈控制：使由所述第二流量测定部测定的所述第一原料的流量与由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量一致。3.根据权利要求2所述的供给液体制造装置，其特征在于，具备流量控制器，该流量控制器决定所述第二原料的流量，根据由所述第二流量测定部测定的所述第一原料的流量，由所述流量控制器调整第二原料的生成量。4.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；升压泵部，该升压泵部对向所述混合部供给的所述第一原料进行升压；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；流量测定部，该流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；升压控制部，该升压控制部根据由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量，控制所述升压泵部，对升压并供给至所述混合部的所述第一原料的压力进行调整；以及排气压力控制部，该排气压力控制部控制所述排出气体的排气压力，以将所述气液分离箱部内的液体量保持为恒定。5.根据权利要求4所述的供给液体制造装置，其特征在于，具备液体量调整部，该液体量调整部用于将所述气液分离箱部内的液体量调整为恒定。6.根据权利要求4或5所述的供给液体制造装置，其特征在于，所述第一原料是水，所述第二原料是臭氧气体或化学原料。7.一种供给液体制造方法，其特征在于，包含如下步骤：由升压泵部对第一原料进行升压并向混合部供给的步骤；由所述混合部混合所述第一原料与第二原料而生成混合液体的步骤；由气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体的步骤；对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定的步骤；根据测定的所述供给液体的流量，控制所述升压泵部，对升压并供给至所述混合部的所述第一原料的压力进行调整的步骤；以及控制所述排出气体的排气压力以将所述气液分离箱部内的液体量保持为恒定的步骤。8.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体；第一流量测定部，该第一流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定；排气阀，该排气阀对从所述排气口排出的所述排出气体的排出量进行调整；以及排气控制部，该排气控制部根据由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量，控制所述排气阀，对从所述排气口排出的所述排出气体的排出量进行调整，以将向所述使用点供给的所述供给液体的流量保持为恒定流量，在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比增加的情况下，所述排气控制部使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量增加，在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比减少的情况下，所述排气控制部使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量减少。9.根据权利要求8所述的供给液体制造装置，其特征在于，具备流量控制部，该流量控制部根据由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量，控制所述泵部，对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行调整，所述流量控制部进行控制，以使得由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与向所述混合部供给的所述第一原料的流量相等。10.根据权利要求9所述的供给液体制造装置，其特征在于，具备第二流量测定部，该第二流量测定部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行测定。11.根据权利要求9所述的供给液体制造装置，其特征在于，具备液体量测定部，该液体量测定部检测所述气液分离箱部内的液体量，在由所述液体量测定部测定的所述气液分离箱部内的液体量与规定的液体量相比增加的情况下，所述升压控制部减少向所述混合部供给的所述第一原料的流量，在由所述液体量测定部测定的所述气液分离箱部内的液体量与规定的液体量相比减少的情况下，所述升压控制部增加向所述混合部供给的所述第一原料的流量。12.一种供给液体制造方法，其特征在于，包含如下步骤：由混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体的步骤；由气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气口排出的排出气体的步骤；由第一流量测定部对从所述气液分离箱部向所述使用点供给的所述供给液体的流量进行测定的步骤；以及根据由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量，由排气阀对从所述排气口排出的所述排出气体的排出量进行调整，以将向所述使用点供给的所述供给液体的流量保持为恒定流量的步骤，在对所述排出气体的排出量进行调整的步骤中，在由所述第一流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比增加的情况下，使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量增加，在由所述流量测定部测定的所述供给液体的流量与所述恒定流量相比减少的情况下，使从所述排气口排出的所述排出气体的排出量减少。13.一种供给液体制造装置，其特征在于，具备：混合部，该混合部混合第一原料与第二原料而生成混合液体；泵部，该泵部对向所述混合部供给的所述第一原料的流量进行变更；气液分离箱部，该气液分离箱部将由所述混合部生成的所述混合液体气液分离成向使用点供给的供给液体和从排气...

【专利技术属性】
技术研发人员：小泽卓，中川洋一，高桥宗人，徐涛，横山俊夫，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP