气体激光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种气体激光装置，通过将窗架设置为位于比缩短状态下的光路管的外侧端部靠内侧的位置处，能够避免在对气体激光装置进行维修时窗架与其他部件发生碰撞，从而降低了窗发生破损的可能性。

【技术实现步骤摘要】
气体激光装置
本技术涉及激光领域，尤其涉及一种气体激光装置。
技术介绍
对于具有窗的气体激光装置，为了便于维修，一般将窗安装在可拆装的窗架上。例如，在进行窗的更换或者腔室的更换时，通过可拆装的窗架将窗从腔室上拆下。图1是现有的气体激光装置在工作状态下的部分结构的一示意图，图2是现有的气体激光装置在维修状态下的部分结构的一示意图。如图1所示，窗架1对窗2进行保持，窗架1通过窗架保持部3固定在腔室4上，在气体激光装置处于工作状态时，光路管5的一端固定在腔室上，另一端固定在空腔板6上；如图2所示，在气体激光装置处于维修状态时，光路管5的一端固定在腔室上，另一端从空腔板6上拆下从而光路管5缩短。例如，专利文献1(JP2009-99575A)公开了类似的结构。应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本技术的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本技术的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
本技术的专利技术人发现，在上述现有的气体激光装置中，由于在维修状态下，窗架1从光路管5的另一端突出，因此，在对气体激光装置进行维修时窗架1有可能与其他部件发生碰撞而导致窗架1和窗2的破损。本技术实施例提供一种气体激光装置，将窗架设置为位于比缩短状态下的光路管的外侧端部靠内侧的位置处，能够避免在对气体激光装置进行维修时窗架与其他部件发生碰撞，从而降低了窗发生破损的可能性。根据本技术实施例的第一方面，提供一种气体激光装置，所述气体激光装置具有：腔室，其内部容纳有激光介质气体；窗，其使激光透射；窗架，其对所述窗进行保持，所述窗架以可拆装的方式安装在所述腔室上；空腔板，其对气体激光装置的至少一部分进行保持，且所述空腔板与所述窗相对设置；以及可伸缩的光路管，其一端固定在所述腔室上，另一端以可拆装的方式固定在所述空腔板上，所述光路管在从所述空腔板上拆下时缩短，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架位于比缩短状态下的所述光路管的所述另一端靠内侧的位置处。根据本技术实施例的第二方面，其中，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架在外侧具有缺口。根据本技术实施例的第三方面，其中，所述缺口所在的平面与缩短状态下的所述光路管的所述另一端的端面共面。根据本技术实施例的第四方面，其中，在所述气体激光装置的轴向上，所述缺口所在的平面位于比缩短状态下的所述光路管的所述另一端的端面靠内侧的位置处。根据本技术实施例的第五方面，其中，在所述气体激光装置的轴向上，所述光路管所在的区域覆盖所述窗架所在的区域。根据本技术实施例的第六方面，其中，所述窗为布儒斯特窗。根据本技术实施例的第七方面，其中，所述气体激光装置还具有光栅、棱镜和输出镜，所述气体激光装置具有包括第一空腔板和第二空腔板的两个所述空腔板，所述第一空腔板保持所述光栅和所述棱镜，所述第二空腔板保持所述输出镜，所述第一空腔板和所述第二空腔板被设置为夹着所述腔室。根据本技术实施例的第八方面，其中，所述气体激光装置具有包括第一窗和第二窗的两个所述窗，所述第一空腔板与所述第一窗相对设置，所述第二空腔板与所述第二窗相对设置。本技术的有益效果在于：通过将窗架设置为位于比缩短状态下的光路管的外侧端部靠内侧的位置处，能够避免在对气体激光装置进行维修时窗架与其他部件发生碰撞，从而降低了窗发生破损的可能性。参照后文的说明和附图，详细公开了本技术的特定实施方式，指明了本技术的原理可以被采用的方式。应该理解，本技术的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本技术的实施方式包括许多改变、修改和等同。针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。附图说明所包括的附图用来提供对本技术实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本技术的实施方式，并与文字描述一起来阐释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1是现有的气体激光装置在工作状态下的部分结构的一示意图；图2是现有的气体激光装置在维修状态下的部分结构的一示意图；图3是本技术实施例1的气体激光装置的一示意图；图4是本技术实施例1的气体激光装置在维修状态下的部分结构的一示意图。具体实施方式参照附图，通过下面的说明书，本技术的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本技术的特定实施方式，其表明了其中可以采用本技术的原则的部分实施方式，应了解的是，本技术不限于所描述的实施方式，相反，本技术包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。在本技术实施例中，术语“第一”、“第二”等用于对不同元素从称谓上进行区分，但并不表示这些元素的空间排列或时间顺序等，这些元素不应被这些术语所限制。术语“和/或”包括相关联列出的术语的一种或多个中的任何一个和所有组合。术语“包含”、“包括”、“具有”等是指所陈述的特征、元素、元件或组件的存在，但并不排除存在或添加一个或多个其他特征、元素、元件或组件。“多个”或“多种”指的是至少两个或至少两种。实施例1图3是本技术实施例1的气体激光装置的一示意图，图4是本技术实施例1的气体激光装置在维修状态下的部分结构的一示意图。如图3和图4所示，气体激光装置100具有：腔室101，其内部容纳有激光介质气体；窗102，其使激光透射；窗架103，其对窗102进行保持，窗架103以可拆装的方式安装在腔室101上；空腔板104，其对气体激光装置100的至少一部分进行保持，且空腔板104与窗102相对设置；以及可伸缩的光路管105，其一端1051固定在腔室101上，另一端1052以可拆装的方式固定在空腔板104上，光路管105在从空腔板104上拆下时缩短，在气体激光装置100的轴向(Z方向)上，窗架102位于比缩短状态下的光路管105的另一端1052靠内侧的位置处。在本实施例中，“可拆装”是指能够拆卸和安装，“内侧”是指沿着轴向(Z方向)上的气体激光装置100的内部的一侧，“外侧”是指沿着轴向(Z方向)上的气体激光装置100的外部的一侧。在本实施例中，腔室101的内部容纳有激光介质气体，例如，二氧化碳气体，或者，准分子气体。在本实施例中，气体激光装置100的轴向(Z方向)与光轴OO’平行。在本实施例中，窗102使激光透射，例如，窗102是布儒斯特窗，其与气体激光装置100的光轴OO’成一定角度，使激光的入射角等于布德斯特角。这样，在入射面内振动的偏振光，通过窗102时几乎没有反射损耗，而垂直入射面振动的偏振光则反射损耗很大。在本实施例中，窗架103对窗102进行保持，例如，通过O型环等对窗102进行气密性保持。在本实施例中，窗架103以可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置具有：腔室，其内部容纳有激光介质气体；窗，其使激光透射；窗架，其对所述窗进行保持，所述窗架以可拆装的方式安装在所述腔室上；空腔板，其对气体激光装置的至少一部分进行保持，且所述空腔板与所述窗相对设置；以及可伸缩的光路管，其一端固定在所述腔室上，另一端以可拆装的方式固定在所述空腔板上，所述光路管在从所述空腔板上拆下时缩短，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架位于比缩短状态下的所述光路管的所述另一端靠内侧的位置处。

【技术特征摘要】
1.一种气体激光装置，其特征在于，所述气体激光装置具有：腔室，其内部容纳有激光介质气体；窗，其使激光透射；窗架，其对所述窗进行保持，所述窗架以可拆装的方式安装在所述腔室上；空腔板，其对气体激光装置的至少一部分进行保持，且所述空腔板与所述窗相对设置；以及可伸缩的光路管，其一端固定在所述腔室上，另一端以可拆装的方式固定在所述空腔板上，所述光路管在从所述空腔板上拆下时缩短，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架位于比缩短状态下的所述光路管的所述另一端靠内侧的位置处。2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，在所述气体激光装置的轴向上，所述窗架在外侧具有缺口。3.根据权利要求2所述的气体激光装置，其特征在于，所述缺口所在的平面与缩短状态下的所述光路管的所述另一端的端面共面。4.根据权利要求2所述的气体激光装置，其特征在于，在所述气体激光装...

【专利技术属性】
技术研发人员：都丸仁，奈良久，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：新型
国别省市：日本,JP