高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统技术方案

高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，包括压盖、连接座、滑动套、固定套、挡水圈、上盘固定座、上盘、浮动组件、测量组件、上盘旋转固定组件、减速电机、中心轴、固定座、小轴和气缸；所述气缸固定在固定座上，所述气缸与小轴相连接，所述小轴通过连接座、压盖以及轴承与中心轴相连接，所述固定座安装在减速电机上侧，所述中心轴通过减速电机中心部分并通过减速电机驱动中心轴的运转；所述固定套安装在上盘旋转固定组件上，所述滑动套安装在固定套内，与中心轴相连接；所述浮动组件固定在中心轴上；所述测量组件安装在中心轴上。本发明专利技术工作过程中能对被研磨工件的研磨厚度和加工后厚度进行时时监控，防止去除量过多或不足的情况，提高效率和良率。

Direct drive pressure and detection system for high precision grinding machine

The direct drive pressure and detection system for the upper disk of high precision grinding machine includes a pressure cover, a connecting seat, a sliding sleeve, a fixing sleeve, a water retaining ring, a fixing seat on the upper disk, an upper disk, a floating assembly, a measuring assembly, a rotating fixing assembly on the upper disk, a decelerating motor, a central shaft, a fixing seat, a small shaft and a cylinder; the cylinder is fixed on a fixing seat, and the cylinder is fixed on the fixed seat. The cylinder is connected with a small shaft. The small shaft is connected with a central shaft through a connecting seat, a pressure cover and a bearing. The fixed seat is mounted on the upper side of the deceleration motor. The central shaft is driven by the central part of the deceleration motor and operates through the central part of the deceleration motor. The sliding sleeve is installed in the fixing sleeve and connected with the central shaft; the floating component is fixed on the central shaft; and the measuring component is installed on the central shaft. The grinding thickness and the processed thickness of the grinded workpiece can be monitored from time to time during the working process of the invention, so as to prevent excessive or insufficient removal and improve efficiency and yield.

【技术实现步骤摘要】
高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统
本专利技术涉及一种高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统。
技术介绍
研磨机作为一种抛光设备，在2D、2.5D玻璃、蓝宝石、陶瓷、金属以及其它硬、脆材料的表面加工中广泛应用；上盘装置最为研磨机重要组成部分，如何驱动，如何加压、如何检测成为研磨机设计的一个重要环节。目前，由于设计上存在的不足，还没有一种高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，包括压盖、连接座、滑动套、固定套、挡水圈、上盘固定座、上盘、浮动组件、测量组件、上盘旋转固定组件、减速电机、中心轴、固定座、小轴和气缸；所述气缸固定在固定座上，所述气缸与小轴相连接，所述小轴通过连接座、压盖以及轴承与中心轴相连接，所述固定座安装在减速电机上侧，所述中心轴通过减速电机中心部分并通过减速电机驱动中心轴的运转；所述固定套安装在上盘旋转固定组件上，所述滑动套安装在固定套内，与中心轴相连接；所述浮动组件固定在中心轴上；所述测量组件安装在中心轴上。进一步，所述气缸通过气缸安装板固定在固定座上。进一步，还设有防转杆，所述防转杆安装在小轴上，防止工作过程中气缸活塞杆的旋转。进一步，所述滑动套通过轴承及紧固件与中心轴相连接。进一步，所述浮动组件与上盘固定座连接。进一步，所述浮动组件通过连接件与上盘固定座连接。该系统中，气缸通过气缸安装板固定在固定座上，气缸上连接有小轴，小轴通过连接座、压盖以及轴承实现与中心轴之间的连接并利用防转杆防止工作过程中气缸活塞杆的旋转，固定座安装在减速电机上侧，中心轴通过减速电机中心部分并通过减速电机驱动中心轴的运转；连接座与中心轴连接，加压过程中气缸带动中心轴上下运动利用滑动套与固定套之间的配合实现上盘加压过程和上盘升降过程中的导向，固定套安装在上盘旋转固定组件上；工作过程中，砂液通过抛光液入口进入，通过挡水圈导入并通过上盘固定座和上盘流下与配加工工件接触实现砂液与工件的接触研磨；浮动组件固定在中心轴上并与上盘固定座连接，可以实现抛光过程中上盘的偏摆，可以有效的保证被加工工件厚度的一致性；测量组件安装在中心轴上，工作过程中能对被研磨工件的研磨厚度和加工后厚度进行时时监控，防止去除量过多或不足的情况，提高效率和良率。本专利技术的有益效果：1.该机构采用上盘自主直驱的方式，加压采用气缸加压；2.上盘加装有浮动组件工作过程中可以实现浮动偏摆，可以有效的保证加工过程中工件厚度的一致性；同时上盘加装有测量组件，可以对加工过程中工件的去除量和工件的有效厚度进行时时检测；3.该结构简单紧凑，精度高。附图说明图1为本专利技术实施例的结构示意图；图中：1.气缸安装板，2.防转杆，3.压盖，4.连接座，5.滑动套，6.固定套，7.挡水圈，8.上盘固定座，9.上盘，10.浮动组件，11.测量组件，12.上盘旋转固定组件，13.减速电机，14.中心轴，15.固定座，16.小轴，17.气缸。具体实施方式以下结合附图及实施例对本专利技术作进一步说明。参照图1，一种高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，包括气缸安装板1、防转杆2、压盖3、连接座4、滑动套5、固定套6、挡水圈7、上盘固定座8、上盘9、浮动组件10、测量组件11、上盘旋转固定组件12、减速电机13、中心轴14、固定座15、小轴16和气缸17；所述气缸17通过气缸安装板1固定在固定座15上，所述气缸17与小轴16相连接，所述小轴16通过连接座4、压盖3以及轴承与中心轴14相连接，所述防转杆2安装在小轴16上，防止工作过程中气缸活塞杆的旋转，所述固定座15安装在减速电机13上侧，所述中心轴14通过减速电机13中心部分并通过减速电机13驱动中心轴14的运转；所述固定套6安装在上盘旋转固定组件12上，所述滑动套5安装在固定套6内，滑动套5通过轴承及紧固件与中心轴14相连接；所述浮动组件10固定在中心轴14上，并与上盘固定座8连接；所述测量组件11安装在中心轴14上。本实施例中，所述浮动组件10固定在中心轴14上，并与上盘固定座8连接，可以实现抛光过程中上盘9的偏摆，可以有效的保证被加工工件厚度的一致性。本实施例中，所述测量组件11安装在中心轴14上，工作过程中能对被研磨工件的研磨厚度和加工后厚度进行时时监控，防止去除量过多或不足的情况，提高效率和良率。本专利技术的特点是：上盘9的旋转通过减速电机13直接连接驱动，上盘9对工件的加压采用气缸17实现，工作过程中工件的研磨去除量通过测量组件11进行时时监控。加压过程中，气缸17带动中心轴14上下运动利用滑动套5与固定套6之间的配合实现上盘加压过程和上盘升降过程中的导向。工作过程中，砂液通过抛光液入口进入，通过挡水圈7导入并通过上盘固定座8和上盘9流下与配加工工件接触实现砂液与工件的接触研磨。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，其特征在于：包括压盖、连接座、滑动套、固定套、挡水圈、上盘固定座、上盘、浮动组件、测量组件、上盘旋转固定组件、减速电机、中心轴、固定座、小轴和气缸；所述气缸固定在固定座上，所述气缸与小轴相连接，所述小轴通过连接座、压盖以及轴承与中心轴相连接，所述固定座安装在减速电机上侧，所述中心轴通过减速电机中心部分并通过减速电机驱动中心轴的运转；所述固定套安装在上盘旋转固定组件上，所述滑动套安装在固定套内，与中心轴相连接；所述浮动组件固定在中心轴上；所述测量组件安装在中心轴上。

【技术特征摘要】
1.高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，其特征在于：包括压盖、连接座、滑动套、固定套、挡水圈、上盘固定座、上盘、浮动组件、测量组件、上盘旋转固定组件、减速电机、中心轴、固定座、小轴和气缸；所述气缸固定在固定座上，所述气缸与小轴相连接，所述小轴通过连接座、压盖以及轴承与中心轴相连接，所述固定座安装在减速电机上侧，所述中心轴通过减速电机中心部分并通过减速电机驱动中心轴的运转；所述固定套安装在上盘旋转固定组件上，所述滑动套安装在固定套内，与中心轴相连接；所述浮动组件固定在中心轴上；所述测量组件安装在中心轴上。2.根据权利要求1所述的高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，其特征在于：所述气缸通过气缸安装板固定在固定座上。3.根据权利要求1或2所述的高精密研磨机上盘直驱加压与检测系统，其特征在于：还设有防转杆，所述防转杆安装在小轴上，防止工作过程中气缸活塞杆的旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴瑜兴，杨佳葳，龚涛，谢俊，
申请(专利权)人：湖南宇晶机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43