横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置制造方法及图纸

技术编号:12958805 阅读:197 留言:0更新日期:2016-03-03 02:10
本发明专利技术公开了一种横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置,包括:主电极支撑架、固定在主电极支撑架底部的阴极、分别位于阴极两端的两个预电离器、固定在主电极支撑架顶部的两端之间的阳极、设置在阳极中部之上的驱动器、连接在驱动器两端并由驱动器驱动的两个螺纹连接器、分别连接到两个螺纹连接器的两根螺杆、分别固定在阳极的两端上且分别与两根螺杆连接的两个调节座。本发明专利技术在原有电极结构的基础上,采用例如步进电机的驱动器驱动反向螺纹连接器通过螺杆拉紧或延展电极以达到调整电极的平面度、消除电极形变的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光器
,尤其涉及一种横向激励大气压0)2激光器主电极调节装置。
技术介绍
主放电电极是横向激励大气压C02激光器的核心部件。由于要实现C0 2气体的大面积均匀放电,主放电电极(包括阳极和阴极)的面型以及电极间的间距和平行度都需要严格保证。在如图1所示的横向激励大气压C02激光器电极结构中,制作成型的阳极和阴极通常被平行固定于电极支架上,阳极的工作面和阴极的工作面相对摆放。图1中的1为主放电电极支架,考虑到阴极与阳极之间存在数万伏的电压差,电极支架一般采用诸如环氧等绝缘性材料加工而成。2为阴极,阴极通常为高压连接极,考虑到电极的溅射,阴极一般采用碳钢加工制成。3为预电离器,分别位于阴极两侧。预电离器3—般采用石英玻璃管内表面镀金属膜层的方式制作。在使用时,在石英管两端引出导线接地,其作用是在主放电建立前,预电离器3由于感应高压形成电晕放电,在电极间形成一定数量的电子,便于主放电电极形成大面积均匀放电。4为阳极,一般也采用碳钢或硬铝制成。与阴极2作为高压接入端相呼应,阳极4通常作为接地端,与大地相连。主放电电极受自身长度和重量的影响,在安装和放电的过程中,由于应力的释放会发生一定的形变,当电极的形变导致电场不均匀度超过0.5%时,主电极间的放电过程会趋于不稳定,主电极间的放电形式将由辉光放电过渡为弧光放电,从而破坏激光的产生。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题为了解决上述横向激励大气压0)2激光器的电极形变问题,本专利技术提供一种横向激励大气压C02激光器主电极调节装置。本专利技术在原有电极结构的基础上,采用例如步进电机的驱动器驱动反向螺纹连接器通过螺杆拉紧或延展电极以达到调整电极的平面度、消除电极形变的目的。( 二)技术方案根据本专利技术的一方面,提供一种横向激励大气压0)2激光器主电极调节装置,其特征在于,包括:主电极支撑架1、固定在主电极支撑架1底部的阴极2、分别位于阴极2两端的两个预电离器3、固定在主电极支撑架1顶部的两端之间的阳极4、设置在阳极4中部之上的驱动器5、连接在驱动器5两端并由驱动器5驱动的两个螺纹连接器6、分别连接到两个螺纹连接器6的两根螺杆7、分别固定在阳极4的两端上且分别与两根螺杆7连接的两个调节座9。优选地,横向激励大气压C02激光器主电极调节装置还包括固定在阳极4上用于分别约束两根螺杆7的两个拉杆支架8。优选地,两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个调节座9各位于驱动器5两侧,呈对称分布。优选地,两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个拉杆支架8、两个调节座9各位于驱动器5两侧,呈对称分布。优选地,位于驱动器5 —侧的螺纹连接器6和螺杆7与位于驱动器5另一侧的螺纹连接器6和螺杆7构成反向螺纹。优选地,驱动器5为电机或直杆。优选地,所述电机为步进电机。优选地,当驱动器5驱动两个螺纹连接器6时,两个螺纹连接器6相互反向旋转以使两根螺杆7同时旋进或旋出,使得两根螺杆7将两个调节座9朝向驱动器5拉紧或背离驱动器5延伸,从而调节阴极2和阳极4之间的间距。(三)有益效果本专利技术的有益效果是:通过控制反向螺纹连接器的转动方向,拉紧或延抻调节座,起到提拉阳极两端或中段的作用,以达到调节主电极阴、阳两极由于应力释放导致间距差异的目的,进而消除主电极间由于电极形变而导致的起弧现象,提高横向激励大气压0)2激光器的主放电的稳定性和可靠性。【附图说明】图1是横向激励大气压C02激光器电极的结构示意图。图2是本专利技术的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置的结构示意图。图3是在本专利技术的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置中通过电机旋转提拉电极端部工作示意图。图4是在本专利技术的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置中通过电机旋转提拉电极中部工作示意图。【具体实施方式】为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白,以下结合具体实施例,并参照附图,对本专利技术进一步详细说明。在本专利技术的附图中,相同的标号表示相同的部件。图2是本专利技术的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置的结构示意图。图3是在本专利技术的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置中通过电机旋转提拉电极端部工作示意图。图4是在本专利技术的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置中通过电机旋转提拉电极中部工作示意图。如图2至图4所示,根据本专利技术的一个优选实施方式的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置包括:主电极支撑架1、固定在主电极支撑架1底部的阴极2、分别位于阴极2两端的两个预电离器3、固定在主电极支撑架1顶部的两端之间的阳极4、设置在阳极4中部之上的驱动器5、连接在驱动器5两端并由驱动器5驱动的两个螺纹连接器6、分别连接到两个螺纹连接器6的两根螺杆7、分别固定在阳极4的两端上且分别与两根螺杆7连接的两个调节座9。优选地,根据本专利技术的一个优选实施方式的横向激励大气压032激光器主电极调节装置还包括固定在阳极4上用于分别约束两根螺杆7的两个拉杆支架8。优选地,在根据本专利技术的一个优选实施方式的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置中,两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个调节座9各位于驱动器5两侧,呈对称分布。优选地,在根据本专利技术的一个优选实施方式的横向激励大气压C02激光器主电极调节装置中,两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个拉杆支架8、两个调节座9各位于驱动器5两侧,呈对称分布。本领域技术人员可以理解,在根据本专利技术的横向激励大气压0)2激光器主电极调节装置中,两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个拉杆支架8、两个调节座9相对于驱动器5呈对称分布仅仅当前第1页1 2 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置,其特征在于,包括:主电极支撑架(1)、固定在主电极支撑架(1)底部的阴极(2)、分别位于阴极(2)两端的两个预电离器(3)、固定在主电极支撑架(1)顶部的两端之间的阳极(4)、设置在阳极(4)中部之上的驱动器(5)、连接在驱动器(5)两端并由驱动器(5)驱动的两个螺纹连接器(6)、分别连接到两个螺纹连接器(6)的两根螺杆(7)、分别固定在阳极(4)的两端上且分别与两根螺杆(7)连接的两个调节座(9)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:郑义军谭荣清
申请(专利权)人:中国科学院电子学研究所
类型:发明
国别省市:北京;11

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