激光腔室及放电激励式气体激光器制造技术

本实用新型专利技术提供一种激光腔室及放电激励式气体激光器。其中，多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下，这样，即使在组装激光腔室时将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的安装，也能够使得预电离电极和主放电电极适当地进行放电，保证了激光器的性能。另外，容易进行存放预电离电容器和调峰电容器时的管理。

【技术实现步骤摘要】
激光腔室及放电激励式气体激光器
本技术涉及激光领域，尤其涉及一种激光腔室及放电激励式气体激光器。
技术介绍
在放电激励式气体激光装置中，激光腔室是主要的部件之一。激光腔室一般具有一对预电离电极以及一对预电离电容器、多个调峰电容器以及一对主放电电极，其中，一对预电离电容器与一对预电离电极分别电连接，一对主放电电极中的一个电极与多个调峰电容器连接。例如，专利文献1(JP2003-249703A)公开了类似的结构。应当注意，上面对
技术介绍
的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
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部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
本技术的专利技术人发现：在组装激光腔室时，存在将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的错误安装的可能，当预电离电容器与调峰电容器的电容值不同时，可能导致预电离电极和主放电电极无法适当地进行放电，从而影响激光器的性能。另外，在存放预电离电容器和调峰电容器以用于更换时，需要分开进行管理。为了解决上述问题，本技术提供一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室和放电激励式气体激光器，其中，多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下，这样，即使在组装激光腔室时将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的安装，也能够使得预电离电极和主放电电极适当地进行放电，保证了激光器的性能。另外，容易进行存放预电离电容器和调峰电容器时的管理。根据本技术实施例的第一方面，提供一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室，所述激光腔室包括：一对预电离电极；至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处根据本技术实施例的第二方面，其中，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在所述规定电容值的10％以下。根据本技术实施例的第三方面，其中，所述预电离电容器的电容值为100pF～250pF。根据本技术实施例的第四方面，其中，所述多个调峰电容器的电容值为100pF～250pF。根据本技术实施例的第五方面，其中，所述预电离电容器和所述多个调峰电容器是平行配置的。根据本技术实施例的第六方面，其中，所述预电离电容器和所述多个调峰电容器具有相同的直径和长度。根据本技术实施例的第七方面，提供一种放电激励式气体激光器，其具有激光腔室和电源，所述激光腔室具有：一对预电离电极；至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处，所述电源与所述预电离电容器和所述多个调峰电容器电连接。本技术的有益效果在于：由于多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下，这样，即使在组装激光腔室时将预电离电容器与调峰电容器彼此调换的安装，也能够使得预电离电极和主放电电极适当地进行放电，保证了激光器的性能。另外，容易进行存放预电离电容器和调峰电容器时的管理。参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明所包括的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是本技术实施例1的放电激励式气体激光器的一示意图；图2是本技术实施例1的放电激励式气体激光器内部结构的一示意图。具体实施方式参照附图，通过下面的说明，本技术的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本技术的特定实施方式，其表明了其中可以采用本技术的原则的部分实施方式，应了解的是，本技术不限于所描述的实施方式，相反，本技术包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。在本技术实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。“多个”或“多种”指的是至少两个或至少两种。实施例1图1是本技术实施例1的放电激励式气体激光器的一示意图，图2是本技术实施例1的放电激励式气体激光器内部结构的一示意图。如图1和图2所示，放电激励式气体激光器100具有激光腔室110和电源(未图示)，其中，激光腔室110具有：一对预电离电极111-1、111-2；至少一个预电离电容器112，其与一对预电离电极111-1、111-2中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器113，多个调峰电容器113中的任意一个调峰电容器与预电离电容器112之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极114，其与多个调峰电容器113电连接；以及第二放电电极115，其被设置在与第一放电电极114相对的位置处，电源与预电离电容器112和多个调峰电容器113电连接。在本实施例中，放电激励式气体激光器100还可以具有其他现有的部件，例如，如图1所示，放电激励式气体激光器100还具有：开关120、风扇130、热交换器140、电绝缘器150等。在本实施例中，该放电激励式气体激光器100的电源可以设置在激光腔室110的上部。在本实施例中，一对预电离电极111-1、111-2例如是外部预电离电极111-1和内部预电离电极111-2。在本实施例中，预电离电容器112的数量为至少一个，例如，如图2所示，预电离电容器112的数量为2个，其在Z方向上分别设置在多个调峰电容器113的两侧。在本实施例中，多个调峰电容器113可以相互平行的设置，其沿着Z方向进行排列。例如，如图2所示，多个调峰电容器113可以沿着Z方向排列为X方向上的两排。调峰电容器113的数量可以根据实际情况而确定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述激光腔室具有：一对预电离电极；至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处。

【技术特征摘要】
1.一种用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述激光腔室具有：一对预电离电极；至少一个预电离电容器，其与所述一对预电离电极中的一个预电离电极电连接；多个调峰电容器，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在规定电容值的20％以下；第一放电电极，其与所述多个调峰电容器电连接；以及第二放电电极，其被设置在与所述第一放电电极相对的位置处。2.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述多个调峰电容器中的任意一个调峰电容器与所述预电离电容器之间的电容差在所述规定电容值的10％以下。3.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，所述预电离电容器的电容值为100pF～250pF。4.根据权利要求1所述的用于放电激励式气体激光器的激光腔室，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：都丸仁，奈良久，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP