一种易清洁的硅片研磨台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台，所述研磨台的内部开设空腔，空腔内安装环板，所述环板的内侧壁围绕轴线设置齿块，所述研磨台的底部嵌入安装电机，电机的转轴伸入空腔的内部，且转轴的端部固定套设齿轮，所述齿轮与齿块啮合接触，所述环板上垂直设有管道连接装置，所述管道连接装置包括中空管、通孔、微型轴承和内螺纹管，所述中空管垂直于环板设置。本实用新型专利技术结构合理，使用方便，主要是对研磨台进行内部结构的改进，将研磨台的边侧开设空腔，安装可以旋转的环板，借助环板上的内螺纹管螺纹安装吹风管或者喷淋管，进而对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，提高了研磨台的清洁效率。

An easy cleaning wafer grinding table

The utility model relates to a silicon wafer grinding table which is easy to clean, including a grinding table, in which a cavity is arranged and a ring plate is installed. The inner wall of the ring plate is provided with a gear block around the axis, the bottom of the grinding table is embedded with a motor, the rotating shaft of the motor extends into the inside of the cavity, and the end of the rotating shaft is fixed. The ring plate is vertically provided with a pipeline connecting device. The pipeline connecting device comprises a hollow pipe, a through hole, a micro bearing and an inner thread pipe. The hollow pipe is vertically arranged on the ring plate. The utility model has the advantages of reasonable structure and convenient use, mainly improving the internal structure of the grinding table, opening a cavity on the side of the grinding table, installing a rotating ring plate, installing a blower pipe or a spray pipe with the help of the internal threaded pipe threads on the ring plate, and then cleaning the grinding table by blowing ash and chips or spraying, thus improving the grinding table. The cleaning efficiency of the grinding table.

【技术实现步骤摘要】
一种易清洁的硅片研磨台
本技术涉及研磨设备领域，具体是涉及一种易清洁的硅片研磨台。
技术介绍
现有的硅片研磨台缺少清洁装置，使得硅片研磨之后，还需要人员进行台面清洁处理，非常的不便，清洁效率低，容易产生遗留。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有技术硅片研磨机清洁效率低的缺陷，提供一种易清洁的硅片研磨台。为解决上述技术问题，本技术提供以下技术方案：一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台，所述研磨台的内部开设空腔，空腔内安装环板，所述环板的内侧壁围绕轴线设置齿块，所述研磨台的底部嵌入安装电机，电机的转轴伸入空腔的内部，且转轴的端部固定套设齿轮，所述齿轮与齿块啮合接触，所述环板上垂直设有管道连接装置，所述管道连接装置包括中空管、通孔、微型轴承和内螺纹管，所述中空管垂直于环板设置，中空管的管体由上到下间隔开设通孔，所述中空管的上端固定安装微型轴承，所述微型轴承的外圈与中空管的内侧壁固定连接，微型轴承的内圈固定插入内螺纹管。进一步的，所述研磨台的空腔底部围绕环板的轴线开设槽孔，所述环板的下侧面围绕轴线开设与槽孔位置对应的环形槽，每个所述的槽孔内安装滚珠，滚珠与环形槽的槽底接触。进一步的，所述环板的外侧开设环形导向槽，所述研磨台的空腔侧壁凸出设有稳定片，稳定片插入环形导向槽的内部。进一步的，所述环板的上侧面围绕轴线垂直设置立柱，所有的所述立柱的上端与中空管的外侧壁共同固定密封环板，密封环板与研磨台的空腔腔口契合接触。本技术与现有技术相比具有的有益效果是：一种易清洁的硅片研磨台，结构合理，使用方便，主要是对研磨台进行内部结构的改进，将研磨台的边侧开设空腔，安装可以旋转的环板，借助环板上的内螺纹管螺纹安装吹风管或者喷淋管，进而对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，提高了研磨台的清洁效率。附图说明图1为本技术一种易清洁的硅片研磨台齿轮与齿块啮合结构示意图；图2为本技术一种易清洁的硅片研磨台密封环板安装结构示意图；图3为本技术一种易清洁的硅片研磨台滚珠安装结构示意图；图4为本技术一种易清洁的硅片研磨台管道连接装置侧视结构示意图。图中标号为：1-研磨台；2-环板；3-齿块；4-电机；5-转轴；6-齿轮；7-连接装置；701-中空管；702-通孔；703-微型轴承；704-内螺纹管；8-槽孔；9-环形槽；10-滚珠；11-环形导向槽；12-稳定片；13-密封环板。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。参照图1至图4可知：一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台1，所述研磨台1的内部开设空腔，空腔内安装环板2，所述环板2的内侧壁围绕轴线设置齿块3，所述研磨台1的底部嵌入安装电机4，电机4的转轴5伸入空腔的内部，且转轴5的端部固定套设齿轮6，所述齿轮6与齿块3啮合接触，所述环板2上垂直设有管道连接装置7，所述管道连接装置7包括中空管701、通孔702、微型轴承703和内螺纹管704，所述中空管701垂直于环板2设置，中空管701的管体由上到下间隔开设通孔702，所述中空管701的上端固定安装微型轴承703，所述微型轴承703的外圈与中空管701的内侧壁固定连接，微型轴承703的内圈固定插入内螺纹管704。所述研磨台1的空腔底部围绕环板2的轴线开设槽孔8，所述环板2的下侧面围绕轴线开设与槽孔8位置对应的环形槽9，每个所述的槽孔8内安装滚珠10，滚珠10与环形槽9的槽底接触，便于环板2转动；所述环板2的外侧开设环形导向槽11，所述研磨台1的空腔侧壁凸出设有稳定片12，稳定片12插入环形导向槽11的内部，保持环板2转动的稳定；所述环板2的上侧面围绕轴线垂直设置立柱，所有的所述立柱的上端与中空管701的外侧壁共同固定密封环板13，密封环板13与研磨台1的空腔腔口契合接触，避免研磨碎屑进入空腔内。本技术的原理及优点：使用时，电机4的转轴5转动，由于齿轮6与齿块3啮合接触，环板2随之产生转动，且环板2的下侧面设置滚珠10，环板2转动摩擦小、声音小，由于所有的立柱上端与中空管701的外侧壁共同固定密封环板13，使得密封环板13也随之转动，环板2转动的时候，稳定片12插入环形导向槽11的内部，避免环板2因为研磨工作而上下振动，同时保持环板2转动时的稳定性，在内螺纹管704螺纹安装吹风管或者喷淋管，气体或者液体从通孔702喷出，环板2转动的时候，气体或者液体对研磨台进行灰、屑吹离或者喷淋清洗，而微型轴承703的内圈可在吹风管或者喷淋管转动的时候活动旋转，防止吹风管或者喷淋管转动的时候产生扭曲。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台(1)，其特征在于：所述研磨台(1)的内部开设空腔，空腔内安装环板(2)，所述环板(2)的内侧壁围绕轴线设置齿块(3)，所述研磨台(1)的底部嵌入安装电机(4)，电机(4)的转轴(5)伸入空腔的内部，且转轴(5)的端部固定套设齿轮(6)，所述齿轮(6)与齿块(3)啮合接触，所述环板(2)上垂直设有管道连接装置(7)，所述管道连接装置(7)包括中空管(701)、通孔(702)、微型轴承(703)和内螺纹管(704)，所述中空管(701)垂直于环板(2)设置，中空管(701)的管体由上到下间隔开设通孔(702)，所述中空管(701)的上端固定安装微型轴承(703)，所述微型轴承(703)的外圈与中空管(701)的内侧壁固定连接，微型轴承(703)的内圈固定插入内螺纹管(704)。

【技术特征摘要】
1.一种易清洁的硅片研磨台，包括研磨台(1)，其特征在于：所述研磨台(1)的内部开设空腔，空腔内安装环板(2)，所述环板(2)的内侧壁围绕轴线设置齿块(3)，所述研磨台(1)的底部嵌入安装电机(4)，电机(4)的转轴(5)伸入空腔的内部，且转轴(5)的端部固定套设齿轮(6)，所述齿轮(6)与齿块(3)啮合接触，所述环板(2)上垂直设有管道连接装置(7)，所述管道连接装置(7)包括中空管(701)、通孔(702)、微型轴承(703)和内螺纹管(704)，所述中空管(701)垂直于环板(2)设置，中空管(701)的管体由上到下间隔开设通孔(702)，所述中空管(701)的上端固定安装微型轴承(703)，所述微型轴承(703)的外圈与中空管(701)的内侧壁固定连接，微型轴承(703)的内圈固定插入内螺纹...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡林宝，
申请(专利权)人：浙江游星电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33